Thermo Scientific ExSolve DualBeam - автоматизированный микроскоп для изготовления ламелей
Компания Thermo Scientific, мировой лидер в сфере производства аналитического оборудования для научных исследований, разработала электронно-ионный микроскоп (DualBeam) для автоматизации процесса подготовки ламелей для TEM.
Электронно-ионный микроскоп ExSolve DualBeam ™ - это автоматизированный высокопроизводительный микроскоп для изготовления образцов с целью последующего их исследования методом просвечивающей электронной микроскопии (TEM).
Преимущества ExSolve DualBeam
Система ExSolve DualBeam TEM Prep (WTP) значительно снижает затраты и увеличивает скорость (пробоподготовки) подготовки образцов, предоставляя производителям полупроводников быстрый и простой доступ к данным, которые им необходимы для проверки и мониторинга производительности процесса.
ExSolve DualBeam может подготовить TEM - ламелли конкретного участка, отбирая образцы на каждом участке в полностью автоматическом режиме, обеспечивая производителей полупроводников значительно большим объемом информации по сравнению с традиционными методами и в то же время сокращая затраты на подготовку образцов до 70 %.
ExSolve WTP DualBeam для исследования полупроводников
Система ExSolve WTP DualBeam представляет собой автоматизированную высокопроизводительную систему пробоподготовки, которая может готовить ламели толщиной 20 нм для конкретных участков на целых пластинах диаметром до 300 мм. Это часть быстрого, полного рабочего процесса, включающего TEMLink ™ и Metrios ™ TEM. ExSolve DualBeam включает в себя обработку FOUP и предназначена для установки рядом с производственной линией.
Рабочий процесс ExSolve WTP DualBeam отвечает потребностям клиентов, которым требуется автоматическая высокопроизводительная выборка на узлах с помощью передовых технологий. Это дополняет возможности Thermo Scientific Helios NanoLab ™ DualBeam ™ 1200AT, и обеспечивает более гибкие, ориентированные на оператора методы подготовки образцов, а также дополнительные возможности, такие как получение изображений и анализ с помощью сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения (SEM).
