Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Зондовая станция PS4L FA-4/6/8/12 SEMIPROBE автоматическая

Производитель:
SemiProbe Flag

Модульные зондовые станции для работы с пластинами 100/150/200/300 мм 

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка
  • Демонстрация

Основные сведения о зондовых станциях PS4L серии FA SEMIPROBE

Серия автоматических зондовых станций FA SemiProbe представлена четырьмя моделями -  FA-4 / FA-6 / FA-8 / FA-12 для работы с пластинами следующих размеров соответственно: 100/150/200/300 мм. Серия модульных зондовых станций SemiProbe FA-4/6/8/12 разработаны на базе адаптивной архитектуры Probe System for Life (PS4L) и представляют из себя комплект технических средств на базе оптического микроскопа, предназначенный для точного позиционирования зондов на  контактные площадки полупроводниковых приборов и создания электрических контактов в необходимых точках для контроля их электрических параметров. Работа с пластинами и подложками размером:

  1. модель FA-4  - 75 мм и 100 мм
  2. модель FA-6  -  100 мм и 150 мм 
  3. модель FA-8  -  150 мм и 200 мм 
  4. модель FA-12 - 200 мм и 300 мм  

Основные области применения высокопроизводительных зондовых станций для тестирования разнообразных устройств серии FA– дискретные компоненты, интегральные схемы, МЭМС, оптоэлектроника, высокочастотные и микроволновые устройства, солнечные батареи и др.

Особенности зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE

  • Решение различных задач с помощью одной системы: схемы на постоянных токах, высокочастотные приборы, оптоэлектроника, микроэлектромеханика и др.;
  • 3 режима - автоматический, полуавтоматический и ручной; 
  • Исследование кристаллов и пластин, размещенных в кассетах или в специальных держателях с двойным захватом;
  • Работа с тонкими и искривленными пластинами - от 50 мкм до 70 мкм, кремний и соединения III-V групп;
  • Поддержка нескольких кассет одновременно (обычно 2 кассеты);
  • Настраиваемое ПО PILOT: автоматическое выравнивание пластин и кристаллов, определение и профилирование высоты Z, навигатор по образцу, различные интерфейсы и др.;
  • Опции - держатели образцов с нагревом/ охлаждением, оптические системы, видеокамеры, считыватели штрих-кода, системы распознавания текста, манипуляторы, зондовые сборки и т.д.
Программное обеспечение

Все автоматические системы SemiProbe работают под управлением программного обеспечения PILOT. PILOT – модульное, интуитивно понятное и простое в освоении ПО. В случае появления в составе станции новых функций и оборудования, ПО может быть легко дополнено соответствующими управляющими модулями без внесения изменений в ядро программы. Имеется возможность управления перемещением с помощью джойстика.

Интеграция с другими приборами

ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, включающие в себя специализированные драйвера для поддержки самых современных инструментов, в том числе параметрического анализатора Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP / IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.

Аксессуары

Для PS4L доступна полная линейка аксессуаров, в том числе держатели зондовых сборок, манипуляторы и их базы, зонды и держатели зондов, лазеры, оптические системы, видеокамеры, устройства подачи образцов (механизмы автоматической загрузки), антивибрационные столы, светонепроницаемые боксы и многое другое.

Преимущества зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE

  • Полностью автоматическая система для исследования 100/150/200/300 мм пластин, возможность апгрейда для работы с бОльшими по размеру пластинами;
  • Все основные компоненты системы - сменные. Это дает возможность упрощенного конфигурирования системы и позволяет избежать трудностей при появлении новых задач или изменении бюджета;
  • Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы их всегда можно было модернизировать непосредственно на месте размещения системы.

Технические характеристики зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE

Размеры

Модели FA-4/6: 900 мм x 1625 мм x 2438 мм; модель FA-8: 900 мм x 1981 мм x 2438 мм; модель FA-12: 1200 мм x 1981 мм x 2438 мм (Ш,В,Д) – с оптикой, устройством загрузки образцов и подставкой для монитора/клавиатуры

Вес

Модели FA-4/6/8 - 240 кг; модель FA-12 - 318 кг

Перемещение столика по осям X-Y

Ход: FA-4 - 105 мм x 105 мм; FA-6 - 155 мм x 155 мм;  FA-8 - 205 мм x 205 мм; FA-12 - 305 мм x 305 мм

 

Скорость: 50 мм/сек

 

Разрешение: 0.1 мкм

 

Повторяемость: +/- 0.5 мкм

 

Точность: +/- 3 мкм

 

Планарность: +/- 8 мкм за один полный ход

 

Шаговый двигатель Nema 17

 

Оптический линейный преобразователь

Перемещение столика по оси Z

Ход по Z: 15 мм

 

Разрешение: 0.5 мкм

 

Повторяемость: +/-1.5 мкм

Наклон столика

Ход: +/-4 градусов (задается пользователем)

 

Разрешение: 0.29 угловой секунды, (0.00001 градуса)

Держатель образцов

Вакуумная или механическая фиксация образца, круглый или квадратный, ВЧ, для больших напряжений/токов, для стандартных температур, с нагревом/охлаждением и с настраиваемыми зажимами

 

Для кристаллов и сборок, частей пластин на рамках, расколотых и полных пластин до 150 мм для моделей FA-4/6; 200 мм для моделей FA-8/12

 

Сталь с никелевым покрытием и концентрическими вакуумными кольцами (стандартно), доступны другие материалы покрытия

 

Планарность: +/- 8 мкм

Основание для размещения зондов 

Алюминиевое, верхняя часть из нержавеющей стали

 

Возможность поворота манипуляторов на 360 градусов

 

Фиксация манипуляторов – магнитная, вакуумная

Перемещение основания для зондов

Подъем основания: фиксированный или настраиваемый

 

Настройка подъема: грубая 40 мм, плавная 200 мкм

Крепление/перемещение микроскопа

Крепление – штанговое, штыревое или мостовое

 

Перемещение – ручное или программируемое – 50 x 50 мм, 50 x 75 мм, 100 x 100 мм

Оптика

Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые

Инженерное обеспечение

Питание: ~110/220В ~50-60 Гц 20A

 

Вакуум: 23 дюйм. рт. ст. или -0.8 бар


Диаметр позиционируемого образца (мм): от 75 мм до 300 мм
Тип механизма: автомат/полуавтомат/ручной
Размеры станции (мм): 900/1200*1625/1981*2438
Вес (кг): 240-318
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk.jpg
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.