пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

PEALD - новая технология плазменного атомно-слоевого осаждения от PICOSUN

предыдущий следующий
14 Февраля 2020
Оборудование Picosun с технологией PEALD

Компания PICOSUN представила технологию нового поколения – PEALD 

Picosun Group (Финляндия) - ведущий разработчик в области нанесения тонкопленочных покрытий (ALD, атомно-слоевое осаждение, АСО). Новый подход плазменного атомно-слоевого осаждения PEALD имеет расширенный диапазон рабочих параметров и, соответственно, перечень доступных процессов АСО, что позволяет получить максимально однородную пленку с высоким качеством. 

PEALD – новая технология плазменного АСО, позволяющая получать превосходное качество тонких пленок. Осаждение материалов в технологии PEALD происходит при относительно низких температурах, что значительно повышает разнообразие наносимых материалов, в том числе и недостаточно восприимчивых к термическому процессу. Низкая температура технологического процесса также позволяет наносить покрытие на чувствительные к нагреву материалы, такие как пластик и полимеры. 

Основной недостаток технологии PEALD - повреждение поверхности образца, вызванное процессом ионной бомбардировки. Разработчики Picosun нашли решение проблемы – при отведении (удаление) плазмы, когда источник плазмы находится достаточно высоко над образцом, а реактивные частицы, достигающие поверхности, представляют собой радикалы с низкой энергией, а не высокоэнергетические ионы – повреждения поверхности образца не происходит. 

В результате проведенной модернизации оборудование серии Picoplasma™ с технологией PEALD перешло на совершенно новый уровень, обеспечивая при этом большую скорость обработки при высоком качестве и чистоте пленки. 

Picosun_PEALD_3.png

Основные преимущества технологии PEALD Pisocun 

PEALD основана на дистанционном применении микроволновой плазмы (MWP) высокой мощности. Генератор плазмы, представляющий собой компактный и легкий прибор, может быть целиком интегрирован в существующие реакторы производства PICOSUN®

В новом подходе реализуется практически бездефектное напыление однородной структуры, с высокой степенью конформности, чрезвычайно низким содержанием примесей металлов и с гораздо более коротким временем обработки по сравнению с ранее используемым методом. 

Такой способ применения микроволновой плазмы обеспечивает более широкий диапазон рабочих параметров, тем самым расширяя перечень доступных процессов АСО, позволяя получить максимально однородную пленку с высоким качеством.

Таблица 1. Свойства пленки (на примере SiO2), полученные новым методом PEALD

Размер пластины,

рабочая температура, скорость осаждения

Неоднородность толщины пленки  (1σ, подложка 5мм, 49 точек)

Ток утечки

(@4МВ)

Частицы

(@>0,25 мкм)

Примеси

металлов (атомы Fe, Ti, Cr, Mn, Ni, Cu, Zn)

200 мм, 400ºC,

0.86 Å/цикл

1.7 % (пленка ~ 10 нм)

2.1 x 10-8 A/см2

< 60

< 2 x 1010 /см2



Где применяется оборудование Picosun с новой технологией PEALD?

мэмс_.jpg

Обновленное оборудование серии Picoplasma™ от Picosun с новой, тщательно модернизированной технологией плазменного АСО (PEALD) станет незаменимым в сферах разработки и создания устройств для медицины и микроэлектромеханических систем (MEMS). Основная причина в том, что данные устройства обычно изготавливаются на чрезвычайно чувствительных подложках, которые можно обрабатывать только при низких температурах. Именно по этой причине оборудование Picosun с технологией PEALD - идеальное решение, специально разработанное для этих задач.

О компании Picosun

Picosun предлагает самую совершенную технологию тонкоплёночного АСО покрытия, позволяющую осуществить промышленный скачок в будущее, с производственными решениями «под ключ» и непревзойдённым опытом в этой области. Сегодня оборудование АСО PICOSUN™ ежедневно используется во многих крупных отраслях промышленности по всему миру. Picosun базируется в Финляндии, с филиалами в Европе, Северной Америке, Сингапуре, Тайване, Китае, Японии и всемирной сетью продаж и поддержки.

Каталог продукции компании Picosun >>>

Заинтересовало оборудование для атомно-слоевого осаждения? Обращайтесь к нашим специалистам! Мы подберем оборудование под Ваши цели и задачи и сориентируем Вас по ценам на продукцию. Присылайте Ваши вопросы и заявки на эл.почту am@sernia.ru, тел. +7 495 204 13 17.