Применение микроманипуляторов в полупроводниковых зондовых системах

Что такое микроманипуляторы в полупроводниковых зондовых системах?

Микроманипуляторы – они же, микропозиционеры/позиционеры/манипуляторы, являются специальными устройствами в составе исследовательских зондовых станций, которые перемещают держатель зонда и сам зонд на кристалл.

Микроманипуляторы (микропозиционеры) современных зондовых станций – это очень важные элементы комплекса станции, так как выполняют роль, по сути, «рабочих лошадок». Они удерживаются на месте магнитами, вакуумом и, в некоторых случаях, фиксируются болтами.

Все микроманипуляторы (микропозиционеры) оборудованы механизмом по перемещению зондов в трех направлениях – X, Y и Z. Некоторые модели также имеют настроечный ролик для выравнивания угла зонда для ВЧ или оптических измерений.

Что необходимо знать для правильного выбора микроманипулятора?

1. Для правильного выбора микроманипулятора (микропозиционера) важно знать какой тип измерений будет выполняться.
2. Второй шаг - выбор типа держателя зонда и сам зонд. Длина и вес держателя зонда поможет определить, какой микроманипулятор (микропозиционер) наиболее подходит для вашего типа тестирования.
3. Большинство микроманипуляторов (микропозиционеров) имеет регулировку с помощью колесиков, рифленых ручек или микрометров. Однако, существуют программируемые микроманипуляторы (микропозиционеры), которые могут быть настроены с помощью системы управления зондовой станции для тестирования нескольких точек на кристалле.

Микроманипуляторы Mesoscope – идеальное решение Ваших задач!

Mesoscope (Тайвань) – один из ведущих производителей дополнительного оборудования для микро- и наноисследований в полупроводниковой промышленности с 2006 года.

Отличительная черта бренда – разнообразие продуктовой линейки, которая содержит модели дополнительного оборудования, созданные на основе диалога производителя и заказчика и реальных исследовательских потребностей.

Микроманипуляторы (микропозиционеры) Mesoscope прекрасно подходят для проведения анализа отказов на зондовых станциях и микроскопах таких марок, как: FEI (DCG)/Zeiss/Kleindiek/Imina/JEOL/Hitachi Nano prober system.

Перейти в каталог микроманипуляторов Mesoscope >>>

*При подготовке статьи были использованы следующие материалы:

1. © Mesoscope; Doug Merrill, Introduction to Micropositioners (2017)