MG и MU - установки ионного травления PLASSYS
Методы травления
- Нереактивное ионное травление;
- Реактивное травление ионным лучом (RIBE);
- Травление посредством ионного луча с химическим ассистированием (CAIBE).
Особенности установок ионного травления «MG» и «MU»
- Источники индуктивно связанной плазмы (ICP) – размер пучка 14 или 20 см;
- Плотность тока до 4 мA/см2 ;
- Диапазон энергий от 100 до 1000 эВ.
Автоматизированная вакуумная система
- Сухой безмасляный или масляный роторный насосы;
- Турбомолекулярный насос с керамическими подшипниками или на магнитном подвесе;
- Криогенный насос.
Держатель образцов
- Держатель обеспечивает наклон, планетарное вращение и водяное охлаждение подложки.
Шлюзы с автоматической или ручной загрузкой образца
Детекторы для определения момента окончания травления
- Лазерный интерферометр;
- Масс-спектрометр вторичных ионов.
Области применения установок ионного травления «MG» и «MU»
- Магниторезистивная оперативная память (MRAM);
- Обработка переходных металлов;
- Микроиглы и микрозонды.
Технические характеристики установок ионного травления «MG» и «MU»
|
Наименование |
Описание |
|
Источники индуктивно связанной плазмы (ICP) |
Размер пучка 14 или 20 см |
|
Плотность тока |
До 4 мA/см2 |
|
Диапазон энергий |
От 100 до 1000 эВ |
| Источники индуктивно связанной плазмы (ICP): | размер пучка 14 или 20 см |
| Плотность тока: | до 4 мA/см2 |
| Диапазон энергий: | от 100 до 1000 эВ |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
