Благодаря рекордно высокой цене на золото, текущей тенденцией в производстве интегральных микросхем является переход от использования проводов, содержащих золото, к применению медных проводов. С учетом этого, для анализа отказов современных процессоров встает задача системы декапсуляции для чувствительных материалов типа меди.
Традиционные методы декапсуляции
Исторически сложилось, что использовать автоматизированную систему химической декапсуляции для травления образцов с медными проводами можно с переменным успехом.
Даже с низкотемпературной смесью азотной и серной кислот в сочетании с предварительной лазерной подготовкой, данный процесс не всегда срабатывает на 100%.
Новые методы декапсуляции
Для поддержки производителей в осуществлении перехода от золота к меди и обеспечения проведения качественного анализа отказов современных продуктов с медными проводами, Nisene Technology Group разработала новую версию системы декапсуляции JetEtch Pro, предназначенную для работы с чувствительными материалами.
JetEtch Pro CuProtect – это последняя разработка от Nisene в сфере инновационных решений для анализа отказов.
Принцип работы
Используя собственную запатентованную технологию, JetEtch Pro CuProtect применяет смещение к растворителю, закачиваемому в образец в рабочей камере. Данное смещение создает условие, при котором отрицательно заряженные ионы притягиваются и временно связываются с поверхностью медного провода. Этот временный сульфат-ион защищает медные провода от коррозии, в то время как образец подвергается процессу травления.
В менее сложных системах, опирающихся исключительно на низко температурное травление, положительно заряженные ионы водорода притягиваются к медным проводам, тем самым делая провода восприимчивыми к точечной коррозии, трещинам, обломам и многим другим аномальным артефактам, которые существенно влияют или даже полностью подавляют способность выполнения анализа отказов после процесса травления. Система Nisene Technology Group CuProtect решает эту проблему.
Результаты
Как показано на изображениях ниже, процесс применения смещения дает результаты, не имеющие аналогов в отрасли.
Если Вы хотели бы увидеть больше примеров протравленных образцов с помощью CuProtect, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Программное обеспечение
«Конечно, что-то подобное должно быть сложно использовать и трудно понять, правда?» - спрашиваете Вы. Ответ на это: «Конечно, нет!». Новая система внешне такая же как JetEtch Pro, но существует дополнительное окно в меню программирования декапсуляции, которое позволяет пользователю изменять значение приложенного смещения.
Диапазон значений от 0 В (выключенное состояние или отсутствие смещения) до 20,0 В выбирается с шагом 0.1 В. Другие различия между системой CuProtect и JetEtch Pro скрыты внутри системы. Таким образом, работать с системой CuProtect точно так же, как и с JetEtch Pro, и, в сущности, совсем не сложно. Нет необходимости изучать что-то новое, за исключением, какое напряжение применить к образцу во время травления.
<
Стоимость
Цена на CuProtect является конкурентоспособной, в чем Вы можете убедиться, изучив рынок подобных систем. Для получения коммерческого предложения на данную систему обращайтесь в Департамент аналитического оборудования, e-mail: dv@sernia.ru.
