Прецизионная система подготовки образцов для ПЭМ методом ионного утонения с диаметром пучка менее 1 мкм, низкоэнергетическим источником ионов инертного газа и колонной СЭМ.
Основные сведения о системе пробоподготовки 1080 PicoMill TEM Fischione
Система подготовки образцов 1080 PicoMill TEM cовмещает низкоэнергетический источник ионов инертного газа и колонну СЭМ с разнообразными детекторами для проведения оптимальной подготовки образца для ПЭМ (TEM). Разработана специально для интеграции в рабочий процесс ФИП (FIB) и позволяет достигнуть с первого раза правильной подготовки образца.
Пост-FIB обработка обеспечивает подготовку образцов для ПЭМ высшего качества. Полировка сфокусированным ионным пучком (ФИП/ FIB) является широко используемым методом для самых современных (передовых) материалов, который обеспечивает возможность подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ).
Главная задача при работе с современными материалами - создание образцов, которые не содержат артефактов и являются электронно-прозрачными (электронная прозрачность означает, что достигнута такая толщина образца, при которой электроны электронного пучка ПЭМ способны пройти сквозь образец).
FIB очень эффективен при подготовке образцов для ПЭМ, но использование высокоэнергетического жидкометаллического ионного источника часто может привести к аморфизации образца, имплантации галлия (Ga) или к тому и другому.
Область применения
-
микроэлектроника, подготовка полупроводниковых образцов для анализа в ПЭМ (TEM);
-
любые другие образцы, требующие оптимальных результатов подготовки;
-
идеальный вариант для случаев, когда образец готовится с помощью ФИП (англ. FIB) для анализа в ПЭМ с использованием современных технологий коррекции аберраций.
Система 1080 PicoMill является идеальным дополнением к технологии FIB - она добавляет расширенные возможности получения оптимального качества образца при одновременном повышении производительности подготовки образцов за счет перевода процесса финального утонения в автономный режим. С 1080 PicoMill вы получаете возможность точного и предсказуемого утонения образца, что снижает вероятность повторных операций и оптимизирует время обработки. Это увеличивает ваши возможности по производству образцов высшего качества, а также общую производительность процесса пробоподготовки.
Преимущества системы пробоподготовки 1080 PicoMill TEM Fischione
-
Обеспечивает достижение высочайшего качества образцов – без аморфных и имплантированных слоев.
-
Дополняет технологию обработки фокусированным ионным пучком (ФИП / FIB).
-
Полировка без внесения артефактов.
-
Усовершенствованная технология детектирования для визуализации и точного определения конечной точки обработки образца.
-
Визуализация “живого” изображения в ионах и электронах.
-
Возможность подключения микроскопа для безопасной обработки образцов.
-
Расширяет возможности и увеличивает производительность пробоподготовки.
Особенности системы пробоподготовки 1080 PicoMill TEM Fischione
- Утонение заданного участка ультра-низкоэнергетическим ионным пучком
Ионный источник системы PicoMill построен на основе ионизационной камеры с нитью накала и электростатических линз. Ионный источник системы специально разработан для формирования ионов ультра-низкой энергии в ионном пучке субмикронного диаметра. В источнике используется инертный газ (аргон). Диапазон рабочих напряжений ионного источника составляет от 50 эВ до 2 кВ.
Алгоритм управления с обратной связью от источника ионов обеспечивает стабильные и воспроизводимые условия формирования ионного пучка в широком диапазоне параметров полировки. Переосаждение распыленного материала на область интереса исключается, поскольку ионный пучок может быть сфокусирован на определенную область образца. Вы можете обрабатывать ионным пучком всю поверхность образца или задать конкретную область для селективной полировки. Ионы контактируют только с той областью интереса образца, где они необходимы для выполнения работы. Ионный пучок находится на достаточном расстоянии от сетки-держателя, что предотвращает переосаждение материала в процессе полировки.
