Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Apollo Stripper Trion - установка для плазмохимического удаления фоторезиста лабораторного назначения

Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Компактная, недорогая универсальная установка для удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм.
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Установки плазмохимического удаления фоторезиста Apollo Stripper Trion


Apollo Stripper — компактная, недорогая универсальная установка плазмохимического удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Используя технологии ICP или Microwave и ВЧ-генератор в зависимости от необходимости, слои фоторезиста легко удаляются даже при низкой температуре. В соответствие с требованиями заказчика в систему может входить SST микроволновый источник (надежный и свободный от типичных проблем, связанных с микроволновой настройкой).


ОСОБЕННОСТИ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА APPOLLO STRIPPER:

  • Скорость травления: до 6 мкм/мин.
  • Минимальное повреждение образца плазмой.
  • Самоподстройка отраженной мощности.
  • Пластины от 100 мм до 300 мм.
  • Малые размеры.

ПРИМЕНЕНИЕ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА: 

  • МЕМС,
  • полупроводниковые соединения,
  • опытное производство.

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ГАЗОВ ДЛЯ УСТАНОВКИ APOLLO STRIPPER TRION: 

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ. 

  • КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
  • ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
  • ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
  • ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk.jpg
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.