Генератор плазмы Picoplasma для ALD установок Picosun

Генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™

Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) основан на безионном удаленном источнике плазмы. Действенность и отличная результативность его работы подтверждены ключевыми клиентами компании во всем мире. Для расширения процессной химии с помощью генератора возможно получать возбужденные частицы кислорода, азота и радикалов водорода. Из-за низкой концентрации ионов, удаленный источник плазмы позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без их разрушения ионами плазмы, но при этом сохраняется плотный поток радикалов.
Источник плазмы PICOPLASMA™ может быть смонтирован на существующее оборудование PICOSUN™, а также клиенты могут приобрести целиком оборудование для ПАСО. Данное оборудование занимает небольшую площадь, обладает легкостью в обслуживании и имеет низкие эксплуатационные издержки. Система также может быть полностью автоматизирована путем включения ее в кластерное оборудование PICOPLATFORM™.

Особенности генератора плазмы Picosun PICOPLASMA™

• Генератор плазмы и блок питания объединены в один компактный корпус.
• Подключается к камере перемещения, которая вертикально соединена с реакционной камерой.
• Коммерчески доступный РЧ генератор плазмы имеет мощность в диапазоне 100 – 3000 Вт, частоты 1.7 – 3 МГц.
• Среднее время между отказами > 100 000 часов.
• Защитный поток газа в промежуточное простанство (нет обратной диффузии частиц плазмы).
• Возбуждение плазмы без вариации давления (не образуются примесные частицы).
• Идеально подходит для осаждения металлов и нитридов металлов (отсутствует шунтирование).
• Возможность проведения ПАСО и АСО в одном процессе без изменений в конструкции оборудовании.