пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

1062 TrionMill Fischione - настольная система подготовки образцов для CЭМ

Производитель:
Fischione Instruments, Inc.
Гарантия:
12 месяцев

Настольная прецизионная система подготовки высококачественных образцов для СЭМ.
Область обработки 50 мм.
Три ионных источника.

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка

Основные сведения о настольной системе пробоподготовки 1062 TrionMill Fischione

Настольная система подготовки образцов 1062 SEM Mill Fischione - самая мощная cовременная система ионной шлифовки и полировки с тремя источниками ионов для подготовки высококачественных образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), позволяющая в кратчайшие сроки подготовить образцы для широкого спектра применений. 

Для многих современных материалов анализ в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ, англ. SEM – Secondary Electron Microscope) является идеальным методом для быстрого изучения структуры и свойств материала. 1062 TrionMill Fischione является отличным инструментом для обеспечения характеристик поверхности образца, необходимых для визуализации и анализа методом СЭМ. 

Три ионных источника TrionMill обеспечивают крупномасштабное секционирование плоских и поперечных образцов. Работа с высокой энергией позволяет быстро шлифовать большие площади (до 50 мм); низкоэнергетический режим позволяет бережно полировать образец. 

1062 Trion Mill поддерживает обработку образцов больших размеров:

  • Кросс-секционирование*: максимум: 10 х 10 х 4,0 мм / минимум: 3 x 3 x 0,7 мм
*Стандартный размер; другие размеры доступны по запросу.
  • Образцы для планарной (плоскостной) обработки: Ø50 х 25 мм (высота)

Преимущества настольной системы пробоподготовки 1062 TrionMill Fischione

  • Три независимо регулируемых ионных источника TrueFocus
  • Размеры планарных образцов диаметром до 50 мм и высотой 25 мм.
  • Регулируемый диаметр пучка в широком диапазоне рабочих энергий (от 100 эВ до 10 кэВ)
  • Стенд для отбора проб с охлаждением жидким азотом (опция)
  • Система вакуума / инертного газа / криогенного переноса защищает экологически чувствительные образцы (опция)
  • Удаленное управление

Особенности настольной системы пробоподготовки 1062 TrionMill Fischione

Поддерживает обработку образцов больших размеров

1062 TrionMill создает самую большую и однородную плоскую поверхность, которую можно получить при ионном шлифовании. Инструмент допускает следующие размеры образцов: планарная (плоскостная) обработка: Ø50 х 25 мм (высота), кросс-секционирование: максимум: 10 х 10 х 4,0 мм.

Станция кросс-секционирования (опционально) 

Станция кросс-секционирования от Fischione Instruments - это модуль для создания чистых (не требующих дополнительной очистки) кросс-секций образцов, готовых для ионной полировки в SEM Mill. Нажмите здесь, чтобы узнать больше о станции кросс-секционирования

Быстрая передача (трансфер) образца 

Блокировка загрузки с фронтальной подачей и пневматическим вакуумным запорным клапаном обеспечивает высокую пропускную способность. Функция быстрого отсоединения байонетного держателя образца ускоряет передачу образца. Когда шток для переноса образца не используется, он складывается в сторону.

Камера переноса образца – криогенная, вакуумная или наполненная инертным газом (опционально)

Эта система позволяет напрямую переносить образец в вакууме, в инертном газе или при криогенной температуре на SEM или FIB. Система использует активную откачку для поддержания высокого вакуума во время переноса. Система переноса является результатом сотрудничества с Quorum Technologies Ltd.

Камера 

Вакуумная камера системы SEM Mill во время работы находится под постоянным вакуумом. Шлюзовая камера изолирует высокий вакуум процессной камеры от окружающей среды во время смены образца, обеспечивая оптимальные условия вакуума. 

Точная регулировка угла 

Источники ионов наклонены для обеспечения оптимального угла воздействия. Угол наклона ионного источника плавно регулируется в диапазоне от 0 до + 10°. Вы можете использовать один, два или три ионных источника TrueFocus. Каждый угол ионного пучка источника перемещается синхронно.

Автоматическая регулировка угла полировки (опционально) 

Автоматическая регулировка угла полирования с помощью сенсорного экрана позволяет создавать многоэтапные последовательности полировки, включающие автоматическую регулировку углов полировки на протяжении всего процесса обработки.

Программируемое движение образца 

Вращение образца составляет 360° с переменной скоростью вращения и функцией качания образца.  Аппаратура автоматически определяет толщину образца и устанавливает плоскость полировки, увеличивая тем самым производительность обработки.

