Что такое микроманипуляторы в полупроводниковых зондовых системах?
Микроманипуляторы – они же, микропозиционеры/позиционеры/манипуляторы, являются специальными устройствами в составе исследовательских зондовых станций, которые перемещают держатель зонда и сам зонд на кристалл.
Микроманипуляторы (микропозиционеры) современных зондовых станций – это очень важные элементы комплекса станции, так как выполняют роль, по сути, «рабочих лошадок». Они удерживаются на месте магнитами, вакуумом и, в некоторых случаях, фиксируются болтами.
Все микроманипуляторы (микропозиционеры) оборудованы механизмом по перемещению зондов в трех направлениях – X, Y и Z. Некоторые модели также имеют настроечный ролик для выравнивания угла зонда для ВЧ или оптических измерений.
Что необходимо знать для правильного выбора микроманипулятора?
- Для правильного выбора микроманипулятора (микропозиционера) важно знать какой тип измерений будет выполняться.
- Второй шаг - выбор типа держателя зонда и сам зонд. Длина и вес держателя зонда поможет определить, какой микроманипулятор (микропозиционер) наиболее подходит для вашего типа тестирования.
- Большинство микроманипуляторов (микропозиционеров) имеет регулировку с помощью колесиков, рифленых ручек или микрометров. Однако, существуют программируемые микроманипуляторы (микропозиционеры), которые могут быть настроены с помощью системы управления зондовой станции для тестирования нескольких точек на кристалле.
Микроманипуляторы Mesoscope – идеальное решение Ваших задач!
Mesoscope (Тайвань) – один из ведущих производителей дополнительного оборудования для микро- и наноисследований в полупроводниковой промышленности с 2006 года.
Отличительная черта бренда – разнообразие продуктовой линейки, которая содержит модели дополнительного оборудования, созданные на основе диалога производителя и заказчика и реальных исследовательских потребностей.
Микроманипуляторы (микропозиционеры) Mesoscope прекрасно подходят для проведения анализа отказов на зондовых станциях и микроскопах таких марок, как: FEI (DCG)/Zeiss/Kleindiek/Imina/JEOL/Hitachi Nano prober system.
Перейти в каталог микроманипуляторов Mesoscope >>>
*При подготовке статьи были использованы следующие материалы:
- © Mesoscope; Doug Merrill, Introduction to Micropositioners (2017)