1070 NanoClean Fischione - установка плазменной очистки

Основные сведения об установке плазменной очистки 1070 NanoClean Fischione

Установка 1070 NanoClean позволяет в автоматическом режиме быстро удалить органические (углеводородные) загрязнения при подготовке образцов к исследованиям средствами электронной микроскопии. Данная система является многофункциональной - она дает возможность выполнить очистку образцов, держателей и столиков в едином цикле. Также эта система хорошо подходит для различных методов анализа поверхностей.  

Формирующаяся в специальной камере системы высокочастотная низкоэнергетическая индуктивно-связанная плазма обладает отличной эффективностью очистки и при этом не оказывает негативного воздействия на структуру и элементный состав вещества. Даже сильно загрязненные образцы можно очистить всего за 2 минуты и менее. 

1070 NanoClean обеспечивает обработку одного или одновременно двух боковых держателей образцов, а также позволяет подготовить макрообразцы для исследований с помощью СЭМ и других методов анализа поверхностей. В систему можно загрузить боковые держатели всех коммерчески доступных ПЭМ и сканирующих просвечивающих электронных микроскопов (СПЭМ).

Преимущества установки плазменной очистки 1070 NanoClean Fischione

• Очистка образцов одновременно с соответствующими держателями и креплениями

• Отсутствие модификации структуры и элементного состава образца

• Несколько входов для подачи газов с возможностью их смешивания

• Откачка воздуха из вакуумных контейнеров
• Время очистки - менее 2 минут

Особенности установки плазменной очистки 1070 NanoClean Fischione

• Совместная очистка образцов и держателей для электронной микроскопии

Установка NanoClean позволяет в автоматическом режиме быстро удалить органические (углеводородные) загрязнения при подготовке образцов к исследованиям средствами электронной микроскопии. Данная система является многофункциональной; она дает возможность выполнить очистку образцов, держателей и столиков в едином цикле. Также эта система хорошо подходит для различных методов анализа поверхностей.

Встроенный модуль управления с удобным сенсорным экраном, который обеспечивает доступ к настройке отдельных функций прибора, таких как мощность плазмы, давление в камере, состав газовой смеси и время работы. В системе NanoClean предусмотрено наличие рецепта очистки предназначенных для электронной микроскопии образцов и держателей. Также в системе хранятся рецепты для решения других задач подготовки образцов, например, рецепт повышения гидрофильных свойств решеток для биологических образцов.

• Повышение качества изображений и эффективности анализа

Очистка происходит в ходе реактивного плазменного травления исключительно путем химической реакции компонентов рабочего газа с углеродосодержащими веществами на образце или держателе. Формирующаяся в специальной камере системы низкоэнергетическая индуктивно-связанная высокочастотная плазма обеспечивает эффективную очистку материалов и при этом не оказывает негативного воздействия на их структуру и элементный состав.

В современных электронных микроскопах присутствуют источники с высокой интенсивностью эмиссии, использование которых нередко приводит к загрязнению образцов, не прошедших предварительную плазменную очистку. Установка плазменной очистки NanoClean позволяет быть уверенным в том, что углеродосодержащие загрязнения не повлияют на качество изображений и результаты исследований даже в случае продолжительного рентгеноспектрального микроанализа при малых токах зонда. Система обладает хорошей производительностью – сильно загрязненные образцы можно очистить за 2 минуты и быстрее.

• Безмасляная вакуумная система

В установке «NanoClean» используется безмасляная вакуумная система. В рабочей камере системы предусмотрен шлюзовой загрузчик, который позволяет значительно ускорить процедуру смены образца, что делает систему «NanoClean» идеально подходящей для решения задач обработки большого количества образцов в минимальные сроки. Система «NanoClean» содержит три регулятора массового расхода и позволяет подавать в камеру сразу несколько газов. Обычно для удаления загрязнений используется проверенное временем решение – смесь 25% кислорода и 75% аргона, которая подается на один из входов системы. Газы, поданные на два других входа системы «NanoClean», могут быть смешаны согласно внутреннему алгоритму контроля массового расхода. Схема автоматического согласования позволяет избежать потерь энергии высокочастотных колебаний при генерации плазмы, а также подобрать необходимую для каждой задачи мощность. Регулировка мощности плазмы осуществляется в зависимости от выбранного режима работы, свойств обрабатываемых объектов, типов и количества применяемых газов.

• Стандартные и специализированные держатели образцов

Установка NanoClean обеспечивает обработку одного или одновременно двух боковых держателей образцов всех коммерчески доступных просвечивающих, сканирующих и сканирующих просвечивающих электронных микроскопов. В верхней части камеры располагается люк, через который в камеру можно поместить крупные объекты. Такая особенность системы делает ее незаменимой при подготовке материалов, предназначенных для исследований с помощью СЭМ и различных методов анализа поверхностей. Для использования вместе с системой разработан специальный порт, который дает возможность плазменной обработки образцов, размещенных на углеродных решетках.

Технические характеристики установки плазменной очистки 1070 NanoClean Fischione