Интегрированный модуль охлаждения (опционально) 

Система жидкого азота TrionMill снащена сосудом Дьюара, расположенным внутри корпуса, который полностью интегрирован в систему и заблокирован. Сосуд Дьюара расположен рядом с оператором для облегчения доступа. Температура непрерывно отображается на сенсорном экране. Функция охлаждения жидким азотом предметного столика с образцом обеспечивает до 18 часов криогенных условий.

Программируемая температура 

TrionMill предлагает возможность программирования и поддержки определенной температуры в диапазоне от температуры окружающей среды до криогенной.

По завершении шлифовки при криогенных температурах предметного столика автоматически увеличивается до температуры окружающей среды перед выпуском воздуха, чтобы избежать замерзания и загрязнения образца. 

Термозащита может быть запрограммирована на определенный температурный порог, при котором источники ионов будут отключены, если жидкий азот в сосуде Дьюара закончится.

Автоматическая остановка процесса 

Процесс ионной обработки может быть автоматически остановлен по достижению заданных значений времени или температуры. 

Просмотр образца “вживую” 

Процесс ионной обработки можно контролировать “вживую” наблюдая за образцом в процессной камере при использовании любого из дополнительных микроскопов с высоким увеличением:
- микроскоп с высоким увеличением 525 крат
- микроскоп с высоким увеличением 1960 крат
Смотровое окно защищено заслонкой, предотвращающей накопление распыленного материала, который может препятствовать наблюдению за образцом.

Получение изображения образца (опционально)

Система подготовки может быть оснащена опцией получения изображения образца, которая использует КМОП-камеру (дополнительный металлооксидный полупроводник) и видеомонитор  для просмотра образцов и захвата изображений во время обработки. Эта система полезна для мониторинга процесса с отсроченной обработкой.

Сенсорный экран управления 

Параметры рабочих процессов вводятся с помощью 10-дюймового сенсорного экрана, который можно настроить в соответствии с необходимой высотой и углом обзора. С сенсорного экрана можно управлять широким спектром параметров прибора, таких как энергия ионного пучка, угол обработки, движение образца, положение образца и остановка процесса. 

Для автоматических, не требующих вмешательства операций, можно запрограммировать серию последовательностей обработки. Стандартный подход – начать с быстрых операций ионной шлифовки, чтобы удалить большое количество материала образца; затем, по мере того, как образец утончается, снижать скорость обработки для полировки образца. Эти последовательности обработки могут быть легко сохранены и загружены для повторного использования. 

Во время операций шлифовки и полировки ход выполнения обработки и состояние прибора отображаются в реальном времени на сенсорном экране. 

Расширенная функциональность включает в себя инструменты для управления данными об образце, обслуживании, файлах журналов, а также для хранения изображений и удаленного доступа, позволяющего контролировать операции обработки через удаленный компьютер, если 1062 TrionMill подключен к внутренней сети предприятия. 

Доступ к конфигурации приборов, административным и диагностическим инструментам, а также файлам и журналам обслуживания контролируется с помощью системы многоуровневых пользовательских привилегий (настраивается при инсталляции прибора) и требует учетных данных для входа.  

Минимум затрат на техническое обслуживание 

Эффективно сконструированная система ионизации требует минимального обслуживание ионных источников TrueFocus, компоненты системы имеют чрезвычайно долгий срок службы. Количество материала, распыляемого ионными источниками, незначительно и сводит к минимуму загрязнение образца и обслуживание компонентов. Автоматическая защитная заслонка предотвращает скопление распыленного материала на смотровом окне. Все компоненты системы легко доступны для очистки. 

Дистанционная диагностика 

Компания Fischione Instruments стремится поддерживать максимальное время безотказной работы прибора. Для этого в 1062 TrionMill встроены возможности удаленной диагностики. При подключении системы 1062 TrionMill к сети Internet можно получить удаленный доступ к сервису “Fischione Global Service” для быстрой сервисной диагностики и настройки прибора.

Технические характеристики настольной системы пробоподготовки 1062 TrionMill Fischione

Подробные технические характеристики 1062 TrionMill приведены в сравнении с системой 1061 SEM Mill для оптимального выбора оборудования со стороны пользователя.

