Новейшие технологии, реализованные в микроскопе Helios 5 UX DualBeam, позволяют осуществлять деликатную поэтапную подготовку ламелей для высокоразрешающей С/ПЭМ и получать высококачественные изображения для 3D-анализа сложных образцов.
Анализ отказов с микроскопом Helios 5 UX DualBeam Thermo Scientific
Представляем новинку - Helios 5 UX DualBeam - двулучевой (DualBeam™) микроскоп из семейства передовых сканирующих электронно-ионных микроскопов Thermo Scientific™ серии Helios™ 5. Микроскоп Helios 5 UX DualBeam – специальная разработка для проведения анализа отказов ИС, 3D—характеризации и подготовки ламелей.
Микроскоп Helios 5 UX DualBeam имеет выдающиеся характеристики сфокусированного ионного и электронного пучков, уникальное программное обеспечение, беспрецедентные уровни автоматизации и простоты использования.
Получение изображений со сверхвысоким разрешением и максимальной контрастностью на микроскопе Helios 5 UX DualBeam Thermo Scientific™ достигается благодаря наличию в составе системы инновационной электронной колонны Thermo Scientific™ Elstar™ с сильноточной технологией UC+.
Максимально быстрая, простая и точная подготовка образцов обеспечивается ионной колонной Thermo Scientific ™ Phoenix™, оптимизированной для работы при низких ускоряющих напряжениях.
Ключевые особенности Helios 5 UX DualBeam
- Максимально быстрая и удобная подготовка ультратонких образцов высочайшего качества для ПЭМ с помощью новейшей ионной колонны Phoenix, оптимизированной для работы при низких ускоряющих напряжениях;
-
Кратчайшее время получения информации о наноразмерных объектах со сверхвысоким разрешением посредством лучшей в своем классе электронной колонны Elstar;
- Монохроматор нового поколения UC+ с высоким током, обеспечивающий формирование изображений субнанометровых структур при низких энергиях пучка;
- Наиболее полный объем информации об образце благодаря отсутствию артефактов зарядки, высокой контрастности и четкости изображений, получаемых с помощью встроенных в колонну и расположенных под объективной линзой детекторов (всего до 7 детекторов);
- Трехмерное мультимодальное представление данных, с возможностью точной фокусировки на интересующей области образца, выполненное в дополнительном программном обеспечении Thermo Scientific ™ Auto Slice & View ™ 4 (AS & V4);
- Быстрое и прецизионное травление и осаждение сложных структур с размерами менее 10 нм;
- Прецизионная навигация по образцу с помощью 150-мм предметного пьезостолика, обладающего высокой стабильностью и точностью, и встроенной навигационной камеры Thermo Scientific Nav-Cam™, что дает возможность успешно решать самые разнообразные задачи;
- Формирование изображений без артефактов и искажений благодаря наличию инструментов удаления загрязнений и режимов Thermo Scientific DCFI, Drift Suppression и SmartScan™
Подробнее о микроскопе Helios 5 UX DualBeam >>>
Если Ваc заинтересовал СЭМ Helios 5 UX DualBeam или другие микроскопы Thermo Scientific, а также требуется подробная консультация по подбору подходящего микроскопа конкретно под Ваши задачи - обращайтесь к нашим специалистам. Присылайте запросы на: info@sernia.ru или позвоните нам: +7 495 204 13 17.