- Точная регулировка угла обработки
Угол падения ионного пучка регулируется в диапазоне от –15° до + 90°. Ионный источник зафиксирован на месте и с помощью гониометра осуществляется наклон держателя образца для обеспечения заданного угла полировки. Управление осуществляется через пользовательский интерфейс системы PicoMill. Образец располагается вдоль осей X, Y и Z так, чтобы точно ориентировать ламель относительно ионного и электронного пучков.
Полировка образцов при малых углах падения пучка (менее 10°) сводит к минимуму повреждения и нагрев образца. Низкоугловая полировка в сочетании с растеризацией ионным пучком (формированием изображения с помощью ионного пучка) способствует равномерному истончению разнородных материалов и очень полезна при подготовке слоистых структур или композитных материалов.
- Визуализация образца “вживую”
В дополнение к электронной колонне СЭМ система PicoMill имеет несколько детекторов:
- детектор отраженных электронов (детектор BSE, англ. BSE – Backscatter Electron Detector) – для визуализации образца “в электронах”;
- SE-детектор вторичных электронов (детектор SE, англ. SED – Secondary Electron Detector) – для визуализации образца “в ионах и электронах”;
- STEM-детектор (детектор растровой электронной просвечивающей микроскопии, англ. STEM – Scanning Transmission Electron Detector) – для определения “электронной прозрачности” и детектирования конечной точки процесса полировки.
Комбинация детекторов позволяет выполнять “живую” визуализацию образца на месте подготовки до, в процессе и после ионной полировки. Также может быть визуализирована сетка-держатель, содержащая ламель или определенный участок образца, полученный традиционным способом.
Вы можете просматривать образцы “вживую” (на месте) на специальном мониторе, на который могут выводиться изображения в отраженных электронах, так и изображения во вторичных электронах, индуцированных ионным пучком. Захват изображения осуществить так же легко, как просто щелкнуть мышью.
- Компьютезированное управление
Система PicoMill управляется через интуитивно понятный пользовательский интерфейс, обеспечивающий ввод и контроль всех параметров полировки, таких как угол обработки, положение образца, время воздействия ионного пучка. Оператору также доступно управление электронной колонной и выбор используемого для визуализации детектора системы.
- Обнаружение конечной точки / завершение процесса
Подготовка образцов с определенной степенью электронной прозрачности для формирования изображений высочайшего качества в ПЭМ является конечной целью процесса пробоподготовки. Это особенно важно при использовании современных технологий коррекции аберраций в ПЭМ.
По мере того, как образец истончается, увеличивается вероятность прохождения электронов через образец. При достижении определенного уровня сигнала STEM-детектора, регистрирующего прошедшие через образец электроны, система автоматически завершает процесс полировки. Система PicoMill также имеет возможность остановки процесса по таймеру или вручную в любой момент времени.
- Плазменная очистка
Для процесса PicoMillingSM компания Fischione настоятельно рекомендует проводить плазменную очистку образца и держателя образца, перед вводом в ПЭМ. Во время микроанализа образца на нем могут образовываться органические загрязнения. Время очистки от 10 секунд до 2 минут в плазменном очистителе Fischione 1020 или NanoClean модели 1070 удаляет загрязнения без изменения структуры или состава образца. Более длительное время очистки может удалить загрязнение, вызванное предыдущим просмотром в ПЭМ образцов, которые не были очищены плазмой.
- Совместимость с микроскопом уменьшает сложность манипуляций с образцом
Возможность использовать один и тот же держатель в системе PicoMill и ПЭМ означает, что вы можете быстро и безопасно транспортировать подготовленный образец из системы PicoMill в ПЭМ, что особенно полезно при работе с уникальными образцами.
- Автоматический контроль подачи газа (дополнительно)
Подача газа регулируется автоматически с использованием массового регулятора потока (англ. MFC – Mass Flow Controller). Незначительный расход газа ионным источником обеспечивает минимальное потребление газа.
