Описание R-200 Advanced ALD Picosun
Установка R-200 Advanced Picosun - это установка атомно-слоевого осаждения, АСО (аtomic layer deposition, ALD), предназначенная для проведения НИОКР в различных областях исследований (компоненты на интегральных микросхемах, микроэлектромеханические устройства, дисплеи, светодиоды, лазеры и 3D-объекты, такие как объективы, линзы, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты).
Оборудование R-серии Picosun имеет ручную или полуавтоматическую обработку. Позволяет производить напыление пленок АСО на поверхности со сложной структурой, а также на образцы с высоким аспектным соотношением размеров и на наночастицы.
Предназначена для одиночной обработки подложек или для работы с мини-партиями. Используются подложки до 200 мм.
Особенности и преимущества
-
Гибкая конструкция АСО-установок Picosun обеспечивает получение тонких пленок самого высокого качества, а исключительная универсальность систем позволяет использовать их для удовлетворения потребностей и решения задач в будущем;
-
Запатентованная конструкция камеры c горячими стенками с раздельными вводами и контрольными приборами обеспечивает работу с различного рода материалами: пластины, 3D-объекты, наночастицы, порошки;
-
Пленки, нанесенные с помощью оборудования Picosun, характеризуются отсутствием примесных частиц и исключительной однородностью даже на сложных пористых подложках и подложках с чрезвычайно большим соотношением сторон, образцах с наночастицами;
-
Превосходная однородность пленок даже на самых сложных пористых подложках достигается благодаря запатентованной технологии Picoflow ™;
-
Системы Picosun ™ серии R оснащены высоко функциональными и легко заменяемыми источниками прекурсоров для жидких, газообразных и твердых химикатов;
- Интеграция с перчаточными боксами, системами сверхвысокого вакуума, ручными и автоматизированными загрузчиками, кластерным оборудованием, камерами для порошка, камерами с рулонной подачей и разнообразными аналитическими системами обеспечивает гибкое и эффективное проведение исследовательских работ и надежные результаты независимо от области текущих или будущих научных интересов.
Технические характеристики R-200 Advanced Picosun:
|
Количество вводов прекурсоров/ реагенты |
- до 12 источников с 6 отдельными вводами (7 при использовании плазмы); |
| Тип и размер подложек |
- 50 – 200 мм одиночные пластины; |
|
Загрузка в реакционную камеру |
- пневматический загрузчик (ручная загрузка); |
|
Рабочая температура |
- 50 - 500 °C, плазма 450 °C (650 °C с подогреваемым держателем — по заказу). |
|
Технологические процессы |
Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN, металлы (Pt или Ir) |
| Доп.оборудование |
- кластерное оборудование,
- усилитель диффузии Picoflow, - камера с рулонной подачей,
- анализатор остаточных газов (RGA) на основе квадрупольного масс-спектрометра, совместимость со сверхвысоким вакуумом,
- генератор N2,
- газовый скруббер,
- изготовление конструкции по ТЗ заказчика, - интеграция с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы. |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
