Установка ALD Sprinter PICOSUN предназначена для крупносерийного ALD-производства 300 мм полупроводниковых пластин (например, компонентов памяти, транзисторов, конденсаторов), дисплеев и компонентов Интернета вещей.
Основные сведения об установке ALD Sprinter Picosun
Установка ALD PICOSUN® Sprinter – это прорыв в серийном ALD-производстве 300 мм полупроводниковых пластин (например, компонентов памяти, транзисторов, конденсаторов), дисплеев и компонентов Интернета вещей. С помощью идеального ALD-метода, барьерные, с большой диэлектрической проницаемостью, оксидные и другие пленки в Sprinter осаждаются в объемах массового производства.
Установка ALD PICOSUN® Sprinter - полностью автоматизирована, сертифицирована на соответствие стандарту SEMI S2 / S8. Сочетает в себе высочайшее качество и однородность напыляемой на пластины пленки с быстрой обработкой, высокой производительностью и бескомпромиссной надежностью (*).
(*) Данные периодического процесса PICOSUN® Sprinter ALD для 300 мм кремниевых пластин, на примере процесса осаждения Al2O3 (дополнительные данные доступны по запросу)
|
Параметр |
Значение |
|
Неоднородность толщины в пределах одной пластины при 200 °C |
< 0.5 % 1σ |
|
Неоднородность толщины от пластины к пластине при 200 oC |
< 0.5 % 1σ |
|
Неоднородность толщины от серии к серии при 275 oC |
< 0.3 % 1σ |
|
Неоднородность толщины от кристалла к кристаллу при 275 oC |
< 1.0 % 1σ |
|
Загрязнение Cr, Fe, Ni |
< 1*1010 атомов/см2 |
|
Скорость влажного травления в растворе Al-etch типа A при 50 °C |
~ 2 нм/мин при Tdep ≥ 300 oC |
Особенности и преимущества
- По сравнению с реакторами с вертикальной печью, обычно используемыми для периодического ALD-осаждения, Sprinter обеспечивает более высокое качество пленки с более низкими теплозатратами, поэтому он также подходит для термочувствительных устройств.
- Ядром Sprinter является его революционно спроектированная камера реактора, в которой полностью ламинарные потоки прекурсора обеспечивают идеальное ALD-осаждение без паразитного роста CVD-пленки. Это сводит к минимуму необходимость в обслуживании системы.
- Сертифицированный модуль PICOSUN® Sprinter SEMI S2 / S8 может быть интегрирован в производственную линию или кластер клиента. Он также подходит для линий по производству отдельных пластин, так как не нарушает технологический процесс. Sprinter работает с новой собственной операционной системой Picosun PicoOS ™ и программным обеспечением для управления процессами.
- PICOSUN® Sprinter производится в Финляндии с использованием европейской вакуумной робототехники и технологических модулей.
- Sprinter сочетает очень быстрое время процесса с меньшими размерами партии, чем в вертикальных печах, что обеспечивает большую гибкость производства и минимизирует риски без ущерба для производительности.
Технические характеристики установки ALD Sprinter Picosun
|
Характеристика |
Описание |
|
Размер и тип подложки |
Пакеты 300 мм пластин для высокопроизводительного ALD-процесса |
|
Температура обработки |
до 400 °C |
|
PicoOS ™ - ключевые особенности операционной системы / программного обеспечения для управления процессами
|
Собственный, запатентованный планировщик Picosun, совместимый с SEMI |
|
Прекурсоры |
Жидкие, твердые, газы, озон |
| Размеры и тип пластин: | 300 мм |
| Температура обработки: | до 400 °C |
| Покрытие: | одно/двухстороннее |
| Прекурсоры: | жидкостные, твердые вещества, газ, озон |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.