Система плазмохимического травления Minilock-Phantom III Trion предназначена для сложных химических процессов, включая травление материалов с использованием агрессивных веществ.
Особенностью данной системы является наличие вакуумного шлюза. Вакуумный шлюз обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Помимо этого, он предотвращает разгерметизацию камеры и значительно сокращает рабочие процессы. Разработанная система отвечает всем международным нормам безопасности.
