Документация
pdf
Семинар по АСО в НИУ МИЭТ.pdf
(PDF, 674.45 КБ)
Семинар "Основы технологии атомно-слоевого осаждения (АСО) компании Picosun"
Применение метода АСО (ALD) при изготовлении изделий микроэлектроники. Обзор оборудования АСО Picosun
Дата: 27 октября 2016 г.Организатор: Национальный исследовательский университет МИЭТ
Место проведения: Москва, Зеленоград, ул. Солнечная аллея, д.6
Уважаемые коллеги!
Приглашаем Вас принять участие в семинаре, посвященном методам атомно-слоевого осаждения при изготовлении изделий микроэлектроники на примере работы с оборудованием производства Picosun (Финляндия).
Регистрация на семинар
Для участия в семинаре необходима предварительная регистрация. Заявки на участие отправляйте на эл.почту nd@sernia.ru.В заявке необходимо указать:
- ФИО;
- название организации;
- должность.
|
ПРОГРАММА НА 27 ОКТЯБРЯ 2016 Г. |
|
|
11.00 - 13.00 |
Доклад представителя компании Picosun Алексея Веселова: «Основы технологии атомно-слоевого осаждения (АСО) компании Picosun и ее применение при изготовлении изделий микроэлектроники. Обзор оборудования АСО Picosun» |
|
13.00 - 13.30 |
Перерыв
|
|
13.30 - 15.00
|
Практическая часть: осмотр и пробные напыления покрытий на установленной в МИЭТ системе атомно-слоевого осаждения Picosun. |