Высокопроизводительная система для изготовления ламелей полупроводниковых пластин.
ExSolve 2 WTP от THERMO FISHER SCIENTIFIC - система для изготовления ламелей полупроводниковых пластин
ExSolve 2 WTP с запатентованным процессом быстрой обработки образцов и автоматизацией процесса экономит более 25% затрат на подготовку TEM - образцов для ведущих производителей электроники.
Данные TEM широко используются для сбора информации во время процесса разработки последовательных узлов. Однако, поскольку устройства становятся все более и более сложными, необходимый объем данных резко возрос. К сожалению, традиционные методы пробоподготовки TEM требуют больших затрат времени от технического персонала. Кроме того, несоответствия, вносимые человеческим фактором, наносят ущерб процессу. Чем быстрее производители смогут обеспечить большие объемы точных и согласованных данных с TEM – образцов во время разработки, тем быстрее производство сможет выйти на новый уровень, чтобы отвечать современному повышенному спросу.
Чтобы помочь достичь этих целей, Thermo Scientific ™ ExSolve ™ 2 WTP решает задачи в области развития с помощью комбинации инновационных вспомогательных средств и модернизации:
-
Защитный слой - сокращенно ECL - обеспечивает постоянную конечную толщину ламелей, подстраивая скорость травления области, представляющей интерес и организует подстройку зонда для изъятия образца.
-
Чтобы обеспечить точность резки, образец травят, чтобы обнажить структуры, которые можно использовать в качестве ориентиров. Затем, с помощью полученных данных для более точного размещение разреза, над областью интереса размещается ECL (защитный слой).
-
Модернизация включает усовершенствования аппаратного обеспечения, такие как Stage Mass Dampeners (система виброзащиты), Cap Probe Assembly (зонд для изъятия образца) и FIB Power Supply (источник питания фокусированного ионного луча (FIB)), которые напрямую влияют на фокус ионного пучка (FIB) для лучшего контроля толщины образца и положения реза.
-
Улучшенные автоматические калибровки увеличивают доступность инструмента, одновременно обеспечивая более строгий контроль за стабильностью процесса.
-
Толщина образца была уменьшена на 30%, а контроль за процессом улучшен на 50% по сравнению с системой ExSolve 1-го поколения. Эти улучшения имеют решающее значение, поскольку устройства достигли топологии 7 нм.
-
Кроме того, уровень повреждения образца уменьшен более чем на 50% благодаря конечной очистке при 1 кВ, что стало возможным благодаря специальной архитектуре, на FIB ExSolve 2.
-
ExSolve 2 полностью автоматизирован, поэтому больше нет необходимости в больших затратах времени технического персонала. Постоянно воспроизводя идентичные образцы, ExSolve 2 WTP Thermo Scientific Metrios ™ DX позволяет поддерживать автоматизированную работу без прерывания и взаимодействия с человеком. Полученные данные с TEM - образцов могут затем беспрепятственно использоваться в рабочем процессе, экономя еще больше времени для разработки.
Благодаря сочетанию улучшений в контроле размещения и автоматизации, ExSolve 2 WTP обеспечивает производителям полупроводников и памяти быстрое получение данных и, следовательно, сокращает время производства.
Ключевые особенности ExSolve 2 WTP THERMO FISHER SCIENTIFIC
- Система обеспечивает быструю и точную автоматическую подготовку образцов для TEM с хорошей повторяемостью. В случае наличия дефекта система может работать в простом и удобном полуавтоматическом режиме. При толщине пластины 25 нм ExSolve 2 WTP может производить 4 ламели в час.
- Улучшенный контроль таких параметров как толщина и расположение разреза. Толщина ламели достигла 18 нм, с точностью разреза 5 нм (3Ϭ). Окончательная очистка 1 кВ позволяет уменьшить повреждение образца до 1,5 нм.
