CABL-UH Crestec (130 кВ) - установка электронной литографии - купить, узнать цену

Сравнить

В избранное

CABL-UH Crestec (130 кВ) - установка электронной литографии

Сравнить

В избранное

Самое высокое ускоряющее напряжение на рынке - 130 кВ!

Все характеристики

Производитель: CRESTEC Flag

Цена по запросу

Отправить запрос на КП

Задать вопрос

Доставка
Бесплатная доставка по Москве
Подробнее

Описание

Характеристики

Документы

Оплата и доставка

Описание

CABL-UH (130 кВ) Crestec - установка электронной литографии

CABL-UH - это установка электронно-лучевой литографии со сверхвысоким разрешением. Модель CABL-UH имеет большую точность – менее 10 нм. Исходя из бюджета можно выбрать из моделей 90 kV, 110 kV, 130 kV. Продуктовая линейка CABL-UH даёт возможность для развития Ваших возможностей в сфере нанотехнологий.

Основные технические характеристики установки электронной литографии

Диаметр электронного пучка: <1.6 нм
Минимальная ширина линии: 7 нм (при 130 кВ)
Ускоряющее напряжение: 90 кВ, 110 кВ или 130 кВ
Размер стола: для 8” пластины (можно использовать любой держатель для пластин размером меньше 8”)

Особенности установки электронной литографии:

Диаметр пучка < 1.6 нм
Прототипирование объектов до 7 нм
Мощная электронная пушка
Минимизация искажений и коррекция краевых эффектов, эффекта близости
Высокая стабильность при высоком токе пучка
Модификации с ускоряющим напряжением 110 кВ и 90 кВ

Спецификация на установку электронной литографии CABL-UH Crestec

Источник электронов/ускоряющее напряжение	TFE（ZrO／W）／25～130kV
Мин. диаметр электронного пучка/ мин. ширина линии	1.6 нм／ 7.0 нм
Метод сканирования	Векторное сканирование（x，y），Векторное сканирование（r，θ）- в базовой комплектации Растровое сканирование, Точечное сканирование - опционально
Расширенные литографические функции (опционально)	Модуляционная литография по размеру поля, литография с осевой симметрией
Размер поля	30 мкм²，60 мкм²，120 мкм²，300 мкм²，600 мкм²- в базовой комплектации 1200 мкм²，2400 мкм² - опционально
Количество пикселей	20,000×20,000 точек，60,000×60,000 точек，96,000×96,000 точек， 240,000×240,000 точек (Векторное сканирование) - в базовой комплектации 10,000×10,000 точек (Растровое сканирование) - опционально
Минимальный адресный размер	10 нм＠600 мкм²，2 нм＠120 мкм² - в базовой комплектации 0.0012 нм＠600 мкм² - опционально
Размер подложки	4”, 6”, 8” диаметром (для образцов других размеров и форм могут использоваться специальные приспособления)
Точность сшивки	50 нм（3σ）- 600 мкм²，20 нм（2σ） - 60 мкм²
Точность перекрытия	50 нм（3σ） - 600 мкм²
CAD ПО	Выделенный CAD в базовой комплектации，GDSконвертер - опционально， DXF конвертер - опционально
Операционная система	Windows

Характеристики

Диаметр пучка :	< 1.6 нм
Минимальная ширина линии:	7 нм
Ускоряющее напряжение:	90 кВ, 110 кВ или 130 кВ

Документы

CABL-UH.pdf

586.68 КБ

PDF

Оплата и доставка

Заказ товаров

Сделать заказ товара можно несколькими способами:

Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.

Оплата товара

Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).

Доставка товара

Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.

Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.