Установка атомно-слоевого осаждения P-300S Picosun для крупномаштабного производства
Установка атомно-слоевого осаждения P-300 S Picosun предназначена для производства компонентов, используемых на ИМС. Оборудование ALD P-300 S Picosun подойдет для изготовления устройств памяти, микропроцессоров, жестких дисков. Данную установку ALD можно также использовать для производства МЭМС, например, для изготовления печатающих головок, микрофонов, датчиков.
Отличительной особенностью оборудования ALD PICOSUN™ P-300 S является возможность использования данного оборудования для крупномасштабного производства. Это новейшая разработка в мире применения технологии ALD для промышленности.
Основные преимущества установки ALD P-300S Picosun
Основное преимущество установки P-300 S Picosun - возможность автоматически обрабатывать одиночные пластины на базе стандартных вакуумных кластерных платформ. Установка ALD P-300S прошла сертификацию в соответствии с требованиями SEMI S2/S8. С помощью протокола SECS/GEM она интегрируется в систему автоматизации предприятия.
Что касается качества, оборудование ALD Picosun удовлетворяют строжайшим требованиям, установленным для производства полупроводников. Это стало возможным благодаря внедрению разработанной и запатентованной компанией Picosun особой конструкции камеры c горячими стенками и полностью раздельными вводами.
Данная технология обеспечивает высокий выход готовой продукции и отличное качество пленок. Пленки, полученные с помощью технологии ALD, характеризуется низким уровнем постпроцессных частиц, отличными электрическими и оптическими характеристиками.
Технология Picoflow™, разработанная Picosun для улучшения процессов диффузии, обеспечивает высокую конформность покрытия даже на образцах с большим аспектным соотношением.
Технические характеристики установки ALD P-300S Picosun
|
Характеристики |
Описание |
|---|---|
| Размеры и тип пластин |
- Одиночные пластины до 300 мм |
| Температура обработки |
- от 50 до 500°C |
| Особенности технологических процессов |
- Время обработки отдельных пластин до 10 с |
|
Особенности загрузки образцов |
- Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором |
|
Особенности прекурсоров |
- Жидкостные, твердые вещества, газ, озон, плазма |
| Размеры и тип пластин : | Одиночные пластины до 300 мм |
| Температура обработки: | от 50 до 500°C |
| Технологические процессы: | Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы |
| Прекурсоры: | До 12 источников с 6 отдельными вводами |
- Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса
- Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.