- Factory Automation System соответствует требованиям FA для подключения к хост-системе пользователя. Пластины обрабатываются либо портом двойной загрузки EFEM, либо VCE.
- Возможность подключения к рабочему процессу позволяет отслеживать важные данные от процесса подготовки образца до обработки изображений. Все данные с изображений объединены для просмотра.
Engineered capping layer (ECL) – защитный слой для согласования скорости травления
В дополнение к подготовке большого количества TEM - образцов, ExSolve 2 WTP является частью быстрого, полного рабочего процесса, который включает TEMLink 150 G2 и Metrios DX TEM.
В рамках рабочего процесса ExSolve 2 WTP может получать важную информацию о задании, такую как имя рецепта, идентификатор пластины, идентификатор партии, идентификатор образца и настраиваемые поля, из файла задания. Эта возможность сводит взаимодействие человека и системы к минимуму. Как только проходит идентификация, ExSolve 2 WTP запускается автоматически с полученной информацией, позволяя пользователю сосредоточиться на других задачах.
ExSolve 2 WTP также оснащен обширной и настраиваемой базой данных. Все изображения хранятся, и их можно искать, сортировать и легко просматривать по нескольким критериям, как в режиме онлайн, так и в автономном режиме, с помощью Microscope Data Services (MDS). Новая централизованная служба данных (CDS) расширяет базу данных, чтобы обеспечить возможность полного отслеживания заданий от пластины до данных, включая изображения и метрологические данные Metrios DX TEM / STEM в одном месте. Это сводит к минимуму время работы пользователя. Система объединяет и сообщает обо всех данных рабочего процесса.
Дополнительные возможности ExSolve 2 WTP
- Сфокусированный ионный пучок (FIB) для высокоточного травления
- SEM для разработки рецептов и контроля
- Оптический микроскоп для регулировки шаблонов
- Программное обеспечение для разработки рецептов
- Профессиональная автономная лицензия iFast Developers Kit позволяет клиентам работать с рецептами на отдельном, предоставленном клиентом компьютере с USB-ключом для обеспечения функциональности
- Отдельная рабочая станция главного компьютера (Windows® 7) для подключения к сетям клиентов
- Полностью совместимый с E95 пользовательский интерфейс для автоматизированной работы.
- Имеется встроенный шлюз для загрузки пластин
- Разработана для соответствия SEMI S2-0706, S8-0711 и CE
- Полная совместимость с автоматизированным рабочим процессом TEM: ETM (ExSolve TEMLink Metrios)
- Существует возможность подключения до 5 портов GIS (система подачи газа)
- Для FIB & SEM доступно напыления для углерода, вольфрама или TEOS
- Модуль внешнего интерфейса оборудования Brooks JET ™ (EFEM) - интегрированная система атмосферного переноса с роботом, выравнивателем, портами нагрузки и органами управления, установленными на встроенной раме
Опции ExSolve 2 WTP
- Освещение оптического микроскопа в темном поле - усовершенствованный источник освещения для дополнения оптического микроскопа для выравнивания шаблонов
- Автоматизация производства с загрузкой пластин до 300 мм.
- 2-й порт загрузки до 300 мм
- Централизованная служба данных (CDS)
Технические характеристики ExSolve 2 WTP THERMO FISHER SCIENTIFIC
ExSolve 2 WTP |
|
Режимы |
SEM, FIB, OM, Dark Field OM |
Операция |
Автоматизированная |
Система подачи газа |
до 5 портов |
FIB и SEM напыление |
углерода, вольфрама и TEOS |
Загрузка пластин |
300 мм |
Производительность при толщине 25 нм |
4 ламели / час |
Точность положения разреза |
5 нм (3Ϭ). |
Глубина повреждения образца |
1,5 нм |
Режимы: | SEM, FIB, OM, Dark Field OM |
Загрузка пластин: | 300 мм |
Производительность при толщине 25 нм: | 4 ламели / час |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.