ExSolve 2 WTP- система для изготовления ламелей полупроводниковых пластин (THERMO FISHER SCIENTIFIC)

ExSolve 2 WTP от THERMO FISHER SCIENTIFIC - система для изготовления ламелей полупроводниковых пластин

ExSolve 2 WTP с запатентованным процессом быстрой обработки образцов и автоматизацией процесса экономит более 25% затрат на подготовку TEM - образцов для ведущих производителей электроники. 

Данные TEM широко используются для сбора информации во время процесса разработки последовательных узлов. Однако, поскольку устройства становятся все более и более сложными, необходимый объем данных резко возрос. К сожалению, традиционные методы пробоподготовки TEM требуют больших затрат времени от технического персонала. Кроме того, несоответствия, вносимые человеческим фактором, наносят ущерб процессу. Чем быстрее производители смогут обеспечить большие объемы точных и согласованных данных с TEM – образцов во время разработки, тем быстрее производство сможет выйти на новый уровень, чтобы отвечать современному повышенному спросу.

Чтобы помочь достичь этих целей, Thermo Scientific ™ ExSolve ™ 2 WTP решает задачи в области развития с помощью комбинации инновационных вспомогательных средств и модернизации:

• Защитный слой - сокращенно ECL - обеспечивает постоянную конечную толщину ламелей, подстраивая скорость травления области, представляющей интерес и организует подстройку зонда для изъятия образца. 

• Чтобы обеспечить точность резки, образец травят, чтобы обнажить структуры, которые можно использовать в качестве ориентиров. Затем, с помощью полученных данных для более точного размещение разреза, над областью интереса размещается ECL (защитный слой). 

• Модернизация включает усовершенствования аппаратного обеспечения, такие как Stage Mass Dampeners (система виброзащиты), Cap Probe Assembly (зонд для изъятия образца) и FIB Power Supply (источник питания фокусированного ионного луча (FIB)), которые напрямую влияют на фокус ионного пучка (FIB) для лучшего контроля толщины образца и положения реза. 

• Улучшенные автоматические калибровки увеличивают доступность инструмента, одновременно обеспечивая более строгий контроль за стабильностью процесса. 

• Толщина образца была уменьшена на 30%, а контроль за процессом улучшен на 50% по сравнению с системой ExSolve 1-го поколения. Эти улучшения имеют решающее значение, поскольку устройства достигли топологии 7 нм. 

• Кроме того, уровень повреждения образца уменьшен более чем на 50% благодаря конечной очистке при 1 кВ, что стало возможным благодаря специальной архитектуре, на FIB ExSolve 2. 

• ExSolve 2 полностью автоматизирован, поэтому больше нет необходимости в больших затратах времени технического персонала. Постоянно воспроизводя идентичные образцы, ExSolve 2 WTP Thermo Scientific Metrios ™ DX позволяет поддерживать автоматизированную работу без прерывания и взаимодействия с человеком. Полученные данные с TEM - образцов могут затем беспрепятственно использоваться в рабочем процессе, экономя еще больше времени для разработки. 

Благодаря сочетанию улучшений в контроле размещения и автоматизации, ExSolve 2 WTP обеспечивает производителям полупроводников и памяти быстрое получение данных и, следовательно, сокращает время производства.

Ключевые особенности ExSolve 2 WTP THERMO FISHER SCIENTIFIC

• Система обеспечивает быструю и точную автоматическую подготовку образцов для TEM с хорошей повторяемостью. В случае наличия дефекта система может работать в простом и удобном полуавтоматическом режиме. При толщине пластины 25 нм ExSolve 2 WTP может производить 4 ламели в час.
• Улучшенный контроль таких параметров как толщина и расположение разреза. Толщина ламели достигла 18 нм, с точностью разреза 5 нм (3Ϭ). Окончательная очистка 1 кВ позволяет уменьшить повреждение образца до 1,5 нм.
• Factory Automation System соответствует требованиям FA для подключения к хост-системе пользователя. Пластины обрабатываются либо портом двойной загрузки EFEM, либо VCE.
• Возможность подключения к рабочему процессу позволяет отслеживать важные данные от процесса подготовки образца до обработки изображений. Все данные с изображений объединены для просмотра.

Engineered capping layer (ECL) – защитный слой для согласования скорости травления

В дополнение к подготовке большого количества TEM - образцов, ExSolve 2 WTP является частью быстрого, полного рабочего процесса, который включает TEMLink 150 G2 и Metrios DX TEM. 

В рамках рабочего процесса ExSolve 2 WTP может получать важную информацию о задании, такую как имя рецепта, идентификатор пластины, идентификатор партии, идентификатор образца и настраиваемые поля, из файла задания. Эта возможность сводит взаимодействие человека и системы к минимуму. Как только проходит идентификация, ExSolve 2 WTP запускается автоматически с полученной информацией, позволяя пользователю сосредоточиться на других задачах. 

ExSolve 2 WTP также оснащен обширной и настраиваемой базой данных. Все изображения хранятся, и их можно искать, сортировать и легко просматривать по нескольким критериям, как в режиме онлайн, так и в автономном режиме, с помощью Microscope Data Services (MDS). Новая централизованная служба данных (CDS) расширяет базу данных, чтобы обеспечить возможность полного отслеживания заданий от пластины до данных, включая изображения и метрологические данные Metrios DX TEM / STEM в одном месте. Это сводит к минимуму время работы пользователя. Система объединяет и сообщает обо всех данных рабочего процесса.

Дополнительные возможности ExSolve 2 WTP     

Опции ExSolve 2 WTP

Технические характеристики ExSolve 2 WTP THERMO FISHER SCIENTIFIC