1061 SEM Mill Fischione - настольная система подготовки образцов для CЭМ

Основные сведения о настольной системе пробоподготовки 1061 SEM Mill Fischione

Настольная система подготовки образцов 1061 SEM Mill Fischione - cовременная система ионной шлифовки и полировки. Это компактная, точная, система подготовки высококачественных образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), позволяющая в кратчайшие сроки подготовить образцы для широкого спектра применений. 

Для многих современных материалов анализ в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ, англ. SEM – Secondary Electron Microscope) является идеальным методом для быстрого изучения структуры и свойств материала. 

SEM Mill модели 1061 от Fischione является отличным инструментом для обеспечения характеристик поверхности образца, необходимых для визуализации и анализа методом СЭМ. 

1061 SEM Mill поддерживает обработку образцов больших размеров:

• Кросс-секционирование*: максимум: 10 х 10 х 4,0 мм / минимум: 3 x 3 x 0,7 мм

*Стандартный размер; другие размеры доступны по запросу.

• Образцы для планарной (плоскостной) обработки: Ø32 х 25 мм (высота)

Автоматическое распознавание толщины образца увеличивает производительность обработки; магнитные датчики положения обеспечивают абсолютную точность позиционирования.

Преимущества настольной системы пробоподготовки 1061 SEM Mill Fischione

• Два независимых регулируемых ионных источника TrueFocus.

• Высокоэнергетическая ионная обработка для быстрой фрезеровки/шлифовки образца; низкоэнергетическая ионная обработка для полировки образца.

• Ионные источники сохраняют малый диаметр пучка в широком диапазоне рабочих энергий (от 100 эВ до 10 кэВ).

• Прямое измерение тока пучка от каждого ионного источника с помощью цилиндров Фарадея.

• Регулируемый 10-дюймовый сенсорный экран с эргономичным интерфейсом для простой настройки параметров ионной обработки.

• Создание кросс-секций образцов с помощью станции кросс-секционирования (опционально).

• Независимый контроль подачи газа ионным источникам.

• Диапазон регулируемых углов обработки от 0° до + 10°.

• Просмотр и захват “живого” (англ. “in-situ”) изображения во время обработки.

• Режимы качания или вращения образца с заданием последовательности обработки ионным пучком.

• Автоматическая остановка процесса обработки по достижению заданных значений времени или температуры.

• Охлаждение предметного столика жидким азотом (опционально).

• Камера переноса образца, вакуумная или наполненная инертным газом (опционально).

Особенности настольной системы пробоподготовки 1061 SEM Mill Fischione

Станция кросс-секционирования (опционально) 

Станция кросс-секционирования от Fischione Instruments - это модуль для создания чистых (не требующих дополнительной очистки) кросс-секций образцов, готовых для ионной полировки в SEM Mill. Нажмите здесь, чтобы узнать больше о станции кросс-секционирования. 

Быстрая передача (трансфер) образца 

Система SEM Mill оснащена вакуумной шлюзовой камерой для быстрой смены образца.
Эргономичная конструкция шлюзовой камеры: для установки держателя образца на предметный столик необходимо просто поднять крышку загрузочного модуля. Установите крышку на место – и движение образца в процессную камеру начнется уже через несколько секунд. 

Во время ионной полировки образца вакуумная система обеспечивает фиксацию крышки шлюзовой камеры. Перемещение образца в положение для обработки осуществляется с помощью загрузчика с электронным управлением. 

После завершения процесса полировки держатель с образцом возвращается в шлюзовую камеру и остается там под вакуумом до тех пор, пока пользователь не запустит процесс вентилирования камеры. Процесс вентилирования камеры занимает всего несколько секунд. 

Камера переноса образца - вакуумная или наполненная инертным газом (опционально) 

Дополнительная вакуумный контейнер позволяет под вакуумом или в инертном газе переносить образцы в СЭМ. 

Камера 

Вакуумная камера системы SEM Mill во время работы находится под постоянным вакуумом. Шлюзовая камера изолирует высокий вакуум процессной камеры от окружающей среды во время смены образца, обеспечивая оптимальные условия вакуума. 

