Что такое микроманипуляторы в полупроводниковых зондовых системах?
Микроманипуляторы – они же, микропозиционеры/позиционеры/манипуляторы, являются специальными устройствами в составе исследовательских зондовых станций, которые перемещают держатель зонда и сам зонд на кристалл.
Микроманипуляторы (микропозиционеры) современных зондовых станций – это очень важные элементы комплекса станции, так как выполняют роль, по сути, «рабочих лошадок». Они удерживаются на месте магнитами, вакуумом и, в некоторых случаях, фиксируются болтами.
Все микроманипуляторы (микропозиционеры) оборудованы механизмом по перемещению зондов в трех направлениях – X, Y и Z. Некоторые модели также имеют настроечный ролик для выравнивания угла зонда для ВЧ или оптических измерений.
Что необходимо знать для правильного выбора микроманипулятора?
- Для правильного выбора микроманипулятора (микропозиционера) важно знать какой тип измерений будет выполняться.
- Второй шаг - выбор типа держателя зонда и сам зонд. Длина и вес держателя зонда поможет определить, какой микроманипулятор (микропозиционер) наиболее подходит для вашего типа тестирования.
- Большинство микроманипуляторов (микропозиционеров) имеет регулировку с помощью колесиков, рифленых ручек или микрометров. Однако, существуют программируемые микроманипуляторы (микропозиционеры), которые могут быть настроены с помощью системы управления зондовой станции для тестирования нескольких точек на кристалле.
