Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка ALD P-300B Picosun

Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag

P-300B Picosun — установка атомно-слоевого осаждения для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы, импланты.

Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Характеристики
  • Документация

Установки атомно-слоевого осаждения Picosun

Установка P-300B Picosun - это установка атомно-слоевого осаждения для применения в промышленности.  ALD, atomic layer deposition (атомно-слоевое осаждение, АСО) — это химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химический состав.

На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Установка ALD PICOSUN P-300B для производства MEMS-устройств

Система PICOSUN P-300B ALD специально разработана для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы и имплантируемые устройства (решения PicoMEDICAL ™). Установка высокопроизводительная, высоконадежная и чрезвычайно простая в обслуживании.

Технические особенности  установки ALD P-300B PICOSUN

Типичный размер и тип подложки

  • 200 мм пластины в партиях до 25 шт;
  • 150 мм пластины в партиях до 50 шт;
  • 100 мм пластины в партиях до 75 шт;
  • Может работать со всеми видами трехмерных предметов, таких как детали механического оборудования, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика и медицинское оборудование, хирургические импланты и имплантируемые устройства;
  • Образцы с высоким аспектным соотношением сторон (до 1:2500).

Температура

  • 50 – 500 °C

Стандартные процессы

  • Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд;
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN,  и металлы;
  • До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE).

Загрузка субстрата

  • Ручная загрузка с помощью пневматического подъемника;
  • Линейная полуавтоматическая загрузка;
    Загрузка с помощью промышленного робота.

Прекурсоры

  • Жидкие, твёрдые, газообразные, озоновые;
  • Датчики уровня, очистка и пополнение;
  • До 8 источников с 4 отдельными входами.

Преимущества системы PICOSUN P-300B ALD

Установки ALD PICOSUN™ P-300  стали новым стандартом в промышленном производстве с использованием технологии атомно-слоевого осаждения. Запатентованная компанией Picosun конструкции камеры с горячими стенками и  разделёнными впускными отверстиями гарантирует создание высококачественных АСО пленок с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конфигурация установок с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальный простой систем, обеспечивая высокую производительность и низкие производственные затраты.  Запатентованная технология диффузионного усилителя Picoflow™ позволяет получать однородные покрытия на подложках со сверхточным соотношением сторон. 

Отзывы клиентов о системы PICOSUN P-300B ALD

«Наша система PICOSUN™ ALD уже несколько лет обеспечивает стабильную и надежную обработку покрытия поверхности импланта, создавая конкурентное преимущество для наших продуктов на рынке медицинских имплантов. Мы рекомендуем технологию PICOSUN™ ALD для всех отраслей промышленности, где модификация поверхность на микроуровне играет ключевую роль в разработке продукта».

Евгений Козлов, исполнительный директор ООО «КОНМЕТ»

Размеры и тип пластин: пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; подложки, отличные от пластин; образцы с большим аспектным отношением.
Температура обработки: 50 – 500°C
Технологические процессы: Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы
Прекурсоры: жидкостные, твердые вещества, газ, озон;; до 8 источников с 4 отдельными вводами.
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.