Зондовая станция магнитного стимулирования (MSS) SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE

Основные сведения о станциях магнитного стимулирования MSS SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE

Станции магнитного стимулирования (MSS) SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE созданы на основе запатентованной адаптивной архитектуры - Probe System for Life (PS4L) SEMIPROBE. Станции MSS имеют контролируемое положение стимулирующего магнитного источника для тестирования полупроводников.Также станция MSS вручную контролирует положение тестируемого устройства, контактных зондов, микроскопа и источника магнитного поля.

Основные области применения станций магнитного стимулирования SEMIPROBE:

• Память – FRAM, FeRAM, MRAM, квантовая электроника;
• Микроэлектромеханические системы (MEMS);
• Материаловедение.

Станции магнитного стимулирования MSS SEMIPROBE специально разработаны для удовлетворения потребностей исследовательского персонала. Их отличает простота и удобство эксплуатации, портативность, доступность и модульность.

Конфигурация MSS SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE

Система магнитной стимуляции (MSS) построена на базе Probe System for Life (PS4L) SEMIPROBE, что дает непревзойденную гибкость и значительную экономию средств при конфигурировании систем. В отличие от традиционных зондовых систем, все основные модули – основания, ступени, патроны, крепления для микроскопа, элементы системы перемещения, оптика, манипуляторы и многое другое – являются заменимыми, что делает PS4L непревзойденным решением для самых разных применений и бюджетов. 

Эта уникальная модульность конструкции позволяет клиентам формировать систему тестирования, точно соответствующую их требованиям. Еще более важным является то, что в случае изменения среды или условий испытаний, PS4L может быть легко модернизирована для применения в соответствии с новыми требованиями. 

Заложенный в системы принцип адаптивной архитектуры позволяет клиентам значительно экономить время и средства по сравнению с традиционными системами, поскольку не требуется вкладывать средства в новую платформу при изменении размеров пластины, уровней автоматизации или требований к тестированию.

Преимущества работы с MSS SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE:

1. ОПТИМАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ

Система разработана таким образом, чтобы обеспечить оптимальный контроль каждого аспекта тестирования. Для получения минимального расстояния от проверяемого устройства до магнитного источника используется ультратонкий стеклянный держатель. Полупроводниковая пластина или ее фрагмент фиксируется с помощью двух металлических зажимов. Система держателей располагается   на   верхнем основании  системы   и обеспечивает независимый контроль пространственного (X, Y, Z) и углового положения относительно образца. Образец располагается непосредственно под держателем и системой позиционирования магнитного источника. Держатель образца имеет собственную систему выравнивания положения в плоскости. 

2. ТОЧНОЕ ТЕСТИРОВАНИЕ

Система предназначена для использования стандартных зондов постоянного тока (DC) на отдельных манипуляторах, зондовых сборках, измерительных щупах и ВЧ/СВЧ зондах. Количество используемых зондов ограничивается наличием тонкого стеклянного держателя образца. Фиксация манипуляторов осуществляется с помощью магнитных, вакуумных или винтовых соединений. Винтовые соединения обеспечивают наибольшую прочность и жесткость крепления.

3. УПРАВЛЕНИЕ МАГНИТНЫМ ИСТОЧНИКОМ

Магнитный источник закреплен на уникальном держателе, сконструированном таким образом, чтобы обеспечить жесткую фиксацию с поддержкой нескольких степеней свободы для позиционирования источника относительно образца. В связи с тем, что к магнитному источнику должны быть подведены каналы охлаждения и линии электропитания, держатель оборудован специальным отсеком для размещения этой проводки. 

Прямо под держателем магнита, располагается блок, обеспечивающий регулировку вертикальных (Z) перемещений источника. Как правило, магнитный источник располагается на расстоянии 4-5 мкм от поверхности образца. Держатель источника располагается на платформе X-Y перемещений, установленной на основание системы тестирования. С помощью отдельных рукояток, установленных на платформе, осуществляется грубая регулировка положения магнитной системы в Z-плоскости, что позволяет использовать магнитные источники различной высоты. Магнитный источник располагается внутри вертикальных опор системы, и снабжен системой пространственного контроля X, Y, Z положения источника, а также угла наклона к образцу.

4. УПРАВЛЕНИЕ МИКРОСКОПОМ

Микроскоп установлен на держателе, жестко закрепленном к несущей платформе системы. Перемещение положения микроскопа реализуется посредством низкопрофильной коаксиальной конструкции, которая позволяет легко регулировать положение микроскопа по осям X и Y движением одной руки. Область перемещения микроскопа составляет 50х75 мм (2” и 3”) в Х и Y плоскостях, соответственно. Микроскоп закреплен на механизме с использованием крепления в форме шеста, что позволяет легко перемещать микроскоп вертикально над сканируемой областью для установки и настройки вспомогательных объективов. Система традиционно используется со стереомикроскопом, но могут быть установлены и более сложные микроскопы с большим увеличением и более высоким разрешением.

5. ДРУГИЕ КОМПОНЕНТЫ

Все компоненты и крепежи, используемые в системе, не содержат железа. Основание изготовлено из алюминия с прочным защитным покрытием. Монтируется система на жесткие стойки. Из-за высоты системы, обусловленной высотой магнитного источника, требуются жесткие опорные плиты.

Опции и аксессуары MSS SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE:

1. МАГНИТНЫЙ ИСТОЧНИК

Магнитный источник может быть предоставлен заказчиком или закуплен как часть полностью готовой системы «под ключ». Если предоставляется нестандартный магнитный источник, может взиматься дополнительная плата за единовременные затраты на проектирование и интеграцию с системой.

2. АНТИВИБРАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ

Чтобы защитить систему от воздействия вибраций, настоятельно рекомендуется установка системы на виброизоляционную платформу.

3. ВОЗДУШНЫЙ КОМПРЕССОР

Если помещение не оснащено системой подачи сжатого воздуха дли системы виброизоляции SemiProbe может предоставить компрессор требуемой производительности.

4. СРЕДСТВА ПРЕЦИЗИОННОГО КОНТРОЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Некоторые приложения требуют точной записи прецизионных перемещений на каждом из шагов выполнения теста. Для таких применений SEMIPROBE предлагает системы линейного масштабирования по осям, движение по которым требует контроля. Эта опция значительно изменяет стоимость системы, поэтому мы рекомендуем оснащать этой опцией только те оси, для которых это действительно необходимо.  

5. СИСТЕМА ВЫВОДА ИЗОБРАЖЕНИЯ

В учебной и исследовательской среде, т.е. там, где это удобно для наблюдения сразу несколькими коллегами, например, для настройки теста, система вывода видеоизображения является наиболее оптимальным решением.

• Светозащитный бокс
• Механизмы для крепления и перемещения образцов
• Механизмы для крепления и перемещения микроскопа
• Микроскопы
• Манипуляторы, зондовые основания и держатели
• Зонды различных типов
• Дополнительные держатели для полупроводниковых пластин разных размеров

Технические характеристики DSP SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE