Нанозонды помогут обнаружить короткое замыкание
В традиционном методе анализа отказов обнаружение прямого короткого замыкания всегда было одной из сложных задач для исследователя. Из-за низкого сопротивления метод EBIRCH (сопротивление, вызванное воздействием электронного луча) не может представить очевидный сигнал; а метод EBAC (электронно-лучевая адсорбция тока) осветит всю проводящую дорожку.
Для точного обнаружения коротких дефектов сопротивлением менее 200 Ом необходимо использовать нанозонды, подходящие под требования процесса. Ниже приводятся примеры с использованием современных нанозондов.
Рис 1, 2. Интерпретация положения сигнала с низким омическим сопротивлением с помощью методов нанозондирования и электронного луча.
Рис.3. Поверните угол и увеличьте масштаб, чтобы подтвердить подлинность сигнала.