Оптический металлографический 3D микроскоп PA53-MET 3D

Оптический металлографический 3D микроскоп PA53-MET 3D – модель из серии микроскопов PA53-MET. Модель PA53-MET 3D предназначена для:
- 3D моделирования;
- определения высоты объектов (точность до 0,2 мкм);
- измерения глубины прорезей в кремниевой пластине;
- построения профиля контактной площадки.

 3D моделирование и определение высоты объектов (точность до 0,2 мкм) 

Измерение глубины прорезей в кремниевой пластине

Построения профиля контактной площадки

Основные технические характеристики PA53-MET 3D

3D микроскоп PA53-MET 3D имеет точность измерений по осям X/Y = 0,3 мкм, по оси Z = 1 мкм и рабочее расстояние Z - 60 мм. Несмотря на мощные технические характеристики, микроскоп крайне прост в обслуживании– для качественной ежедневной работы достаточно освобождать все рабочие поверхности от пыли – более никакого специального ухода не требуется.

Преимущества микроскопа PA53-MET 3D

Высочайшее качество цифровых изображений 

Функция увеличения глубины фокуса 

Широкий выбор конфигураций оптической и осветительной систем (набор поляризаторов и анализаторов; комбинированный переключатель фильтров: нейтрального, светлого поля и темного поля; изображение полупроводниковой пластины в режиме темного поля).


Набор поляризаторов и анализаторов


Комбинированный переключатель фильтров: нейтрального, светлого поля и темного поля
Изображение полупроводниковой пластины в режиме темного поля

Метод дифференциально-интерференционного контраста (ДИК) позволяет получить детальные и высококачественные изображения




Новейшие объективы Plan S - Apo с коррекцией на бесконечность (CCIS) - использование в оптической системе микроскопа асферической призмы и высококачественных объективов дает возможность достичь высокой четкости изображений и правильной цветопередачи. Наличие различных режимов наблюдений упрощает выполнение необходимых исследований.

Особенности микроскопа PA53-MET 3D

• Постоянная яркость изображения в режиме IL (при включении режима IL, в процессе работы микроскопа поддерживается постоянная яркость изображения, в том числе и в случае изменения увеличения)

• Режим защиты окружающей среды ECO (если микроскоп не используется в течение длительного времени, автоматически включается режим энергосбережения, который позволяет защитить образец от перегрева, сэкономить электроэнергию и продлить срок службы лампы осветительной системы.

• Модульная конструкция предметного стола для больших образцов (предметный стол для больших образцов имеет модульную конструкцию, что повышает удобство работы с 8 и 12 дюймовыми пластинами, а также с крупными ЖК-дисплеями.)

• Моторизованный предметный стол с функцией сшивки изображений