Производитель:
FEI
Vion Plasma FIB — система с фокусированным ионным пучком (ФИП/FIB) FEI
Задать вопрос
- Детальное описание
- Документация
- Оплата и доставка
Описание Vion Plasma FIB
Vion Plasma - мощный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB) c большой плотностью тока и большой скоростью травления. Новейшая модель ионного микроскопа с плазменным источником ионов позволяет в 20 раз быстрее производить модификацию микросхем.
Основные преимущества:
- Повышение производительности за счет увеличения скорости травления материала более чем в 20 раз по сравнению с традиционными системами FIB на основе галлия
- Быстрое, точное кросс-секционирование позволяет обнаруживать дефекты и особенности внутренних слоев
- Широкий спектр токов пучка для травления и получения изображений (от нескольких пА до более чем 1 мкА)
- Использование возможностей химического осаждения для защиты характерных особенностей поверхности образца от повреждений
- Дополнительные возможности нейтрализатора заряда для проведения секционирования заряжающихся материалов
- Дополнительный доступ к обратной стороне микросхемы при помощи запатентованной системы коаксиальной подачи газа
Применение:
- Анализ контактных площадок, межкристальных соединений
- Удаление материала для проведения анализа отказов и неправильно изолированных структур
- Контроль и разработка процесса соединения многоуровневых структур
- Анализ дефектов совмещенных пластин и приборов MEMS