Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Minilock-Orion III Trion - установка для осаждения тонких пленок для лабораторий и пилотных линий

Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Minilock Orion III — установка для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы с вакуумным шлюзом (ПХО, PECVD) лабораторного и промышленного назначения
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Описание установки для осаждения пленок Minilock-Orion III PECVD

Minilock-Orion III PECVD — компактная система для осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) с вакуумным шлюзом, подходит для лабораторного и промышленного применения. Уникальный дизайн камеры позволяет осаждать пленки с низким внутренним напряжением и с отличным шагом покрытия  при низком уровне мощности.

Система отвечает всем нормам безопасности, предъявляемым к оборудованию для использования в лабораторных условиях и для производственных условий на пилотных линиях.

Процессы

Используется для процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы.

Осаждаемые пленки

Пленки для осаждения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.

Процессные газы

Процессные газы: 100% силан, аммиак, ТЭОС, диэтилсилан, закись азота, кислород, азот, триметилсилан и метан.

Требования к подаче технологических газов:

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ. Количество газов: определяется технологическими процессами.  Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.

Цена Minilock-Orion III Trion

Установка плазменно-химического осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) Minilock-Orion III (PECVD)  выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов.

Опции:

  • Температурный контроль — температура нижнего электрода может регулироваться от 50° C до 400° C с помощью резистивного нагревателя с ИК-термопарой.

  • Доп.источник для контроля напряженности пленок — доп.источник для контроля напряженности пленок 600 Вт (13.56МГц). 

 



 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk.jpg
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.