Литографическая установка FLS6-22 Rafanco
Устройство FLS6-22 Rafanco с функцией выравнивания фотошаблона является удобным и экономичным инструментом для мелкосерийного производства и лабораторий.Особенности системы
- Система литографии FLS6-22 обеспечивает разрешения менее микрона.
- Устройство имеет новую 6-осевую моторизованную систему для перемещения подложки (x, y,Ɵ, z) и 2-хосевую для цифрового микроскопа (x, y).
Основные характеристики системы
См. на вкладке ХАРАКТЕРИСТИКИ.Применение
Системы литографии данного типа широко используются для применения в:- МЭМС,
- микрогидродинамике,
- микроэлектронике
- оптоэлектронике.
|
Параметр |
Значение |
|
Выравнивание фотошаблона |
4-осевое перемещение |
|
Микроскоп |
Цифровая камера CCD с 2 моторизованными осями |
|
Программный интерфейс |
Удобное и интуитивно понятное управление |
|
Источник света |
365 нм, 20 Вт |
|
Максимальный размер пластины |
100 мм |
|
Минимальные размеры пластин |
10 мм х 10 мм |
|
Максимальный размер фотомаски |
150 мм х 150 мм |
|
Разрешение выравнивания |
Менее 0,25 мкм |
|
Режим УФ-облучения |
Контактный и бесконтактный |
|
Максимальная площадь экспозиции |
100 мм диаметром |
|
Захват маски и подложки |
Вакуумный захват |
|
Моторизованное движение столика |
З-х осевой джойстик |
|
Система управления |
ПЛК(программируемый логический контроллер) и 7-дюймовый ЧМИ (человеко-машинный интерфейс) |
|
Виброизоляция |
Гранитный стол и эластомерный демпфер |
|
Потребляемая мощность |
220В 50Гц, 500Вт |
|
Требования |
220В/50Гц и вакуумная линия |
| Выравнивание фотошаблона: | 4-осевое перемещение |
| Источник света: | 365 нм, 20 Вт |
| Разрешение выравнивания: | менее 0,25 мкм |
| Максимальный размер пластины: | 100 мм |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
