пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

Установка ALD Sprinter Picosun - для крупносерийного производства в промышленном масштабе

Производитель:
Picosun Flag

Установка ALD Sprinter PICOSUN предназначена для крупносерийного ALD-производства 300 мм полупроводниковых пластин (например, компонентов памяти, транзисторов, конденсаторов), дисплеев и компонентов Интернета вещей.

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Документация
  • Оплата и доставка

Основные сведения об установке ALD Sprinter Picosun

Установка ALD PICOSUN® Sprinter – это прорыв в серийном ALD-производстве 300 мм полупроводниковых пластин (например, компонентов памяти, транзисторов, конденсаторов), дисплеев и компонентов Интернета вещей. С помощью идеального ALD-метода, барьерные, с большой диэлектрической проницаемостью, оксидные и другие пленки в Sprinter осаждаются в объемах массового производства.

Установка ALD PICOSUN® Sprinter  - полностью автоматизирована, сертифицирована на соответствие стандарту SEMI S2 / S8. Сочетает в себе высочайшее качество и однородность напыляемой на пластины пленки с быстрой обработкой, высокой производительностью и бескомпромиссной надежностью (*).

(*) Данные периодического процесса PICOSUN® Sprinter ALD для 300 мм кремниевых пластин, на примере процесса осаждения Al2O3 (дополнительные данные доступны по запросу)

Параметр

Значение

Неоднородность толщины в пределах одной пластины при 200 °C

< 0.5 % 1σ

Неоднородность толщины от пластины к пластине при 200 oC

< 0.5 % 1σ

Неоднородность толщины от серии к серии при 275 oC

< 0.3 % 1σ

Неоднородность толщины от кристалла к кристаллу при 275 oC

< 1.0 % 1σ

Загрязнение Cr, Fe, Ni

< 1*1010 атомов/см2

Скорость влажного травления в растворе Al-etch типа A при 50 °C

~ 2 нм/мин при Tdep ≥ 300 oC

Особенности и преимущества

  • По сравнению с реакторами с вертикальной печью, обычно используемыми для периодического ALD-осаждения, Sprinter обеспечивает более высокое качество пленки с более низкими теплозатратами, поэтому он также подходит для термочувствительных устройств.
  • Ядром Sprinter является его революционно спроектированная камера реактора, в которой полностью ламинарные потоки прекурсора обеспечивают идеальное ALD-осаждение без паразитного роста CVD-пленки. Это сводит к минимуму необходимость в обслуживании системы.
  • Сертифицированный модуль PICOSUN® Sprinter SEMI S2 / S8 может быть интегрирован в производственную линию или кластер клиента. Он также подходит для линий по производству отдельных пластин, так как не нарушает технологический процесс. Sprinter работает с новой собственной операционной системой Picosun PicoOS ™ и программным обеспечением для управления процессами.
  • PICOSUN® Sprinter производится в Финляндии с использованием европейской вакуумной робототехники и технологических модулей.
  • Sprinter сочетает очень быстрое время процесса с меньшими размерами партии, чем в вертикальных печах, что обеспечивает большую гибкость производства и минимизирует риски без ущерба для производительности.

Технические характеристики установки ALD Sprinter Picosun

Характеристика

Описание

Размер и тип подложки

Пакеты 300 мм пластин для высокопроизводительного ALD-процесса
• Возможно двустороннее покрытие
• Образцы с высоким соотношением сторон (до 1: 2500)

Температура обработки

до 400 °C

PicoOS ™ - ключевые особенности операционной системы / программного обеспечения для управления процессами

Собственный, запатентованный планировщик Picosun, совместимый с SEMI
• Единый общий интерфейс для управления всем кластером
• Данные записываются каждые 20 мс
• Данные трендов можно экспортировать
• Права доступа для разных уровней пользователей
• Обмен данными на основе EtherCAT для MFC и MFM кодировок
• Расширенные функции восстановления
• Единый общий журнал событий для всего кластера
• Свободно настраиваемый и масштабируемый редактор рецептов (без фиксированного количества шагов и циклов)
• Рецепты можно редактировать/создавать в любой момент во время работы системы

Прекурсоры

Жидкие, твердые, газы, озон
• Датчики уровня для контейнеров с прекурсорами
• Дозатор непрерывного действия для пирофорных прекурсоров доступен как опция (до 4 устройств)

Размеры и тип пластин: 300 мм
Температура обработки: до 400 °C
Покрытие: одно/двухстороннее
Прекурсоры: жидкостные, твердые вещества, газ, озон