Установка плазмохимического травления и осаждения диэлектриков Titan Trion для производства
Компактная, полностью автоматизированная система с вакуумным шлюзом для травления или осаждения материалов при производстве полупроводников.
Доступные конфигурации: RIE; RIE+ HDICP; PECVD. Для травления и осаждения используются одиночные пластины, отдельные части пластин, закрепленные в специальном держателе, или кассеты с пластинами. Система занимает мало рабочего пространства, доступна по цене.
Применение установки плазмохимического травления и осаждения:
ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ: GaAs, AlGaAs, GaN, InP, Al, силициды, Cr и другие материалы, требующие агрессивных и неагрессивных веществ.
ОСАЖДЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ: диоксид кремния SiO2, нитрида кремния Si3N4, оксинитриды, и другие материалы.
Особенности установки плазмохимического травления и осаждения:
Высокая производительность:
- Процесс HDICP обеспечивает высокую скорость/ селективность по сравнению с RIE
- Вакуумный кассетный загрузчик (VCE) обеспечивает высокую пропускную способность
- Небольшие размеры системы значительно экономят место
Простота обслуживания:
- Быстрая замена частей установки
Современный дизайн:
- Модульная конструкция
- ПО Windows
- Сенсорный экран, 15.1” TFT
- Встроенный промышленный компьютер высокой надежности
Проверенно в производственных условиях:
- Автоматическая система управления
- Технология загрузки пластин
- Конструкция для чистых комнат
- Размеры пластин от 76 до 300 мм
- Одно кассетный вакуумный загрузчик с ручной дверцей
- Маппирование пластин
- Загрузка пластин в кассетах: 4x76 мм; 3x101 мм; 7x51 мм
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ГАЗОВ
Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.
КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами.
ДАВЛЕНИЕ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой.
ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.