Описание установки для осаждения пленок Minilock-Orion III PECVD
Minilock-Orion III PECVD — компактная система для осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) с вакуумным шлюзом, подходит для лабораторного и промышленного применения. Уникальный дизайн камеры позволяет осаждать пленки с низким внутренним напряжением и с отличной равномерностью при низком уровне мощности.
Нижний электрод доступен в размерах 200 и 300 мм. При использовании держателей, можно размещать в камере несколько небольших образцов различных размеров (например, 4х3”, 3x4”, 7x2”, 60x48 мм и др.)
Загрузка образцов осуществляется через загрузочный вакуумный шлюз. Такая система загрузки повышает безопасность использования токсичных газов, предотвращая контакт персонала с остаточными продуктами реакции в камере. Так же, шлюз позволяет держать реакционную камеру под вакуумом, что предохраняет реактор от попадания влаги.
Система отвечает всем нормам безопасности, предъявляемым к оборудованию для использования в лабораторных условиях и для производственных условий на пилотных линиях.
Процессы
Используется для процессов, где применяются опасные или самовоспламеняющиеся газы.
Осаждаемые пленки
Пленки для осаждения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.
Процессные газы
Процессные газы: 100% силан, аммиак, ТЭОС, диэтилсилан, закись азота, кислород, азот, триметилсилан и метан.
Требования к подаче технологических газов:
Пользователю необходимо обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ. Количество газов: определяется технологическими процессами. Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.
Инженерный персонал компании Серния Инжиниринг может оказать поддержку в подготовке системы подачи технологических газов.
Цена Minilock-Orion III Trion
Установка плазменно-химического осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) Minilock-Orion III (PECVD) выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов.
Опции:
-
Температурный контроль — температура нижнего электрода может регулироваться от 50° C до 400° C с помощью резистивного нагревателя с ИК-термопарой.
-
Доп. триодный источник для контроля напряженности пленок — доп.источник для контроля напряженности пленок 600 Вт (13.56МГц).
Состав установки Minilock-Orion III
|
Реактор |
доступны размеры нижнего электрода – 200/300 мм. Обработка одиночных пластин или нескольких пластин размерами 76-300 мм (опционально – заказ держателя для малых образцов). Возможность загрузки пластин в пакетном режиме. |
|
Нижний электрод |
базовая комплектация электродом мощностью 300 Вт (350-460 кГц) |
|
Сенсорный экран |
цветной сенсорный дисплей для быстрого и удобного управления |
|
Система управления |
контроллер ПК |
|
Центральная система питания |
распределение электропитания между всеми периферийными устройствами |
|
Система контроля давления |
Специальный клапан регулируется контроллером, возможность независимого контроля давления |
|
Газораспределительная система |
обеспечивает максимальную безопасность и чистоту процессов (до 8 контроллеров потока) |
|
Вакуумный шлюз |
включает манипулятор, запорный клапан реактора и камеру вакуумного шлюза |
|
Вакуумная система |
комплектация на выбор заказчика: линейка механических форвакуумных насосов в соотв. с требованиями плазмохимических процессов |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.