Универсальный двухлучевой сканирующий электронный микроскоп с плазменным фокусированным ионным пучком для 3D-характеризации больших объемов и подготовки образцов S / TEM без содержания Ga.
Основные сведения о микроскопе Helios 5 PFIB DualBeam
Helios 5 PFIB DualBeam – универсальный двулучевой сканирующий электронный микроскоп с плазменным фокусированным ионным пучком для 3D-характеризации больших объемов и подготовки образцов S / TEM без содержания Ga.
Конструкция микроскопа Helios 5 PFIB DualBeam сочетает в себе новую колонну PFIB и монохроматизированную колонну Thermo Scientific Elstar SEM. Такое сочетание позволяет получать стабильные, воспроизводимые результаты в широком диапазоне передовых приложений, таких как подготовка проб и образцов, подповерхностная и 3D- характеризация.
Helios 5 PFIB DualBeam имеет беспрецедентные возможности автоматизации, простое, интуитивно понятное ПО и прост в использовании. В серии доступны 2 модификации: Helios 5 PFIB CXe DualBeam и Helios 5 PFIB UXe DualBeam.
Особенности и преимущества Helios 5 PFIB DualBeam
Подготовка проб для режимов STEM и TEM без использования галлия
Высококачественная пробоподготовка для режимов STEM и TEM без галлия благодаря новой колонке PFIB, обеспечивающей окончательную полировку 500В Xe+ и обеспечивающей превосходные характеристики во всех рабочих условиях.
Расширенная автоматизация
Самая быстрая и простая, автоматизированная подготовка проб и поперечное сечение TEM на нескольких площадках in situ и ex situ с использованием дополнительного программного обеспечения AutoTEM 5.
Ксеноновая плазменная колонка FIB нового поколения 2,5 мкА
Высокая производительность и качественная статистически значимая 3D-характеристика, поперечное сечение и микрообработка с использованием ксеноновой плазменной колонки FIB нового поколения (PFIB) 2,5 мкА.
Мультимодальная геологическая и трехмерная информация
Получите доступ к высококачественной мультимодальной подповерхностной и трехмерной информации с точным нацеливанием на интересующую область с помощью дополнительного программного обеспечения Auto Slice & View 4 (AS & V4).
Субнанометровые характеристики при низких энергиях
Выявите мельчайшие детали, используя лучшую в своем классе электронную колонку Elstar с технологией сильноточного монохроматора UC+, обеспечивающую субнанометровые характеристики при низких энергиях.
Полная информация об образце
Наиболее полная информация об образце с резким, точным и свободным от заряда контрастом, полученная с помощью до шести встроенных детекторов в столбцах и под линзами.
Расширенные возможности
Самые передовые возможности для осаждения и травления, индуцированного электронным и ионным пучком, на системах FIB/SEM с дополнительными системами подачи газа Thermo Scientific MultiChem или GIS.
Изображение без артефактов
Визуализация без артефактов на основе интегрированного управления чистотой образцов и специальных режимов визуализации, таких как SmartScan™ и DCFI.
Короткое время получения наноразмерной информации
Кратчайшее время для обработки информации в наномасштабе для пользователей с любым уровнем опыта с технологиями SmartAlign и FLASH.
Точная навигация по образцу
Точная навигация по образцу, адаптированная к индивидуальным потребностям применения, благодаря высокой стабильности и точности 150-мм пьезоэлемента и дополнительной встроенной камеры Nav-Cam.
Характеристики Helios 5 PFIB DualBeam
|
Helios 5 PFIB CXe DualBeam |
Helios 5 PFIB UXe DualBeam |
|
|
Электронная оптика |
Автоэмиссионная СЭМ-колонка с экстремальным разрешением Elstar имеет: o Иммерсионный магнитный объектив o Высокостабильная автоэмиссионная пушка Шоттки для обеспечения стабильных аналитических токов с высоким разрешением Технология монохроматора UC + |
|
|
Разрешение электронного пучка |
На рабочем расстоянии o 0.7 нм при 1 кВ o 1.0 нм при 500 В (ICD)
В точке совпадения
o 0.6 нм при 15 кВ 1.2 нм при 1 кВ |
|
|
Параметры электронного пучка |
· Диапазон тока электронного пучка: от 0.8 пА до 100 нА · Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В – 30 кВ · Диапазон энергии посадки: 20* эВ – 30 кэВ · Максимальная ширина горизонтального поля: от 2.3 мм до 4 мм |
|
|
Ионная оптика |
Высокопроизводительная колонна PFIB с индуктивно связанной плазмой Xe + (ICP) o Диапазон тока ионного пучка: от 1.5 пА до 2.5 мкА o Диапазон ускоряющего напряжения: 500 В - 30 кВ o Максимальная ширина горизонтального поля: 0.9мм в точке совпадения пучка o <20 нм при 30 кВ и использовании статистического метода · <10 нм при 30 кВ и использовании метода селективной кромки |
|
|
Детекторы |
· Внутрилинзовый SE/BSE-детектор Elstar (TLDSE, TLD-BSE) · SE/BSE-детектор Elstar в колонне (ICD)* · SE детектор Эвенхарда-Торнли (ETD) · ИК-камера для контроля изображения образца/колонны · Высокоэффективный детектор конверсии ионов и электронов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE) · Встроенная в камеру навигационная NavCam+™ · Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратноотражённых электронов (DBS)* · Интегрированные измерения тока луча |
|
|
Предметный столик и образцы |
5-ти осевой моторизованный столик: · XY: 110 мм · Z: 65 мм · Вращение: 360° (бесконечный ход) · Наклон: -38° … +90° · XY воспроизводимость: 3 мкм · Максимальная высота образца: зазор 85 мм до эвцентрической точки · Максимальный вес образца при нулевом наклоне: 5кг включая держатель образца · Максимальный размер образца: 110 мм с полным вращением (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением) · Компьюцентрическое вращение и наклон |
Высокоточный 5-осевой моторизованный столик с осью XYR, пьезопривод · XY: 150 мм · Z: 10 мм · Вращение: 360° (endless) · Наклон: -38° to +60° · XY воспроизводимость: 1 мкм · Максимальная высота образца: зазор 55 мм до эвцентрической точки · Максимальный вес образца при нулевом наклоне: 500г включая держатель образца · Максимальный размер образца: 150 мм с полным вращением (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением) Компьюцентрическое вращение и наклон |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.