Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

HYPERION II - атомно-силовой зондирующий микроскоп

HYPERION II - атомно-силовой зондирующий микроскоп
Цена: По запросу
Производитель: Thermo Fisher Scientific Flag

Установка Hyperion II – это атомно-силовой зондирующий микроскоп (AFP), построенный на базе нанозондовой платформы, в котором используется несколько сканирующих зондов для визуализации топологии тестируемого устройства и установления электрического контакта с исследуемым объектом.

Атомно-силовой зондирующий микроскоп Hyperion II Thermo Fisher Scientific предназначен для быстрого тестирования полупроводниковых устройств и отображения токов.

Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Характеристики
  • Документация

Атомно-силовой зондирующий микроскоп HYPERION II Thermo Fisher Scientific

Система Hyperion II включает в себя зондовую станцию AFP, защитную акустическую оболочку с продувкой азотом,  активную виброизоляционную верхнюю панель и платформу Nano-Accurate Positioning (SNAP) для точной навигации по образцу в интересующую область исследования (ROI). Система предназначена для локализации дефектов до 10 нм и измерения электрических параметров в целях повышения надежности полупроводниковых устройств, увеличения эффективности разработки технологий производства и снижения числа отказов.

Система Hyperion II может быть сконфигурирована с четырьмя (4), шестью (6) или восемью (8) головками зонда AFP. В системе Hyperion II также используется бесконтактный (наводящий режим), который создает изображения топографии поверхности с высоким разрешением при минимизации повреждения образца и зонда.

Работа системы Hyperion II и электрическими измерениями выполняется с помощью программного обеспечения MultiScan IV, которое отслеживает положение каждого зонда относительно друг друга и образца. Дополнительный функционал MultiScan IV включает в себя автоматическую коммутацию зондов и программного управления переключением между CV, DC IV и Pulsing режимами, что устраняет необходимость в ручном переподключении. Система Hyperion II также автоматизирует сближение зонда и подвод с обратной связью по замкнутому контуру, что упрощает работу и повышает производительность.

Атомно-силовая микроскопия в системе Hyperion II объединяет две уникальные методики локализации дефектов (основаны на анализе изображений):

  • PicoCurrent (сканирование в контактном режиме); 
  • Scanning Capacitance Microscopy (SCM - сканирующая емкостная микроскопия).
  • Эти методики позволяют увеличить производительность за счет уменьшения времени, необходимого для локализации дефекта. В методиках PicoCurrent и SCM осуществляется сканирование относительно больших участков образца для выявления коротких замыканий, обрывов, мест утечек и резистивных перемычек. 

    Подозрительные ошибки, выявленные с помощью PicoCurrent или SCM, затем исследуются методом нанозондового тестирования, что снижает количество нанозондовых приборов, используемых для диагностики.

    Hyperion II идеально решает задачи тестирования транзисторов микросхем, выполненных по передовым технологиям.   

    Состав и принципы работы HYPERION II Thermo Fisher Scientific

    Система Hyperion II имеет в своем составе: 

    • станция с атомно-силовым микроскопом (AFP); 
    • кожух для защиты от звуковых вибраций с возможностью продувки азотом;
    • активный виброизоляционный стол с гранитной поверхностью;
    • столик прецизионного нанопозиционирования образца Nano-Accurate Positioning (SNAP);
    • 4,6 или 8 зондовых головок AFP. 
    • В системе Hyperion II применяется бесконтактная (прерывистый режим) визуализация, в ходе которой создается изображение топографии образца с высоким разрешением и минимальными повреждениями образца и зонда. 

      Управление работой системы Hyperion II и проведение электрических измерений осуществляется с помощью программного обеспечения (ПО) MultiScan IV, которое контролирует положение зондов друг относительно друга и относительно образца.  

      Такие дополнительные функции MultiScan IV, как автоматизированная смена наконечников зондов и программное управление переключением между CV, DC, IV и импульсными измерениями, исключают ручное переключение между режимами с заменой кабеля. Система Hyperion II в автоматическом режиме подводит зонд к образцу и выполняет его позиционирование с использованием обратной связи с замкнутым контуром, что способствует упрощению работы и повышению производительности.

