Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

HYPERION II - атомно-силовой микроскоп на базе зондовой установки

HYPERION II - атомно-силовой микроскоп на базе зондовой установки
Цена: По запросу
Производитель: Thermo Fisher Scientific Flag

Атомно-силовой микроскоп на базе нанозондовой установки, предназначенный для быстрого тестирования полупроводниковых устройств и отображения токов. Локализации дефектов -  до 10-нм технологического узла.  

Задать вопрос
  • Описание
  • Характеристики

Атомно-силовой микроскоп на зондовой установке HYPERION II Thermo Fisher Scientific

Установка Hyperion II – это атомно-силовой микроскоп (AFP), построенный на базе нанозондовой платформы, в котором используется несколько сканирующих зондов для визуализации топологии тестируемого устройства и установления электрического контакта с исследуемым объектом. 

Система предназначена для локализации дефектов до 10 нм и измерения электрических параметров в целях повышения надежности полупроводниковых устройств, увеличения эффективности разработки технологий производства и снижения числа отказов. 

Атомно-силовая микроскопия в системе Hyperion II объединяет две уникальные методики локализации дефектов (основаны на анализе изображений):

  • PicoCurrent (сканирование в контактном режиме); 
  • Scanning Capacitance Microscopy (SCM - сканирующая емкостная микроскопия).
  • Эти методики позволяют увеличить производительность труда за счет уменьшения времени, необходимого для локализации дефекта. В методиках PicoCurrent и SCM осуществляется сканирование относительно больших участков образца для выявления коротких замыканий, обрывов, мест утечек и резистивных перемычек. 

    Подозрительные устройства, выявленные с помощью PicoCurrent или SCM, затем исследуются методом нанозондового тестирования. Это позволяет значительно сократить количество сложных рутинных операций зондового тестирования или даже полностью избежать их.

    Hyperion II идеально решает задачи тестирования транзисторов микросхем, выполненных по передовым технологиям.   

    Состав и принципы работы HYPERION II Thermo Fisher Scientific

    Система Hyperion II имеет в своем составе: 

    • станция с атомно-силовым микроскопом (AFP); 
    • кожух для защиты от звуковых вибраций с возможностью продувки азотом;
    • активный виброизоляционный стол с гранитной поверхностью;
    • столик прецизионного нанопозиционирования образца Nano-Accurate Positioning (SNAP);
    • 4,6 или 8 зондовых головок AFP. 
    • В системе Hyperion II применяется бесконтактная (прерывистый режим) визуализация, в ходе которой создается изображение топографии образца с высоким разрешением и минимальными повреждениями образца и зонда. 

      Управление работой системы Hyperion II и проведение электрических измерений осуществляется с помощью программного обеспечения (ПО) MultiScan IV, которое контролирует положение зондов друг относительно друга и относительно образца.  

      Такие дополнительные функции MultiScan IV, как автоматизированная смена наконечников зондов и программное управление переключением между CV, DC, IV и импульсными измерениями, исключают необходимость переключения электрических связей вручную. Система Hyperion II в автоматическом режиме подводит зонд к образцу и выполняет его позиционирование с использованием обратной связи с замкнутым контуром, что способствует упрощению работы и повышению производительности.

      Основные преимущества HYPERION II Thermo Fisher Scientific 

      • Быстрая локализация дефектов, встроенная поддержка методик PicoCurrent и SCM для быстрого выявления возможных неисправностей с целью последующего нанотестирования
      • Направленные операции eFast, пошаговая работа в полуавтоматическом режиме, повышающая простоту использования, производительность труда и снижающая трудности обучения
      • Отсутствие взаимодействия между электронным лучом и образцом, атомная силовая микроскопия исключает необходимость в использовании вакуумной системы и получении СЭМ-изображений 
      • Область применения HYPERION II Thermo Fisher Scientific  

        Изображение PicoCurrent

        Технология PicoCurrent системы Hyperion II позволяет выявлять возможные короткие замыкания, обрывы, места утечек и резистивные дефекты на значительной площади при сканирования зондом AFP в контактном режиме. Зонд подключен ко входу усилителя тока с высоким коэффициентом усиления, при этом на зонд или образец подается напряжение смещения. В процессе сканирования зондом интересующей области происходит измерение тока, в результате чего формируется карта токов устройства. Возможные неисправности идентифицируются по карте визуально. Так, если интересующая структура не соответствует аналогичным структурам на изображении, то это может свидетельствовать о вероятном наличии дефекта. Затем потенциальные сбойные области могут быть проверены путем построения и анализа графиков зависимостей тока от напряжения.

        Вольтамперные (I-V) измерения

        Система Hyperion II обеспечивает построение графиков зависимостей тока от напряжения без искажений, вызванных взаимодействием электронного луча с образцом. ПО DC Measurement позволяет пользователям легко создавать, сохранять и запускать электрические тесты через главный пользовательский интерфейс. Система измерений постоянного тока DC включает в себя промышленный параметрический анализатор, предназначенный для проведения малошумящих измерений.

        Технология направленных рабочих процессов eFast

        eFast – это технология создания полуавтоматических направленных рабочих процессов, которая позволяет пользователям пошагово выполнять типичные задачи, что обеспечивает автоматическую реализацию распространенных операций с предоставлением конкретных инструкций. eFast позволяет достичь единообразия результатов и минимизировать время обучения новых пользователей.

        Емкостное сканирование (опционально)

        Емкостная сканирующая микроскопия (Scanning Capacitance Microscopy, SCM) позволяет обнаружить дефект на значительной площади в результате ее сканирования атомно-силовым зондом Hyperion II в контактном режиме. Зонд подключен к высокочастотному детектору (1 ГГц), с помощью которого выполняется измерение отклонений наконечника зонда, которое определяется значением емкости участка образца. На зонд или образец подается переменное напряжение смещения.  После обработки результатов с помощью метода Lock-In, сигнал dC/dV представляется в виде изображения, анализ которого позволяет установить наличие дефекта путем сравнения изображений подозрительного блока и заведомо исправной структуры.  Сигнал dC/dV также может быть разделен на данные о амплитуде и фазе, раскрывающие информацию о типе носителей зарядов и относительной концентрации носителей в полупроводнике.

        Измерение C-V характеристик (опционально) 

        C-V применяется для изучения оксидных пленок, эффекта граничного поглощения и плотностей распределения носителей заряда. Система Hyperion II обеспечивает C-V измерения высокого разрешения с хорошим контролем импеданса, малыми потерями сигнала и очень низким уровнем шума для определения характеристик отдельных транзисторов и емкостных структур.

        Импульсные I-V измерения (опционально)

        В ходе импульсных I-V измерений строятся графики зависимостей токов от напряжений, формирующиеся при подаче на затвор транзистора высокоскоростных сигналов. Эта методика позволяет локализовать отказы, связанные с   возникновением резистивных перемычек, которые могут быть пропущены в ходе стандартных I-V измерений постоянного тока. Для проведения импульсных I-V измерений параметрический анализатор объединен с высокоскоростным генератором и осциллографом.

        Температурные исследования (опционально)

        Данная опция позволяет обнаружить дефекты, которые проявляются только при высоких температурах, а также выполнить оценку производительности устройства при различных температурах.

Разрешение: до 10 нм
Количество позиционеров зондов: 4, 6 или 8

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.