пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Vion Plasma FIB FEI - микроскоп с фокусированным ионным пучком

Производитель:
FEI Flag
Vion Plasma FIB — система с фокусированным ионным пучком (ФИП/FIB) FEI
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Документация
  • Оплата и доставка

Описание Vion Plasma FIB

Vion Plasma - мощный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB) c большой плотностью тока и большой скоростью травления. Новейшая модель ионного микроскопа с плазменным источником ионов позволяет в 20 раз быстрее производить модификацию микросхем.

Основные преимущества:

  • Повышение производительности за счет увеличения скорости травления материала более чем в 20 раз по сравнению с традиционными системами FIB на основе галлия
  • Быстрое, точное кросс-секционирование позволяет обнаруживать дефекты и особенности внутренних слоев 
  • Широкий спектр токов пучка для травления и получения изображений (от нескольких пА до более чем 1 мкА) 
  • Использование возможностей химического осаждения для защиты характерных особенностей поверхности образца от повреждений
  • Дополнительные возможности нейтрализатора заряда для проведения секционирования заряжающихся материалов 
  • Дополнительный доступ к обратной стороне микросхемы при помощи запатентованной системы коаксиальной подачи газа

Применение:

  • Анализ контактных площадок, межкристальных соединений 
  • Удаление материала для проведения анализа отказов и неправильно изолированных структур 
  • Контроль и разработка процесса соединения многоуровневых структур 
  • Анализ дефектов совмещенных пластин и приборов MEMS