    Основные преимущества HYPERION II Thermo Fisher Scientific 

    • Быстрая локализация дефектов, встроенная поддержка методик PicoCurrent и SCM для быстрого выявления возможных неисправностей с целью последующего нанотестирования
    • Направленные операции eFast, пошаговая работа в полуавтоматическом режиме, повышающая простоту использования, производительность труда и снижающая трудности обучения
    • Отсутствие взаимодействия между электронным лучом и образцом, атомная силовая микроскопия исключает необходимость в использовании вакуумной системы и получении СЭМ-изображений 
    • Область применения HYPERION II Thermo Fisher Scientific  

      Изображение PicoCurrent

      Технология PicoCurrent системы Hyperion II позволяет выявлять возможные короткие замыкания, обрывы, места утечек и резистивные дефекты на большие площади при сканирования зондом AFP в контактном режиме. Зонд подключен ко входу усилителя тока с высоким коэффициентом усиления, при этом на зонд или образец подается напряжение смещения. В процессе сканирования зондом интересующей области происходит измерение тока, в результате чего формируется карта распределения токов. Возможные неисправности идентифицируются по карте визуально. Так, если интересующая структура не соответствует аналогичным структурам на изображении, то это может свидетельствовать о вероятном наличии дефекта. Затем потенциальные сбойные области могут быть проверены путем построения и анализа вольт-амперной характеристики.

      Вольтамперные  характеристики (I-V)

      Система Hyperion II обеспечивает построение графиков зависимостей тока от напряжения без искажений, вызванных взаимодействием электронного луча с образцом. ПО DC Measurement позволяет пользователям легко создавать, сохранять и запускать электрические тесты через главный пользовательский интерфейс. Система измерений постоянного тока (DC) включает в себя промышленный параметрический анализатор, предназначенный для проведения малошумящих измерений.

      Технология управляемых рабочих процессов eFast

      eFast – это технология создания полуавтоматических управляемых рабочих процессов, которая позволяет пользователям пошагово выполнять типичные задачи, что обеспечивает автоматическую реализацию распространенных операций с предоставлением конкретных инструкций. eFast позволяет достичь единообразия результатов и минимизировать время обучения новых пользователей.

      Емкостное сканирование (опционально)

      Емкостная сканирующая микроскопия (Scanning Capacitance Microscopy, SCM) позволяет обнаружить дефект на большой площади в результате ее сканирования атомно-силовым зондом Hyperion II в контактном режиме. Зонд подключен к высокочастотному детектору (1 ГГц), с помощью которого выполняется измерение отклонений зонда, которое определяется значением емкости участка образца. На зонд или образец подается переменное напряжение смещения.  После обработки результатов с помощью метода Lock-In, сигнал dC/dV представляется в виде изображения, анализ которого позволяет установить наличие дефекта путем сравнения изображений подозрительного блока и заведомо исправной структуры.  Сигнал dC/dV также может быть разделен на данные о амплитуде и фазе, раскрывающие информацию о типе носителей зарядов и относительной концентрации носителей в полупроводнике.

      Измерение вольт-фарадных характеристик C-V  (опционально) 

      C-V применяется для изучения оксидных пленок, эффекта граничного поглощения и плотностей распределения носителей заряда. Система Hyperion II обеспечивает C-V измерения высокого разрешения с хорошим контролем импеданса, малыми потерями сигнала и очень низким уровнем шума для определения характеристик отдельных транзисторов и емкостных структур. 

      Импульсные I-V измерения (опционально)

      В ходе импульсных I-V измерений строятся графики зависимостей токов от напряжений, формирующиеся при подаче на затвор транзистора высокоскоростных сигналов. Эта методика позволяет локализовать отказы, связанные с   возникновением резистивных перемычек, которые могут быть пропущены в ходе стандартных I-V измерений постоянного тока. Для проведения импульсных I-V измерений параметрический анализатор объединен с высокоскоростным генератором и осциллографом.

      Температурные исследования (опционально)

      Данная опция позволяет обнаружить дефекты, которые проявляются только при высоких температурах, а также выполнить оценку производительности устройства при в широком температурном диапазоне. 

Количество позиционеров зондов: 4, 6 или 8
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.