Поиск

Компания FEI разработала новый электронно-ионный микроскоп для нужд лабораторий анализа отказов в микроэлектронике. Новый детектор электронов даёт возможность получения изображений высокого контраста на предельно малых ускоряющих напряжениях, что важно в процессе утончения образца для последующего изучения образцов методом ПЭМ. Разрешение: 1.2 нм при 1 кВ; 0.7 нм при 30 кВ в режиме STEM