пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Метод когерентной корреляционной интерферометрии для измерения тонких плёнок

Постоянно растущие требования к технологии нанесения тонких пленок ведет к росту требований к оборудованию, контролирующему их качество. Важно контролировать как толщину, так и равномерность пленок с целью обеспечения качества, эффективности и их функциональности.

В метрологии используется несколько методов для измерения толщины пленки. К традиционным относятся методы спектрофотометрии и эллипсометрии. В последнее время становится популярен метод Когерентной Сканирующей Интерферометрии (CSI) из-за его высокого пространственного разрешения и скорости. Тем не менее, одним из ограничений традиционной интерферометрии является толщина покрытия, которая может быть измерена. Как правило, она должна быть больше, чем 1,5 мкм, чтобы получить точные данные.

Теперь можно измерить толщину от 50 нм или менее, используя метод Когерентной Корреляционной интерферометрии (Coherence Correlation Interferometry, CCI) совместно с HCF (Helical Complex Field) методом.
Метод HCF был разработан и запатентован компанией Taylor Hobson (Ametek) для извлечения информации о пленке. Благодаря применению функции HCF, метод CCI становится идеальным способом для получения информации о толщине пленки. Метод используется для измерения толщины с большой точностью в диапазоне от 5 мкм до ~ 50 нм. Пленки толщиной до 50 нм также могут быть измерены. Однако, переход на измерение таких тонких пленок требует большой аккуратности и точность измерений зависит от оптических свойств материала. Оба методы реализованы в приборе компании Taylor Hobson CCI HD – оптическом профилометре для измерений характеристик поверхности и толщины пленки с высоким разрешением.

Читать подробнее о CCI HD >>