Передовые технологии атомно-слоевого осаждения Picosun для промышленности
Атомно-слоевое осаждение (АСО) является наиболее перспективной, тщательно разработанной технологией нанесения тонких пленок. С помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких пленок различных материалов почти на любые типы поверхностей.
АСО – ключевая технология, обеспечивающая выполнение поставленных задач в современной промышленности, производящей ИС (интегральные схемы). Технология позволяет непрерывно уменьшать размеры и увеличивать компоновку электронных компонент таких как транзисторы, память, конденсаторы. Тем самым АСО позволяет осуществить производство современных смартфонов, ноутбуков и устройств беспроводных коммуникаций.
Технология АСО Picosun дает конкурентные преимущества всем типам промышленных производств
В течение последних нескольких лет, технологию АСО начали использовать во многих новаторских промышленных применениях, тем самым позволяя производить совершенно новые изделия и добавляя новые свойства уже существующей продукции.
Компания Picosun предлагает проверенные в промышленности решения для нанесения тонких пленок, так как руководство компании стояло у исток основания данной технологии. Оборудование Picosun обеспечивает высочайшее качество процессов для мировой промышленности, удовлетворяя самым жестким требованиям по производительности и надежности.
Примеры разностороннего использования технологии АСО для напыления пленок как для получения изделий самой современной наноэлектроники, так и для создания защитных и декоративных покрытий на механических частях различных изделий.
Технология АСО Picosun позволяет производить высококачественные светодиоды и наносить защитные покрытия, предотвращающие потускнение механических частей различных изделий. АСО возможно использовать при производстве датчиков, компонентов печатной электроники, решений для аккумулирования энергии (например, тонкопленочные аккумуляторы), дисплеев по современным технологиям (например, органические светодиоды), миниатюрных и многофункциональных МЭМС/НЭМС (микро/наноэлектромеханические системы).
Также технология АСО может быть использована при производстве медицинских изделий, дешевых катализаторов, для нанесения декоративных покрытий на часы и ювелирных изделия, для напыления покрытий от проникновения влаги и на перерабатываемые экологически чистые упаковочные материалы.
Примеры примевнения технологии атомно-слоевого осаждения в микроэлектронике
|
Компоненты ИС |
МЭМС |
|---|---|
|
Подзатворные диэлектрики с высоким k |
Диффузионно-барьерные слои |
|
Оксидные слои спейсеров |
Адгезивные слои |
|
Блокирующие слои (IPD) |
Зарядно-рассеивающие слои |
|
Туннелирующие слои оксидов |
Термопроводящие слои |
|
Блокирующие слои оксидов |
Проводящие затравочные слои для последующих технологических процессов |
|
Слои, заполняющие зазоры |
Маски и слои, препятствующие травлению |
|
Герметизирующие слои |
Электроизолирующие слои |
|
Пассивирующие слои |
Слои, уменьшающие износ при трении |
|
Барьерные и затравочные слои для меди |
Слои, уменьшающие статическое трение |
|
Адгезивные слои |
Оптические слои |
|
Диффузионно-барьерные слои |
Биосовместимые пленки |
|
Электроды |
Герметизирующие слои |
|
Металлизация для переходных отверстий в кремнии (TSV) |
Закрытие наноразмерных пор |
P-серия оборудования АСО PICOSUN™ для производств
Р-серия оборудования PICOSUN™ оптимизирована для автоматического крупно-серийного АСО производства для пластин до 200 мм. P-cерия Picosun включает несколько моделей: P-200 Pro Picosun, P-300 Advanced Picosun, P-300 Pro Picosun, P-1000 Pro Picosun.
Оборудование Р-серии является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, гарантирует максимальную рентабельную производительность. Также оно позволяет наносить пленки высочайшей однородности и чистоты, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью.
Компактная высокофункциональная конструкция оборудования PICOSUN™ P-серии позволяет сэкономить дорогое производственное пространство, а быстрота и легкость в обслуживании обеспечивают минимальную продолжительность простоя системы.
Для обслуживания реакционных камер, а также оборудования и решения проблем с процессами АСО у нас организована служба Picosupport™, которая позволяет быстро разрешать проблемы клиентов в режиме 24/7/365. До приобретения оборудования служба пробных напылений обеспечит и гарантирует 100 % оптимизацию процесса Вашим производственным требованиям.
Вывод
Компания Picosun отличается от других производителей оборудования в виду уникального собственного опыта в данной области, который восходит к изобретению самой технологии АСО. Исключительная ориентированность компании Picosun на АСО технологию позволяет наиболее исчерпывающе выполнять требования заказчика при создании оптимального решения даже в случае самых трудных процессов и производств. Технологии АСО позволяют реализовать самые передовые иновации и предлагают революционные пути по улучшению производительности, качества и производства существующих продуктов. Решения АСО Picosun способствуют развитию вашей индустрии гигантскими шагами, реализуемые с атомно-слоевой точностью!
Если Вас заинтересовало данное оборудование, обращайтесь в нашу компанию. Компания "Серния" является официальным дистрибьютором компании Picosun. Наши специалисты расскажут подробно об оборудовании Picosun и сориентируют Вас по ценам на продукцию.
Присылайте свои вопросы на электронную почту am@sernia.ru.
