Установка ALD Morpher Picosun для производства полупроводников

ALD-установка Morpher PICOSUN для работы с пластинами до 200 мм 

ALD-установка PICOSUN ™ Morpher разработана для производства полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм.  Она предназначена для автоматического, высокопроизводительного производства MEMS, датчиков, светодиодов, лазеров, силовой электроники, оптики и компонентов 5G с одновременным высочайшим качеством, надежностью и оперативностью технологических процессов. 

Установка АСО Morpher приспосабливается к меняющимся потребностям отрасли и требованиям клиентов по всем направлениям полупроводниковой отрасли: от научно-исследовательских лабораторий до производства и производственной фабрики. 

Универсальность использования материалов подложки, их размеров и партий, а также широкий диапазон процессов делают ALD установку Morpher Picosun незаменимой для производств, которые стремятся занимать главенствующее положение в отрасли. 

Технические особенности ALD-установки Morpher PICOSUN

Типичные размеры и виды подложек

• 200 мм подложки в партии до 50 штук;
• 150 мм подложки в партии до 50 штук;
• 100 мм подложки в партии до 50 штук;
• Образцы с высоким аспектным соотношением топологии (до 1:2500);
• Виды подложек: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO₃, LiTaO₃, InP.

• 50 – 300°C;
• До 1000 подложек / 24 часа при нанесении 15 нм Al₂O_3.

• Возможность групповой обработки с временем цикла до единиц секунд;
• Al₂O₃, SiO₂, Ta₂O₅, HfO₂, ZnO, TiO₂, ZrO₂, и металлы;
• Неравномерность в партии ниже 1% 1σ (процесс Al₂O₃ WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE.

• Полностью автоматическая, с помощью вакуумного кассетного загрузчика с возможностью вертикального переворота;
• Групповая загрузка по системе от кассеты к кассете с помощью модуля Picoplatform™ 200;
• Опциональный SMIF-загрузчик.

• Независимый редактор рецептов, позволяющий создавать и модифицировать рецепты во время процессов, с динамической структурой (масштабируемый формат для каждого рецепта);
• Унифицированный интерфейс для управления всем кластером с одним протоколом связи (Ethercat);
• Фиксированная длительность цикла с частотой регистрации данных 1/20 миллисекунды, способна к многозадачности
• Возможность удаленной регистрации данных, все данные полностью экспортируемы;
• Интеграция SECS / GEM с фабрикой.

• Жидкие, твердые, газообразные, озон;
• Датчики уровня, сервис по очистке и заправке;
• До 12 источников с 6-ю раздельными входами.

Интеграция с производственной линией  ALD-установки Morpher PICOSUN

PICOSUN ™ Morpher разработан для полностью автоматизированной обработки партий подложек в сочетании с промышленными стандартными вакуумными кластерными платформами для одиночных пластин. Революционный запатентованный механизм переворачивания партий пластин позволяет интегрировать систему в полупроводниковую производственную линию, где большая часть процессов происходит в горизонтальной плоскости, а сертификация SEMI S2 / S8 гарантирует, что система совместима с самыми строгими стандартами отрасли. 

Система АСО PICOSUN ™ Morpher может быть интегрирована в производственную линию посредством протокола SECS / GEM, а современное программное обеспечение предоставляет простую, безопасную и надежную работу системы благодаря интуитивно понятному и оптимизированному графическому интерфейсу. 

В АСО PICOSUN ™ Morpher использована запатентованная двухкамерная конструкция реактора с горячими стенками, полностью разделенными трубопроводами и впускными отверстиями для прекурсоров.

Оборудование PICOSUN ™ позволяет создавать пленки АСО высочайшего качества с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками. Компактный, эргономичный дизайн с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальное время простоя системы и минимальную стоимость владения на рынке.

Узнать больше о возможностях АСО PICOSUN ™ Morpher >>>