Electro-Damp® представляет собой активную пневматическую систему виброзащиты, разработанную специально для улучшения условий высокоточных полупроводниковых производственных площадок.
Новейшая разработка TMC в линейке систем активной пьезоэлектрической виброзащиты. STACIS® iX - это гибридная система, которая использует комбинацию пьезоэлектрической и воздушной систем виброзащиты.
Активная система подавления вибраций Stage-Base 450 специально разработана для использования вместе с высокопрецизионными установками для производства полупроводниковых устройств, включающих в себя высокоточные моторизованные X-Y столы. Виброизоляция начинается с 0,6 Гц.
Антивибрационная система UltraDamp™ идеально подходит для применений,
где чувствительность к вибрации является критичной, а имеющиеся в
составе установок мощные, высокоскоростные, моторизованные X-Y столы
требуют моментального времени установления полезной нагрузки. Идеально
подходят для OEM-приложений, т.е. идеально подходят для встраивания или
как отдельный конструктивный элемент продукции, выпускаемой сторонним
производителем.
Оптические столы ClassOne™ CleanTop® разработаны для эксплуатации в условиях чистых помещений. Имеют стальную конструкцию и могут быть выполнены в 2 вариантах структурного демпфирования.
Оптические столы исследовательского класса являются самой совершенной системой виброзащиты на рынке оптических виброизоляционных платформ. Максимально возможный уровень структурного демпфирования.
Лабораторный класс оптических столов TMC обладает характеристиками, достаточными для исследовательских установок минимального уровня чувствительности с невысокими вибрационными требованиями.
Оптические столы научного класса обладают высокими конструкционными показателями с уменьшенным по сравнению со столами исследовательского класса уровнем структурного демпфирования. Уровень пиков податливости превышен в 4 раза по сравнению с платформами исследовательского класса.
TMC TableTop CSP — небольшая антивибрационная платформа, которая
идеально подходит для размещения небольшого микроскопа или любого другого
прецизионного лабораторного прибора.
