пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

Phantom III Trion - установка плазмохимического травления для лабораторий

Производитель:
Trion Technology Flag
Лабораторная установка плазмохимического травления. Поддерживает процессы: RIE; RIE+ICP.
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Документация
  • Оплата и доставка

Установка плазмохимического травления Phantom III Trion

Phantom III Trion — установка плазмохимического травления (RIE; RIE+ICP) для лабораторий. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода. Опционально доступен ICP (индуктивно-связанная плазма) реактор.

Технологические процессы

  • RIE (Reactive Ion Etch — реактивное ионное травление) — технология травления, используемая в микроэлектронике. Химически активная плазма используется для удаления материала с подложки. Плазма создаётся при низком давлении при помощи газового разряда. Поступающие из плазмы ионы ускоряются за счёт разности потенциалов между ней и подложкой. Совместное действие химических реакций, ионного распыления и ионной активации приводит к разрушению материала подложки, образованию летучих соединений и десорбции их с поверхности.

  • ICP (inductively coupled plasma - индуктивно-связанная плазма) — плазма, образующаяся внутри разрядной камеры или иного плазменного реактора при приложении высокочастотного переменного магнитного поля. ICP зажигается и поддерживается за счёт циклических индуцированных вихрей электрического тока свободных электронов (и ионов) в плазме. Для возбуждения ICP обычно используется переменное электромагнитное поле на частоте 1 – 100 МГц.

Спецификация Phantom III Trion:

Вакуумная система

Турбомолекулярный насос 300 л/с;
Форвакуумный механический насос 27 cfm или 17 cfm;
Автоматический контроль давления в реакционной камере.

Реакционная камера

Стандартная - RIE;
С источником индуктивно-связанной плазмы – ICP (опционально)


 ВЧ генератор

13,56 МГц
600 Вт для RIE и ICP
1200 Вт (опционально)
3000 Вт (опционально для RIE)


Держатель

200 или 300 мм (опционально изготавливается крепление для кусочков);
Дополнительно доступна опция держателя с электростатическим прижимом и охлаждением гелием.


Детектор конечной точки (End-Point)

Интерферометр;
Оптический спектрометр


Система управления

ПО (разработано Trion Technology) на базе Windows;
Сенсорный экран


Охлаждение реактора
 (опционально)(требуется  поддержание температуры в  районе 18-20 oС)

Циркуляционный чиллер Polyscience 6700


Термостабилизация нижнего   электрода (опционально)

Термостабилизация в диапазоне от -20 до +150 (больший диапазон по запросу)


Максимальное количество газов
До 12

Процессы

Возможна поставка системы с готовыми процессами по запросу

Требования к подаче технологических газов

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.  Количество газов: определяется технологическими процессами.  Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.