пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Helios 5 PFIB DualBeam - двухлучевой СЭМ с плазменным фокусированным ионным пучком

Производитель:
Thermo Fisher Scientific Flag

Универсальный двухлучевой сканирующий электронный микроскоп с плазменным фокусированным ионным пучком для 3D-характеризации больших объемов и подготовки образцов S / TEM без содержания Ga. 

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Документация
  • Оплата и доставка

Основные сведения о микроскопе Helios 5 PFIB DualBeam

Helios 5 PFIB DualBeam – универсальный двулучевой сканирующий электронный микроскоп с плазменным фокусированным ионным пучком для 3D-характеризации больших объемов и подготовки образцов S / TEM без содержания Ga. 

Конструкция микроскопа Helios 5 PFIB DualBeam сочетает в себе новую колонну PFIB и монохроматизированную колонну Thermo Scientific Elstar SEM. Такое сочетание позволяет получать стабильные, воспроизводимые результаты в широком диапазоне передовых приложений, таких как подготовка проб и образцов, подповерхностная и 3D- характеризация. 

Helios 5 PFIB DualBeam имеет беспрецедентные возможности автоматизации, простое, интуитивно понятное ПО и прост в использовании. В серии доступны 2 модификации: Helios 5 PFIB CXe DualBeam и Helios 5 PFIB UXe DualBeam.

Особенности и преимущества Helios 5 PFIB DualBeam

Подготовка проб для режимов STEM и TEM без использования галлия

Высококачественная пробоподготовка для режимов STEM и TEM без галлия благодаря новой колонке PFIB, обеспечивающей окончательную полировку 500В Xe+ и обеспечивающей превосходные характеристики во всех рабочих условиях. 

Расширенная автоматизация

Самая быстрая и простая, автоматизированная подготовка проб и поперечное сечение TEM на нескольких площадках in situ и ex situ с использованием дополнительного программного обеспечения AutoTEM 5. 

Ксеноновая плазменная колонка FIB нового поколения 2,5 мкА

Высокая производительность и качественная статистически значимая 3D-характеристика, поперечное сечение и микрообработка с использованием ксеноновой плазменной колонки FIB нового поколения (PFIB) 2,5 мкА.

Мультимодальная геологическая и трехмерная информация

Получите доступ к высококачественной мультимодальной подповерхностной и трехмерной информации с точным нацеливанием на интересующую область с помощью дополнительного программного обеспечения Auto Slice & View 4 (AS & V4).

Субнанометровые характеристики при низких энергиях

Выявите мельчайшие детали, используя лучшую в своем классе электронную колонку Elstar с технологией сильноточного монохроматора UC+, обеспечивающую субнанометровые характеристики при низких энергиях.

Полная информация об образце

Наиболее полная информация об образце с резким, точным и свободным от заряда контрастом, полученная с помощью до шести встроенных детекторов в столбцах и под линзами.

Расширенные возможности

Самые передовые возможности для осаждения и травления, индуцированного электронным и ионным пучком, на системах FIB/SEM с дополнительными системами подачи газа Thermo Scientific MultiChem или GIS.

Изображение без артефактов

Визуализация без артефактов на основе интегрированного управления чистотой образцов и специальных режимов визуализации, таких как SmartScan™ и DCFI.

Короткое время получения наноразмерной информации

Кратчайшее время для обработки информации в наномасштабе для пользователей с любым уровнем опыта с технологиями SmartAlign и FLASH.

Точная навигация по образцу

Точная навигация по образцу, адаптированная к индивидуальным потребностям применения, благодаря высокой стабильности и точности 150-мм пьезоэлемента и дополнительной встроенной камеры Nav-Cam.

Характеристики Helios 5 PFIB DualBeam

 

Helios 5 PFIB CXe DualBeam

Helios 5 PFIB UXe DualBeam

Электронная оптика

Автоэмиссионная СЭМ-колонка с экстремальным разрешением Elstar имеет:

o    Иммерсионный магнитный объектив

o    Высокостабильная автоэмиссионная пушка Шоттки для обеспечения стабильных аналитических токов с высоким разрешением

Технология монохроматора UC +

Разрешение электронного пучка

На рабочем расстоянии

o    0.7 нм при 1 кВ

o    1.0 нм при 500 В (ICD) 

В точке совпадения

o    0.6 нм при 15 кВ

     1.2 нм при 1 кВ

Параметры электронного пучка

·         Диапазон тока электронного пучка: от 0.8 пА до 100 нА

·         Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В – 30 кВ

·         Диапазон энергии посадки: 20* эВ – 30 кэВ

·         Максимальная ширина горизонтального поля: от 2.3 мм до 4 мм

Ионная оптика

Высокопроизводительная колонна PFIB с индуктивно связанной плазмой Xe + (ICP)

o    Диапазон тока ионного пучка: от 1.5 пА до 2.5 мкА

o    Диапазон ускоряющего напряжения: 500 В - 30 кВ

o    Максимальная ширина горизонтального поля: 0.9мм в точке совпадения пучка

o    <20 нм при 30 кВ и использовании статистического метода

·     <10 нм при 30 кВ и использовании метода селективной кромки

Детекторы

·         Внутрилинзовый SE/BSE-детектор Elstar (TLDSE, TLD-BSE)

·         SE/BSE-детектор Elstar в колонне (ICD)*

·         SE детектор Эвенхарда-Торнли (ETD)

·         ИК-камера для контроля изображения образца/колонны

·         Высокоэффективный детектор конверсии ионов и электронов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE)

·         Встроенная в камеру навигационная NavCam+™

·         Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратноотражённых электронов (DBS)*

·         Интегрированные измерения тока луча

Предметный столик и образцы

5-ти осевой моторизованный столик:

·         XY: 110 мм

·         Z: 65 мм

·         Вращение: 360° (бесконечный ход)

·         Наклон: -38° … +90°

·         XY воспроизводимость: 3 мкм

·         Максимальная высота образца: зазор 85 мм до эвцентрической точки

·         Максимальный вес образца при нулевом наклоне: 5кг включая держатель образца

·         Максимальный размер образца: 110 мм с полным вращением (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением)

·         Компьюцентрическое вращение и наклон

Высокоточный 5-осевой моторизованный столик с осью XYR, пьезопривод

·         XY: 150 мм

·         Z: 10 мм

·         Вращение: 360° (endless)

·         Наклон: -38° to +60°

·         XY воспроизводимость: 1 мкм

·         Максимальная высота образца: зазор 55 мм до эвцентрической точки

·         Максимальный вес образца при нулевом наклоне: 500г включая держатель образца

·         Максимальный размер образца: 150 мм с полным вращением (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением)

           Компьюцентрическое вращение и наклон