Основные сведения об установке для редактирования топологии ИС
Технология редактирования топологии используется для быстрого внесения небольших изменений в проект на различных этапах процесса изготовления интегральных микросхем (ИС): после первого шага физического тестирования, на этапе повышения производительности и скорости работы, при создании ограниченной партии микросхем для бета-разработчиков и при решении проблем с надежностью.
Специалисты по редактированию топологии сперва обрабатывают кристалл в области возможного дефекта, после чего удаляют или осаждают проводник или диэлектрик с высокой точностью, что позволяет производителям ИС внедрить изменения в схему устройства без перевыпуска масок и производства дополнительных пластин.
Чтобы соответствовать строгим требованиям, предъявляемым к редактированию топологии ИС с технологической нормой 10 нм, и обеспечить решение проблем, возникающих при внедрении передовых проектов и техпроцессов, компанией Thermo Scientific™ была разработана система OptiFIB™ Taipan. Новейшие коаксиальная ионно-фотонная колонна, электроника, камера и столик позволяют получить непревзойденный контроль над током и формой пучка, высокоточную навигацию и позиционирование ионного пучка, а также уверенное определение момента окончания травления.
Особенности системы OptiFIB Taipan
Высокое разрешение, достаточное для получения изображений и травления материалов объектов ИС с технологической нормой 10 нм.
OptiFIB Taipan позволяет достичь разрешения изображений, полученных с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB), 3 нм и лучше, что было продемонстрировано на примере оловянных сфер. Чем выше разрешение, тем с большей точностью можно осуществлять навигацию по образцу, выполнять операции редактирования топологии и определять момент окончания травления.
Получение оптических изображений in situ в реальном времени
Приведено изображение микросхемы питания с высокой степенью легирования, полученное через кремниевую подложку с помощью запатентованной коаксиальной технологии. Данная технология позволяет пользователям OptiFIB одновременно наблюдать оптическое и FIB изображения одного и того же участка.
Быстрая и точная навигация
Для совмещения схемы САПР с изображением FIB в системе OptiFIB Taipan используется модуль GDSDirect, который обеспечивает быструю навигацию и высочайшую точность позиционирования пучка.
Отличная селективность травления и контроль
В процессе осаждения проводников и диэлектриков.
Усовершенствованная система подачи газов
Имеет в своем составе самые современные химические вещества для травления и осаждения материалов.
Технические характеристики системы OptiFIB Taipan
|
Разрешение изображений FIB |
<3.0 нм |
|
Ускоряющее напряжение |
0,5 кВ – 30 кВ
|
|
Фотонно-ионная колонна |
Коаксиальная колонна Taipan для редактирования топологии с лицевой и тыльной сторон ИС |
|
Ток пучка |
250 фА – 20 нА |
|
Минимальное поле обзора FOV |
500 нм |
|
Ход столика |
75 мм |
|
Стабильность пучка / дрейф |
< 4 нм / мин |
|
Удельное сопротивление осажденного металла |
≤ 200 мΩ∙см |
|
Удельное сопротивление осажденного диэлектрика |
≥1E15 мΩ∙см |
| Технологическая норма: | 10 нм и более |
| Разрешение изображений FIB: | менее 3.0 нм |
| Ускоряющее напряжение: | 0,5 кВ – 30 кВ |
| Ток пучка: | Ток пучка 250 фА – 20 нА |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.