Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
8 (800) 301 13 17

1040 NanoMill® TEM Fischione - система прецизионного локального травления образцов для ПЭМ с детектором вторичных ионов

Производитель:
Fischione Instruments, Inc.
Гарантия:
12 месяцев

Прецизионная система подготовки образцов для ПЭМ методом ионного утонения с диаметром пучка до 1 мкм.

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка
  • Демонстрация

Основные сведения о системе пробоподготовки 1040 NanoMill TEM Fischione

Система подготовки образцов Fischione NanoMill® TEM модель 1040 - это превосходный инструмент для создания высококачественных тонких образцов, необходимых для передовых методов визуализации и анализа средствами просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ, англ. TEM - Transmission Electron Microscopy). 

Система прекрасно подходит как для пост-обработки образцов, подготовленных с помощью ФИП (системы на основе фокусированного ионного пучка, англ. FIB - Focused Ion Beam), так и для улучшения качества традиционно подготовленных образцов. 

Отличительная черта системы 1040 NanoMill - использование концентрированного ионного пучка ультранизкой энергии и детектора вторичных ионов для обеспечения высочайшего качества образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ).

Преимущества системы пробоподготовки 1040 NanoMill TEM Fischione

  • Ионный источник ультранизкой энергии;

  • Концентрированный поток ионов с возможностью сканирования;

  • Удаление поврежденных/аморфных/имплантированных слоев без переосаждения;

  • Идеально подходит для пост-обработки образцов, подготовленных с помощью ФИП (FIB);

  • Улучшение результатов подготовки образцов, проведенной традиционными способами;

  • Проведение процесса NanoMillingSM при комнатной температуре и при охлаждении жидким азотом;

  • Быстрая смена образцов для повышения производительности;

  • Легкая в использовании, полностью программируемая, компьютеризованная система контроля и управления;

  • Сухая вакуумная система с фильтрацией загрязнений

Особенности системы пробоподготовки 1040 NanoMill TEM Fischione

  • Целевая обработка образца низкоэнергетическим ионным пучком NanoMillingSM

Характерной технической особенностью системы NanoMill® является использование газового источника ионов, обеспечивающего возможность получения низкоэнергетических ионов с энергией всего 50 эВ и размером пучка - 1 мкм. Это позволяет осуществлять подготовку образцов без таких нежелательных эффектов как аморфизация поверхности, имплантация и переосаждение материалов.

Ионный пучок может быть направлен в строго определенную область интереса. Детектор вторичных электронов (детектор SE - Secondary Electrons) используется для визуализации индуцированных ионами вторичных электронов, которые генерируются из обрабатываемой области образца.

  • Автоматизация

Работа системы NanoMill® легко программируется. Регулировка значений энергии ионного пучка, угла воздействия, параметров вращения и криогеннного охлаждения образца обеспечивают максимальную гибкость для гарантирования оптимальной подготовки широкого спектра образцов. Удобная конструкция вакуумного загрузочного шлюза облегчает и ускоряет смену образцов, повышая производительность работы с системой.

  • Плазменная очистка

После проведения процесса NanoMillingSM разработчики Fischione настоятельно рекомендуют проводить плазменную очистку держателя образца и образца.

Во время микроанализа утоненного образца органические загрязнения на нем могут накапливаться. От 10 секунд до 2 минут очистки в плазменном очистителе Fischione 1020 или NanoClean 1070 удаляет загрязнения без изменения структуры или состава образца. Более длительное время очистки позволяет удалить следы загрязнений, вызванные предыдущим просмотром в ПЭМ образцов, которые не подвергались плазменной очистке.

  • Интегрированная система охлаждения образца

Хотя полировка под малыми углами и низкая энергия ионного пучка снижают нагрев образца, чувствительные к температуре образцы могут потребовать дополнительного охлаждения. Охлаждение предметного столика жидким азотом очень эффективно препятствует возникновению артефактов, возникающих при нагреве образца.

Криогенная система охлаждения очень эффективна; начальное охлаждение системы занимает всего 20 минут. Когда предметный столик предварительно охлажден, время охлаждения образца до криогенной температуры после его установки на столик составляет менее 5 минут.