Точная регулировка угла 

Углы установки ионных источников могут изменяться в диапазоне от 0° до +10° для обеспечения оптимального угла воздействия. Углы установки левого и правого ионных источников регулируются с помощью соответствующих регуляторов положения. 

Имеется возможность использования одного или обоих ионных источников TrueFocus. Если используются оба ионных источника, то отрегулировать углы пучков можно независимо друг от друга. 

Когда оба ионных пучка направлены на одну из поверхностей образца, скорость полировки удваивается; эта возможность полезна для таких применений, как планарная полировка образцов. 

Автоматическая регулировка угла полировки (опционально) 

Для SEM Mill доступна опция автоматической регулировки угла полировки с помощью сенсорного экрана. Добавление этой возможности позволяет создавать многоэтапные последовательности полировки, включающие автоматическую регулировку углов полировки на протяжении всего процесса обработки. 

Программируемое движение образца 

Вращение образца составляет 360° с переменной скоростью вращения и функцией качания образца. 

Аппаратура автоматически определяет толщину образца и устанавливает плоскость полировки, увеличивая тем самым производительность обработки. Магнитный датчик обеспечивает абсолютную точность позиционирования. 

Интегрированный модуль охлаждения (опционально) 

Несмотря на то, что полировка под малыми углами низкоэнергетическим ионным пучком снижает нагрев образца, для чувствительных к температуре образцов может требоваться дополнительное охлаждение. Охлаждение предметного столика с образцом жидким азотом очень эффективно для устранения тепловых артефактов, возникающих в процессе полировки. 

Система жидкого азота SEM Mill оснащена сосудом Дьюара, расположенным внутри корпуса, который полностью интегрирован в систему. Для обеспечения легкого доступа сосуд Дьюара располагается рядом с оператором. Доступны два варианта сосуда: стандартный – для применений, требующих от 3 до 5 часов охлаждения во время процесса полировки, или увеличенный сосуд Дьюара – для применений, требующих 18 часов работы в криогенных условиях. Температура непрерывно отображается на сенсорном экране. 

Программируемая температура 

В системе SEM Mill имеется возможность программирования и поддержки определенной температуры в диапазоне от температуры окружающей среды до криогенной. 

После завершения процесса полировки при криогенных температурах перед вентилированием камеры, чтобы избежать замерзания и загрязнения образца, температура предметного столика автоматически увеличивается до температуры окружающей среды. 

Система снабжена модулем температурной защиты, которая может быть запрограммирована на определенный температурный порог, при достижении которого ионные источники будут деактивированы, если вдруг жидкий азот в сосуде Дьюара закончится. 

Автоматическая остановка процесса 

Процесс ионной обработки может быть автоматически остановлен по достижению заданных значений времени или температуры. 

Время 

Таймер позволяет осуществлять обработку образца в течение заданного времени, и затем, по истечению времени, отключает энергию ионных источников. Образец остается под вакуумом до тех пор, пока шлюзовая камера не будет провентилирована. 

Температура 

Тепловая защита, связанная с системой охлаждения образца, остановит процесс, если температура предметного столика достигнет заданного значения. 

Просмотр образца “вживую” 

Процесс ионной обработки можно контролировать “вживую” наблюдая за образцом в процессной камере при использовании дополнительного стереомикроскопа или микроскопа с высоким увеличением. 

Смотровое окно защищено заслонкой, предотвращающей накопление распыленного материала, который может препятствовать наблюдению за образцом. 

Стереомикроскоп (опционально) 

Стереомикроскоп (увеличением от 7 до 45 крат) обеспечивает улучшенный просмотр образцов. Большое рабочее расстояние микроскопа позволяет наблюдать образец “вживую” (англ. “in-situ”) во время обработки. 

Микроскоп высокого увеличения (опционально) 

Система подготовки SEM Mill может быть оснащена микроскопом с высоким увеличением (525 или 1960 крат), соединенным с КМОП-камерой и видеомонитором для просмотра образцов и захвата изображений в процессе обработки. Эта система идеально подходит для подготовки конкретного (заданного) участка образца. 

Освещение образца 

Оба микроскопа – с высоким увеличением и стереомикроскоп – имеют подсветку, которая обеспечивают регулируемую пользователем нисходящую (сверху вниз) подсветку образца. 

