Установка ALD P-300BV Picosun - разработка для производства светодиодов, дискретных устройств и различных устройств MEMS, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Установки атомно-слоевого осаждения Picosun
Установка P-300BV Picosun - это установка атомно-слоевого осаждения для применения в промышленности.
ALD, atomic layer deposition (атомно-слоевое осаждение, АСО) — это химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химический состав.
Основные сведения об установке ALD PICOSUN P-300BV
Установка ALD PICOSUN P-300BV представляет собой ультрасовременное промышленное оборудование для производства светодиодов, дискретных устройств и устройств MEMS, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны.
Система предназначена для полуавтоматической обработки партий изделий. Инструмент оптимизирован для быстрого серийного производства и может быть интегрирован в автоматизацию производства с помощью опции SECS / GEM.
Вакуумная система загрузки с опцией нагрева позволяет работать с чувствительными субстратами и осаждать такие материалы, как нитриды металлов.
PICOSUN P-300BV является одной из лучших систем ALD для инновационных отраслей промышленности.
Технические особенности установки ALD P-300BV Picosun
|
Типичный размер и тип подложки
|
- Пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; |
|
Температура
|
50 – 450 °C |
|
Стандартные процессы
|
- Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы; |
|
Загрузка субстрата
|
- Полуавтоматическая загрузка с вертикальными погрузчиками (один или два погрузчика); |
|
Прекурсоры
|
- Жидкостные, твердые вещества, газ, озон; |
| Размер и тип подложки: | Пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; Подложки, отличные от пластин; Образцы с большим аспектным отношением. |
| Температура обработки: | 50 – 450°C |
| Технологические процессы: | Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы |
| Загрузка подложки: | Полуавтоматическая загрузка с помощью вертикальных загрузчиков (один или два) Дополнительный обогрев загрузочного шлюза |
| Прекурсоры: | Жидкостные, твердые вещества, газ, озон; До 8 источников с 4 отдельными вводами |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.