Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

ALD установка P-300B Picosun

ALD установка P-300B Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag

P-300B Picosun — атомно-слоевое осаждение для пакетной обработки в MEMS и производства трехмерных компонентов

Задать вопрос
  • Описание

Основные сведения о PICOSUN P-300B ALD

Система PICOSUN P-300B ALD специально разработана для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы и имплантируемые устройства (решения PicoMEDICAL ™). Система быстрая, высоконадежная и чрезвычайно простая в обслуживании.

Технические особенности

Типичный размер и тип подложки

  • 200 мм пластины в партиях до 25 шт;
  • 150 мм пластины в партиях до 50 шт;
  • 100 мм пластины в партиях до 75 шт;
  • Может работать со всеми видами трехмерных предметов, таких как детали механического оборудования, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика и медицинское оборудование, хирургические импланты и имплантируемые устройства (решения PicoMEDICAL ™);
  • Образцы с высоким соотношением сторон (до 1:2500).

Температура

  • 50 – 500 °C

Стандартные процессы

  • Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд;
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN,  и металлы;
  • До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE).

Загрузка субстрата

  • Ручная загрузка с помощью пневматического подъемника;
  • Линейная полуавтоматическая загрузка;
    Загрузка с помощью промышленного робота.

Прекурсоры

  • Жидкие, твёрдые, газообразные, озоновые;
  • Датчики уровня, очистка и пополнение;
  • До 8 источников с 4 отдельными входами.

Преимущества системы PICOSUN P-300B ALD

Системы PICOSUN™ P-300 ALD стали новым стандартом в промышленном производстве АСО. Создание высококачественных АСО пленок с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками гарантирует запатентованный дизайн, интегрированный с горячей стенкой с полностью разделёнными впускными отверстиями, Гибкая конфигурация с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальный простой системы, обеспечивая высокую производительность и низкие производственные затраты.  Запатентованная технология диффузионного усилителя Picoflow™ позволяет получать однородные покрытия на подложках со сверхточным соотношением сторон с проверенным производственным процессом. 

Отзывы клиентов о системы PICOSUN P-300B ALD

«Наша система PICOSUN™ ALD уже несколько лет обеспечивает стабильную и надежную обработку покрытия поверхности импланта, создавая конкурентное преимущество для наших продуктов на рынке медицинских имплантов. Мы рекомендуем технологию PICOSUN™ ALD для всех отраслей промышленности, где модификация поверхность на микроуровне играет ключевую роль в разработке продукта».

Евгений Козлов, исполнительный директор ООО «КОНМЕТ»

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.