Сенсорный экран управления 

Параметры рабочих процессов вводятся с помощью 10-дюймового сенсорного экрана, который можно настроить в соответствии с необходимой высотой и углом обзора. С сенсорного экрана можно управлять широким спектром параметров прибора, таких как энергия ионного пучка, угол обработки, движение образца, положение образца и остановка процесса. 

Для автоматических, не требующих вмешательства операций, можно запрограммировать серию последовательностей обработки. Стандартный подход – начать с быстрых операций ионной шлифовки, чтобы удалить большое количество материала образца; затем, по мере того, как образец утончается, снижать скорость обработки для полировки образца. Эти последовательности обработки могут быть легко сохранены и загружены для повторного использования. 

Во время операций шлифовки и полировки ход выполнения обработки и состояние прибора отображаются в реальном времени на сенсорном экране. 

Расширенная функциональность включает в себя инструменты для управления данными об образце, обслуживании, файлах журналов, а также для хранения изображений и удаленного доступа, позволяющего контролировать операции обработки через удаленный компьютер, если SEM Mill подключен к внутренней сети предприятия. 

Доступ к конфигурации приборов, административным и диагностическим инструментам, а также файлам и журналам обслуживания контролируется с помощью системы многоуровневых пользовательских привилегий (настраивается при инсталляции прибора) и требует учетных данных для входа. 

Индикатор состояния системы – внешний индикаторный стек (опционально) 

Дополнительный индикатор состояния системы – индикаторный стек –позволяет определять состояние операций подготовки образцов на расстоянии. 

Автоматический контроль подачи газа 

Два контроллера массового расхода (MFC) обеспечивают автоматическую независимую регулировку подачи технологического газа для ионных источников. Алгоритм управления газом формирует стабильные ионные пучки в широком диапазоне параметров функционирования ионных источников. В качестве технологического газа используется аргон сверхвысокой чистоты (99,999%). 

Полностью интегрированная система сухого вакуума 

Интегрированная вакуумная система включает в себя турбомолекулярный насос (ТМН), поддерживаемый многоступенчатым мембранным (диафрагменным) насосом. Безмасляная система обеспечивает чистую среду для обработки образцов. 

Поскольку потребности в газе для ионных источников TrueFocus невелики, ТМН с производительностью 70 л/с создает вакуум операционной системы примерно 5х10^-4 мбар. Уровень вакуума в камере измеряется с помощью вакуумметра с холодным катодом и постоянно отображается на сенсорном экране. 

Минимум затрат на техническое обслуживание 

Эффективно сконструированная система ионизации требует минимального обслуживание ионных источников TrueFocus, компоненты системы имеют чрезвычайно долгий срок службы. Количество материала, распыляемого ионными источниками, незначительно и сводит к минимуму загрязнение образца и обслуживание компонентов. Автоматическая защитная заслонка предотвращает скопление распыленного материала на смотровом окне. Все компоненты системы легко доступны для очистки. 

Дистанционная диагностика 

Компания Fischione Instruments стремится поддерживать максимальное время безотказной работы прибора. Для этого в SEM Mill встроены возможности удаленной диагностики. При подключении системы SEM Mill к сети Internet можно получить удаленный доступ к сервису “Fischione Global Service” для быстрой сервисной диагностики и настройки прибора.

Технические характеристики настольной системы пробоподготовки 1061 SEM Mill Fischione

