Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

SIRUS T2 Trion - настольная установка плазмохимического травления для лабораторий

SIRUS T2 Trion - настольная установка плазмохимического травления для лабораторий
Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Настольная, лабораторная, базовая модель. Sirus T2 Trion (RIE) - установка плазмохимического травления. Может использоваться для любых процессов с применением фторных газов и кислорода. 
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Настольная установка плазмохимического травления SIRUS T2 Trion

Компания Trion, производитель систем плазмохимического травления и осаждения тонких пленок, разработала новую лабораторную, настольную модель для травления диэлектриков — Sirus T2.

Работа системы основана на технологии реактивно-ионного травления (Reactive Ion Etch, RIE) — технологии травления, где для удаления материала с подложки используется химически активная плазма. Плазма создаётся при низком давлении при помощи газового разряда. Поступающие из плазмы ионы ускоряются за счёт разности потенциалов между ней и подложкой. Совместное действие химических реакций, ионного распыления и ионной активации приводит к разрушению материала подложки, образованию летучих соединений и десорбции их с поверхности.

SIRUS T2 — настольная система реактивно-ионного плазмохимического травления (RIE)

SIRUS T2_1_2web.jpg

Sirus T2 (базовая модель) — система плазмохимического реактивно-ионного травления (RIE) на основе фторсодержащих газов.

Система предназначена для травления диэлектриков и тонких пленок. Малые размеры и надежная конструкция делают Sirus T2 незаменимой для лабораторных условий.

Система может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода.



Состав установки плазмохимического травления:

  • Реактор с нижним электродом ⍉ 200 (максимальный размер образца - ⍉ 200).
  • Система управления на основе ПК с сенсорным управлением.Два контроллера потока газов (опционально – до 4).
  • Автоматическое согласующее устройство с ВЧ генератором 13,56 МГц 600Вт.
  • Система аварийного отключения
  • Автоматическая система управления давлением.
  • Турбомолекулярный насос 170 л/с.
  • Форвакуумный насос 660 л/мин.

Требования к подаче газов

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.  

  • КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
  • ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
  • ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
  • ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.