пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Установка плазмохимического травления и осаждения материалов Minilock Duo Trion

Производитель:
Trion Technology Flag
НОВИНКА!!!
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.


Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Документация
  • Оплата и доставка
  • Демонстрация

Описание системы плазмохимического травления и осаждения 

Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения. Состоит из двух независимых модуля, предусмотренных для проведения технологических процессов. Каждый из модулей соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, который представлен в виде отдельного блока.

ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА

1.Процессы травления и осаждения в одной системе

Используя Minilock Duo, Вы можете сочетать комбинацию следующих технологических процессов травления и осаждения:

  • PR Strip (photoresist strip) – плазмохимическое удаление фоторезиста
  • PE (plasma etching) - плазменное травление
  • DRIE (deep RIE) - глубокое реактивное травление
  • HDCVD (high density CVD) - осаждение из газовой фазы высокой плотности
Система может использоваться для плазмохимических процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы, например для сложных химических процессов, включая травление с использованием агрессивных веществ.

2. Вакуумный шлюз экономит рабочее время

Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.

Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.

В системе также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.

3. Технологические процессы  

·         Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);

·         Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.

Цена на систему травления и осаждения

Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования, вопросы и заявки отправляйте на e-mail: sk@sernia.ru.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Самовывоз (Санкт-Петербург, Лиговский пр., дом 270, лит. Б, офис 2201);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.