Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Meridian-IV DCG Systems-система для анализа отказов

Meridian-IV DCG Systems-система для анализа отказов
Цена: По запросу
Производитель: FEI Flag
Целостная система для анализа отказов, разработанная для облегчения анализа статических и параметрических дефектов в технологиях 45 нм.
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Meridian IV - комбинированная система для анализа отказов

Meridian-IV предназначен для решения задач анализа и локализации динамических и параметрических отказов, связанных с целым комплексом процессов или граничными режимами работы устройства, которые проявляются при определенных уровнях напряжения и частоты.

Особенности и преимущества:

  • Система предполагает анализ на топологических нормах от 45 нм и выше.
  • Одна из лучших в своем классе система эмиссионного детектирования на основе InGaAs камеры, имеющей очень низкий уровень шума и максимальную чувствительность.
  • Объединяет простоту использования и удобство с самым высоким в отрасли уровнем обнаружения и локализации неисправностей.
  • Инвертированная платформа позволяет проводить динамический анализ кристалла с обратной стороны.
  • Универсальная конфигурация системы позволяет легко работать как с образцами в корпусе, так и с обратной стороной образцов.
  • Опция “Point & Click” SIL обеспечивает отличное разрешение с помощью простого интерфейса.
  • Опция Laser Scanning Microscope позволяет реализовать дополнительные статические и динамические методы анализа.
  • Имеет программное обеспечение для анализа отказов NEXS методом эмиссионного анализа и с возможностью интерпретации результатов.

Отладка устройства и анализ отказов

Отладка устройства традиционно ориентирована на внесение изменений, связанных с выявлением проблем в проектировании, в то время как анализ отказов традиционно ориентирован на повышение качества процесса изготовления.Разделение между отладкой устройства и анализом отказов стало невнятным с появлением того, что обычно называют «плавающий дефектом». Плавающие дефекты являются параметрическими и часто не могут быть сопоставлены с определенными физическими дефектами, которые можно определить, как причину отказа.
Существует множество причин появления плавающих дефектов. Среди них проблемы литографии, неравномерность поверхности, флуктуация (случайные отклонения в следствии чего-либо) легирующей примеси и вопросы к обработке материалов. Анализ устройства должен быть связан с влиянием синхронизации по времени, потребляемой мощностью, рассеиваемой мощностью и шумом. Проведение анализа устройства уже не вопрос, он заключается в поиске мест фотонного излучения: эмиссия испускается от работающих и не работающих транзисторов, поэтому становится сложно отследить разницу характеристик между исправными и неисправными устройствами.

Meridian-IV оптимизирован для параметрического анализа

Meridian-IV обеспечивает высокое разрешение высокую чувствительность, является гибким инструментом для решения задач,  связанных с параметрическим анализом плавающих дефектов.
Основанный на проверенной платформе, Meridian, Meridian-IV включает в себя улучшенную оптику, улучшенное единообразие изображения и повышенную невосприимчивость к вибрации. Инвертированная конструкция микроскопа Meridian-IV позволяет легко взаимодействовать с любыми тестовыми сигналами: одним из важнейших требований для динамического параметрического анализа основанного на излучении эмиссии является наличие исправного и неисправного устройства. Meridian-IV может также использоваться для выполнения традиционного статического анализа отказов.

Техническая спецификация

Камера L1K InGaAs высокого качества

  • Специализированная SWIR камера с низким шумом и высокой чувствительностью
  • LN2 внешнее охлаждение
  • 1000 x 1000 формат 18 um шаг пикселя 16-бит
  • Спектральная чувствительность (0.9 – 1.6) мкм Mean QE >70%
  • Очень низкий шум, возможность его считывания < 10 e-
  • Неразрушительное сканирование
  • Очень низкий темновой ток < 1e-/сек
Высокая точность перемещения
  • “Up-looking” позиционирование микроскопа
  • Перемещение (x, y, z) >(75, 75, 95) мм
  • Разрешение 50 нм
  • Стабильность (более 10 mm) <= 1 мкм
Высокое качество лазерного сканирования
Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия
  • Время захвата пикселя 1.7мкс - 3600 мс
  • Высокое качество конфокальной лазерной сканирующей микроскопии
  • SLS/DLS
Источники лазерного излучения (Опции)
  • Тепловая лазерная стимуляция (TLS) 1340 нм, 500 мВт
  • Фотоэлектрическая лазерная стимуляция (PLS)    1064 нм, 500 мВт
SLS Lock-in детектирование (Опция)
  • Лазерная модуляция    (1 – 100) кГц
  • LSM возможности
  • Статическая лазерная стимуляция (SLS)
  • Тепловая лазерная стимуляция OBIRCH, SEI
  • Фотоэлектрическая лазерная стимуляция CV-OBIC, NB-OBIC
  • Динамическая лазерная стимуляция (DLS)
  • Локализация плавающих дефектов (SDL)
  • Изменение состояния устройства с помощью лазера (LADA)

LSM визуализация
  • Увеличение     1x, 2x, 4x, 8x
  • Разрешение изображения    256 x 256; 512 x 512; 1024 x 1024
  • Точность наложения 1 пиксель
  • Режим сканирования
  • Область интереса (произвольная область сканирования устройства)
  • Обычный или инвертированный режим сканирования по осям X/Y 
Meridianweb2.png

Усилитель тока
  • Каналы высокого и низкого тока
  • Патентованная технология OBIRCH для анализа по переменному току 1064 nm, 500 мВт
  • Двойное независимое управление питанием
  • Активная фильтрация шума для работы с внешними источниками питания
  • Внешний режим IV для анализа характеристик
  • IDDQ FA SLS
Общие характеристики
  • Верхняя граница частоты (2 – 200) кГц
  • Нижняя граница частоты (1 – 30) кГц
  • Настройки усиления 1, 2, 5, 10, 20, 50
  • Максимальное усиление 225 нA/В
  • Разрешение <10 нA
Канал высокого тока
  • DUT ограничение тока 5 А
  • Максимальное напряжение 5 В
  • Оптимизация для низкого импеданса DUT Z <10
Канал низкого тока
  • DUT ограничение тока 20 мА
  • Максимальное напряжение 20 В
  • Оптимизация для низкого импеданса DUT Z >10

Компания DCG Systems оставляет за собой право изменять технические характеристики в связи с непрерывным усовершенствованием продукции


 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.