Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

ALD установка P-300BV Picosun

ALD установка P-300BV Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag

P-300 BV Picosun  - разработка для производства светодиодов, дискретных устройств и различных устройств MEMS.

Задать вопрос
  • Описание

Основные сведения о PICOSUN P-300 BV ALD

Система PICOSUN P-300 BV ALD представляет собой ультрасовременное промышленное оборудование для производства светодиодов, дискретных устройств и устройств MEMS, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны.
Система предназначена для полуавтоматической обработки партий изделий. Инструмент оптимизирован для быстрого серийного производства и может быть интегрирован в автоматизацию производства с помощью опции SECS / GEM. Вакуумная система загрузки с опцией нагрева позволяет чистую обработку чувствительных субстратов и осаждение таких материалов, как нитриды металлов.
PICOSUN P-300BV является одной из лучших систем ALD для инновационных отраслей промышленности.

Технические особенности

Типичный размер и тип подложки

  • 200 мм пластины в партиях до 25 шт;
  • 150 мм пластины в партиях до 50 шт;
  • 100 мм пластины в партиях до 75 шт;
  • Может работать без подложки (индивидуальные держатели);
  • Образцы с высоким соотношением сторон (до 1:2500).

Температура

  • 50 – 450 °C

Стандартные процессы

  • Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд;
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN,  и металлы;
  • До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE).

Загрузка субстрата

  • Полуавтоматическая загрузка с вертикальными погрузчиками (один или два погрузчика);
  • Дополнительный обогрев при загрузке образца.

Прекурсоры

  • Жидкие, твёрдые, газообразные, озоновые;
  • Датчики уровня, очистка и пополнение;
  • До 8 источников с 4 отдельными входами.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.