1061 SEM Mill

1062 TrionMill

Источники ионов TrueFocus

Количество*

2

3

Энергия ионного пучка

100 эВ to 10.0 кВ

100 эВ to 10.0 кВ

Угол пучка

0 to +10°

0 to +10°

Плотность тока пучка

до 10 мA/cм2

до 10 мA/cм2

Независимое управление энергией ионных пучков источников

да

да

Моторизованная (опционально) регулировка угла установки ионных

источников*

Опционально

Включена

Регулируемый размер пятна

от 300 мкм до 5 мм

от 300 мкм до 5 мм

Чаши Фарадея

Возможность оптимизации и настройки параметров ионного источника для конкретных приложений

да

да

Лёгкий доступ к внутренним компонентам при техобслуживании

да

да

Образец

Размер образца*

Планарный: 32 мм диам x

25 мм высота

Кросс-секционирование: 10 x 10 x 4 мм

Планарный: 50 мм диам x

25 мм высота

Кросс-секционирование: 10 x 10 x 4 мм

 

Область обработки

до 25 мм

до 50 мм

Автоматическое определение высоты образца

Устанавливает плоскость обработки, что дает воспроизводимые результаты

да

да

Движение предметного столика

Вращение или качание на 360 °; переменная скорость вращения и угол качания

да

да

Механизм загрузки образца*

Верхняя загрузка; <1 минуты до откачки

Фронтальная загрузка с помощью штока для

переноса образца; <1 минуты до откачки

Опции

Охлаждение образца*

• Кондуктивное охлаждение жидким азотом

 со встроенными блокировками сосуда Дьюара и автоматическими температурными блокировками

• Доступ к сосуду Дьюара расположен рядом с оператором установки

• Возможность программирования и поддержания определенной температуры в диапазоне от температуры окружающей среды до криогенной

• стандартный сосуд Дьюара (от 3 до 5 часов криогенных температур)

• увеличенный сосуд Дьюара (более 18 часов криогенных температур)

увеличенный сосуд Дьюара

(более 18 часов криогенных температур)

Станция кросс-секционирования

• Производит образцы безупречного поперечного сечения

• Позволяет точно позиционировать по x, y, θ интересующую область

• Подходит для широкого диапазона размеров образцов и масок

да

да

Просмотр образца “вживую”*

Все микроскопы имеют подсветку, которая обеспечивают регулируемую пользователем нисходящую (сверху вниз) подсветку образца.

• 7-45х стереомикроскоп, или

• микроскоп с высоким увеличением 525х , или

• микроскоп с высоким увеличением 1960х

•   микроскоп с высоким увеличением 525х , или

•  микроскоп с высоким увеличением 1960х

Получение изображения образца*

КМОП-камера (дополнительный металлооксидный полупроводник) и видеомонитор  для просмотра образцов и захвата изображений во время обработки

Доступно для микроскопов с высоким

увеличением 525х и 1960х; недоступно для стереомикроскопов от 7 до 45х

Доступно для микроскопов с высоким увеличением 525х и 1960х

Шлюзовая камера для переноса образца в СЭМ*

Подача вакуума / инертного

газа в перчаточный ящик, затем в СЭМ

Перенос в условиях вакуума / инертного газа / криотемператур непосредственно в СЭМ; использует активную откачку для поддержания высокого вакуума

Удаленное управление

Позволяет выполнять несколько задач обработки с удаленного компьютера

да

да

Индикатор состояния системы –

(индикаторный стек)

Позволяет определять состояние операций подготовки образцов на расстоянии.

да

да

Эксплуатация

Пользовательский интерфейс с сенсорным экраном

Управление прибором с помощью 10-дюймового эргономично регулируемого сенсорного экрана

да

да

Автоматическая остановка процесса обработки по достижению заданных значений времени или температуры

да

да

Технические характеристики систем

Технологический газ аргон*

Аргон (99,995%) или лучше; требуется номинальное давление подачи 15psi

Автоматический контроль газа с использованием двух регуляторов

массового расхода

 

Автоматический контроль газа с использованием трёх регуляторов

массового расхода

 

Вакуумная система

•Турбомолекулярный насос с безмасляным диафрагменным насосом

•Вакуумметр с холодным катодом для измерения уровня вакуума в камере

да

да

Габаритные размеры*

Ширина: 66 см

Высота: 77 см (максимум)

Глубина: 71 см

Конструкция корпуса обеспечивает легкий доступ к внутренним компонентам

Ширина: 76 см

Высота: 88 см (максимум)

Глубина: 99 см

Конструкция корпуса обеспечивает легкий доступ к внутренним компонентам

Вес*

73 кг

114 кг

Энергопотребление*

100/120/220/240  В; 50/60 Гц; 720 Вт

100/120/220/240 В; 50/60 Гц; 1000 Вт

Гарантия производителя  1 год

да

да

*Указывает на различия между двумя моделями

Метод: ионно-лучевое послойное травление
Размеры образца (кросс-секционирование): от 3*3*0,7 мм до 10*10*4,0 мм
Размеры образца (планарная обработка): диам. 50 мм*В 25 мм
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.