Система охлаждения оснащена встроенным сосудом Дьюара, запорный клапан которого контролируется системой управления NanoMill. Температура охлаждения предметного столика системы – до -170°C. Время удержания охладителя в сосуде Дьюара составляет от 4 до 6 часов, в зависимости от условий эксплуатации.

  • Вакуумная камера

Вакуумная камера в сочетании с турбомолекулярным насосом обеспечивает свободную от углеводородов рабочую среду для эффективной обработки образца. Кроме того, конструкция камеры позволяет ориентировать ионный источник таким образом, чтобы создать идеальные условия для воздействия ионного пучка на образец. Поскольку рабочая камера находится под постоянным вакуумом, полировка может начинаться практически сразу после ввода образца.

Для того чтобы еще более увеличить степень вакуума, опционально к шлюзовой камере может быть подключен криоконтейнер 190 Fischione. Как только он заполняется жидким азотом, загрязняющие вещества конденсируются на холодной поверхности внутреннего сосуда. Удаление холодного сосуда исключает поглощенные загрязнители из камеры системы NanoMill.

Резервный порт камеры системы NanoMill идеально подходит для сопряжения с анализатором остаточных газов.

  • Минимум затрат на техническое обслуживание

Все компоненты системы легко доступны для обслуживания. Ионный источник рассчитан как на длительный срок службы компонентов, так и на увеличенные интервалы технического обслуживания. При необходимости нить накаливания источника может быть легко заменена. Диагностическое программное обеспечение, защищенное паролем, позволяет полностью контролировать все функции прибора.

Технические характеристики системы пробоподготовки 1040 NanoMill TEM Fischione

Ионный источник

ионный источник на основе нити накаливания совмещен c системой электростатических линз;

переменное напряжение (от 50 эВ до 2 кВ);

плотность тока пучка до 1 мА/см2, непрерывная регулировка;

диаметр пучка до 1 мкм при 2000 эВ;

цилиндр Фарадея для контроля тока ионного луча в диапазоне от 1 до 2000 пА;

сменные апертуры.

Предметный столик

загрузочный шлюз системы позволяет осуществлять смену образца менее чем за 10 секунд;

передаточный стержень для обмена образцов;

диапазон углов обработки от -12° до + 30°.

Вакуумная система

турбомолекулярный насос (ТМН) с безмасляным диафрагменным насосом на входе ТМН;

измерение вакуума в камере с помощью комбинированного холодного катода и датчика Пирани с диапазоном измерения до 1х10-8 мбар;

базовый вакуум в системе 3x10-7 мбар;

рабочий вакуум от 1х10-4 мбар.

Система подачи газа

автоматизированная система контроля массового расхода газа;

регулировка расхода потока до 2 см3/мин;

фильтр микрочастиц;

инертный газ (аргон) сверхвысокой чистоты (не хуже 99.999%).

Ориентация ионного пучка на образец

ионный пучок может быть нацелен в точку на поверхности или сканировать выбранную область

Пользовательский интерфейс

интерфейс на базе интуитивно понятного меню;

программируемые циклы обработки с отображением текущего состояния системы.

Подсветка камеры

контролируемое пользователем освещение камеры для облегчения замены образца.

Охлаждение образца

охлаждение жидким азотом: до -170 °С с автоматическим температурным контролем;

время охлаждения системы: менее 20 минут;

время охлаждения образца: менее 5 минут;

время удержания охладителя в сосуде Дьюара: до 6 часов.

Автоматическая остановка процесса

по значению таймера или температуры.

Визуализация

технология визуализации на основе системы детектирования вторичных электронов SED (Secondary Electron Detector);

поле зрения: 3 мм;

детектор Эверхарта-Торнли;

образец отображается в графическом пользовательском интерфейсе.

Габаритные размеры

ширина: 991 мм;

высота: 1474 мм;

глубина: 788 мм.

Вес

230 кг 

Энергопотребление

переменное напряжение 110/220В, 50/60Гц, 1,0 кВт

Гарантия

1 год

Сервисное обслуживание

доступно по запросу

 

Метод: ионное утонение
Размер ионного пучка: до 1 мкм
Переменное напряжение : 50 эВ - 2 кВ
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Самовывоз (Санкт-Петербург, Лиговский пр., дом 270, лит. Б, офис 2201);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.