пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

OptiFIB Taipan FEI (Thermo Fisher Scientific) - система для редактирования топологии ИС

Производитель:
Thermo Fisher Scientific Flag
OptiFIB Taipan - установка для редактирования топологии ИС на базе FIB.
Установка позволяет достичь разрешения изображений, полученных с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB), 3 нм и лучше. Чем выше разрешение, тем с большей точностью можно осуществлять навигацию по образцу, выполнять операции редактирования топологии и определять момент окончания травления.
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка

Основные сведения об установке для редактирования топологии ИС 

Технология редактирования топологии используется для быстрого внесения небольших изменений в проект на различных этапах процесса изготовления интегральных микросхем (ИС): после первого шага физического тестирования, на этапе повышения производительности и скорости работы, при создании ограниченной партии микросхем для бета-разработчиков и при решении проблем с надежностью. 

Специалисты по редактированию топологии сперва обрабатывают кристалл в области возможного дефекта, после чего удаляют или осаждают проводник или диэлектрик с высокой точностью, что позволяет производителям ИС внедрить изменения в схему устройства без перевыпуска масок и производства дополнительных пластин. 

Чтобы соответствовать строгим требованиям, предъявляемым к редактированию топологии ИС с технологической нормой 10 нм, и обеспечить решение проблем, возникающих при внедрении передовых проектов и техпроцессов, компанией Thermo Scientific™ была разработана система OptiFIB™ Taipan. Новейшие коаксиальная ионно-фотонная колонна, электроника, камера и столик позволяют получить непревзойденный контроль над током и формой пучка, высокоточную навигацию и позиционирование ионного пучка, а также уверенное определение момента окончания травления. 

Особенности системы OptiFIB Taipan 

Высокое разрешение, достаточное для получения изображений и травления материалов объектов ИС с технологической нормой 10 нм. 

OptiFIB Taipan позволяет достичь разрешения изображений, полученных с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB), 3 нм и лучше, что было продемонстрировано на примере оловянных сфер. Чем выше разрешение, тем с большей точностью можно осуществлять навигацию по образцу, выполнять операции редактирования топологии и определять момент окончания травления.

OptiFIB Taipan_2.jpg 

Получение оптических изображений in situ в реальном времени 

Приведено изображение микросхемы питания с высокой степенью легирования, полученное через кремниевую подложку с помощью запатентованной коаксиальной технологии. Данная технология позволяет пользователям OptiFIB одновременно наблюдать оптическое и FIB изображения одного и того же участка.

OptiFIB Taipan_3.jpg

Быстрая и точная навигация 

Для совмещения схемы САПР с изображением FIB в системе OptiFIB Taipan используется модуль GDSDirect, который обеспечивает быструю навигацию и высочайшую точность позиционирования пучка.

OptiFIB Taipan_4.jpg  

Отличная селективность травления и контроль 

В процессе осаждения проводников и диэлектриков.

Усовершенствованная система подачи газов 

Имеет в своем составе самые современные химические вещества для травления и осаждения материалов.

Технические характеристики системы OptiFIB Taipan 

Разрешение изображений FIB

<3.0 нм

Ускоряющее напряжение

0,5 кВ – 30 кВ

 

Фотонно-ионная колонна

Коаксиальная колонна Taipan для редактирования топологии с лицевой и тыльной сторон ИС

Ток пучка

250 фА – 20 нА

Минимальное поле обзора FOV

500 нм

Ход столика

75 мм

Стабильность пучка / дрейф

< 4 нм / мин

Удельное сопротивление осажденного металла

≤ 200 мΩ∙см

Удельное сопротивление осажденного диэлектрика

≥1E15 мΩ∙см

Технологическая норма: 10 нм и более
Разрешение изображений FIB: менее 3.0 нм
Ускоряющее напряжение: 0,5 кВ – 30 кВ
Ток пучка: Ток пучка 250 фА – 20 нА