Настольная установка плазмохимического травления SIRUS T2 Trion
Sirus T2 (базовая модель) — это установка плазмохимического реактивно-ионного травления (RIE) на основе фторсодержащих газов.
Система предназначена для травления диэлектриков и тонких пленок. Малые размеры и надежная конструкция делают Sirus T2 незаменимой для лабораторных условий.
Система может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода.
Реактивно-ионное травление
Работа системы основана на технологии реактивно-ионного травления (Reactive Ion Etch, RIE) — технологии травления, где для удаления материала с подложки используется химически активная плазма. Плазма создаётся при низком давлении при помощи газового разряда. Поступающие из плазмы ионы ускоряются за счёт разности потенциалов между ней и подложкой. Совместное действие химических реакций, ионного распыления и ионной активации приводит к разрушению материала подложки, образованию летучих соединений и десорбции их с поверхности.
Состав установки плазмохимического травления:
- Реактор с нижним электродом ⍉ 200 (максимальный размер образца - ⍉ 200).
- Система управления на основе ПК с сенсорным управлением.Два контроллера потока газов (опционально – до 4).
- Автоматическое согласующее устройство с ВЧ генератором 13,56 МГц 600Вт.
- Система аварийного отключения
- Автоматическая система управления давлением.
- Турбомолекулярный насос 170 л/с.
- Форвакуумный насос 660 л/мин.
Требования к подаче газов
Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.
- КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
- ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
- ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
- ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.