Ионные источники	§ Два ионных источника TrueFocus; § диапазон рабочих энергий от 100 эВ до 10,0 кэВ; § плотность тока пучка до 10 мА /см2; § диапазон углов наклона от 0° до + 10°; § выбор работы с одним или двумя ионными источниками; § ручная или моторизованная (опционально) регулировка угла установки ионных источников; § независимое управление энергией ионных пучков источников; § регулируемый размер пятна полировки; § прямое измерения тока пучка от каждого ионного источника с помощью цилиндров Фарадея, позволяющее оптимизировать и регулировать параметры ионных источников для конкретных применений.
Предметный столик	§ Размер образца: Кросс-секционирование*: –       максимум: 10 х 10 х 4,0 мм; –       минимум: 3 x 3 x 0,7 мм; *Стандартный размер; другие размеры доступны по запросу. Образцы для планарной (плоскостной) обработки: –       Ø32 х 25 мм (высота); § автоматическое определение толщины образца для установки плоскости обработки и увеличения производительности; § вращение образца: 360° с переменной скоростью вращения; § поддержка режима качания образца; § магнитный датчик, обеспечивающий абсолютную точность позиционирования.
Станция кросс-секционирования (опционально)	§ Кросс-секционирование образцов; § позволяет точно позиционировать область интереса изменяя координаты x, y и угол θ; § эффективна для использования с самыми разными материалами, включая полупроводниковые приборы, многослойные материалы, керамику, твердые и хрупкие материалы; § подготовленная для последующей визуализации и анализа в СЭМ область интереса плоская и не имеет повреждений; § поддерживает широкий диапазон размеров образца и масок; § выравнивание маски и образца выполняется как в поперечной плоскости, так и под углом; § многократное использование одной маски.
Охлаждение образца (опционально)	§ Модуль охлаждения предметного столика жидким азотом со встроенными сосудом Дьюара и защитой от перегрева образца; § сосуд Дьюара расположен внутри прибора рядом с оператором для облегчения легкого доступа; § возможность программирования и поддержания определенной температуры в диапазоне от температуры окружающей среды до криогенной; § возможность выбора: –       стандартный сосуд Дьюара (от 3 до 5 часов криогенных температур); –       увеличенный сосуд Дьюара (более 18 часов криогенных температур).
Автоматическая остановка процесса	Автоматическая остановка процесса обработки по достижению заданных значений времени или температуры.
Вакуумная система	§ Турбомолекулярный насос (ТМН) с безмасляным диафрагменным насосом на входе ТМН; § вакуумметр с холодным катодом для измерения уровня вакуума в камере.
Камера переноса образца, вакуумная или наполненная инертным газом (опционально)	Позволяет под вакуумом или в инертном газе хранить или переносить образцы.
Система подачи газа	§ Аргон сверхвысокой чистоты (не хуже 99.999%, англ. UHP – Ultrahigh Purity), давлением 15 psi; § автоматический контроль подачи газа с использованием двух контроллеров массового расхода (MFC).
Пользовательский интерфейс	§ Управление прибором с помощью эргономичного 10-дюймового регулируемого сенсорного экрана; § внешний индикаторный стек – для определения состояния операций подготовки образцов на расстоянии (опционально).
Микроскоп (опционально)	Окно шлюзовой камеры позволяет установить следующие варианты микроскопов: –       стереомикроскоп увеличением от 7 до 45 крат для непосредственного наблюдения за образцом; –       микроскопом с высоким увеличением (525 крат), соединенный с КМОП-камерой (англ. CMOS) для захвата и просмотра изображения на мониторе; –       микроскопом с высоким увеличением (1960 крат), соединенный с КМОП-камерой для захвата и просмотра изображения на мониторе.
Просмотр и визуализация на месте (“вживую”)	§ Процесс ионной обработки можно контролировать “вживую” (англ. “in-situ”) наблюдая за образцом с помощью стереомикроскопа или микроскопа с высоким увеличением; § смотровое окно защищено программно управляемой заслонкой, предотвращающей накопление распыленного материала и сохраняющей возможность наблюдения за образцом.
Подсветка камеры	Оба микроскопа – с высоким увеличением и стереомикроскоп – имеют подсветку, которая обеспечивают регулируемую пользователем нисходящую (сверху вниз) подсветку образца.
Размеры рабочего пространства для размещения прибора	§ Ширина (включает пространство с обеих сторон, необходимое для сервисного обслуживания): 127 см. § Высота: –       минимальная высота (без параметров микроскопа и индикаторного стэка): 61 см; –       максимальная высота (с опцией: индикаторный стэк): 77 см; § Глубина (включает в себя пространство, необходимое для сервисного обслуживания и вентилирования прибора): 102 см. Конструкция корпуса обеспечивает легкий доступ к внутренним компонентам при выполнении работ по техническому обслуживанию.
Вес	73 кг
Энергопотребление	Переменное напряжение 100/120/220/240В, 50/60Гц, 720 Вт
Гарантия	1 год