- Сухая вакуумная система без загрязнения (дополнительно)
Полностью интегрированная вакуумная система системы PicoMill включает турбомолекулярный насос, поддерживаемый многоступенчатым диафрагменным (мембранным) насосом. Эта безмасляная система обеспечивает чистую среду для обработки образцов.
Вакуумная камера находится под постоянным вакуумом, что означает, что ионная обработка может начаться практически сразу после введения образца в гониометр.
Технические характеристики системы пробоподготовки 1080 PicoMill TEM Fischione
|
Ионный источник |
§ Источник ионов на основе нити накаливания совмещен c системой электростатических линз; § диапазон напряжений: от 50 эВ до 2 кВ, плавная регулировка; § плотность тока пучка до 8 мА /см2; диаметр пучка менее 1 мкм. |
|
Электронный источник |
§ Ускоряющее напряжение до 10 кэВ; § рабочее расстояние 16 мм; § цилиндр Фарадея для контроля тока пучка в диапазоне от 1 до 2000 пА. |
|
Гониометр |
§ Конструкция: совместима с ПЭМ § Перемещение по осям X, Y, Z, угол наклона α; § время смены образца: менее 30 сек.; § диапазон углов обработки: от –15° до + 90°; § диапазон углов обзора: от –15° до 180°. |
|
Держатель образца |
§ держатель стандартного гониометра с боковым вводом, совместимый с держателями для ПЭМ; § совместим со всеми основными ПЭМ. |
|
Ионный источник |
§ Ионный пучок может быть направлен в определенную точку или обрабатываться может выбранная (заданная) область образца. |
|
Пользовательский интерфейс |
Управление прибором осуществляется через меню управляющей программы с постоянным отображением состояния системы. |
|
Система подачи газа |
§ Источник газа: аргон сверхвысокой чистоты (не хуже 99.999%, англ. UHP – Ultrahigh Purity); § Контроль газа автоматизирован с использованием технологии контроля массового расхода (MFC); Пневматическая система: сжатый воздух или сухой азот давлением 2-7 бар. |
|
Визуализация |
§ Детектор вторичных электронов SE/детектор Эверхарта-Торнли; § поле зрения при визуализации в электронах: 2 мм; § поле зрения в ионно-индуцированных электронах: 1.9 мм; § отображение образца в пользовательском интерфейсе управляющей программы PicoMill; § детектор отраженных электронов BSE; § твердотельный STEM-детектор (детектор растровой электронной просвечивающей микроскопии). |
|
Вакуумная система
|
§ Турбомолекулярный насос (ТМН) с безмасляным диафрагменным насосом на входе ТМН; § давление в камере: – базовый вакуум в системе 3x10-6 мбар; – рабочий вакуум от 1х10-4 мбар; электронная колонна: – базовый вакуум 1x10-6 мбар; гониометр: до 1 мбар (предварительная откачка); § вакуумметры: – измерение вакуума в камере и электронной колонне с помощью холодного катода; § датчик Пирани для гониометра. |
|
Автоматическое остановка процесса |
Остановка процесса при достижении определенного уровня сигнала STEM-детектора, регистрирующего прошедшие через образец электроны, по таймеру или вручную. |
|
Размеры рабочего пространства для размещения прибора |
ширина: 205,51 см; высота: 146,94 см; глубина: 127,33 см. |
|
Вес |
227 кг |
|
Энергопотребление |
Переменное напряжение 208-240В, 50/60Гц, 1100 Вт |
|
Гарантия |
1 год |
|
*_Стандартные боковые держатели образцов для ПЭМ нельзя использовать в системе PicoMill, поскольку они не обеспечивают доступ к образцу для ионной обработки. Однако держатель системы PicoMill можно использовать как в системе PicoMill, так и в соответствующих электронных микроскопах. |
|
|
|
|
| Метод: | ионное утонение |
| Размер ионного пучка: | менее 1 мкм |
| Диапазон напряжений: | от 50 эВ до 2 кВ |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
