пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

IDS 10000 PLUS – электронно-лучевой тестер на базе СЭМ

Специализированная ЭЛТ установка на базе СЭМ, предназначенная для бесконтактного измерения быстропротекающих электрических сигналов. Установка используется для измерения характеристик, отладки и анализа логических схем.



Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Документация
  • Оплата и доставка

Основные сведения об установке IDS 10000 PLUS

Электронно-лучевой тестер IDS 10000 Plus - специализированная установка для бесконтактного измерения быстропротекающих электрических сигналов методом ЭЛТ. Комплекс используется для измерения характеристик, отладки и анализа логических схем. 

Методика потенциального контраста и основанная на ее базе, технология ЭЛТ (электронно-лучевое тестирование), существуют уже почти 50 лет. Данная технология и ее ограничения хорошо изучены, коммерчески доступные установки ЭЛТ дают возможность осуществить отладку проекта и выполнить анализ неисправностей современных ИС и, по меньшей мере, следующего поколения.  

При электронно-лучевом тестировании (ЭЛТ) иногда возникает затруднение с доступом к цепям микросхемы с лицевой стороны, поэтому для анализа работы ИС и при определении характеристик сигналов часто используются специальные, предусмотренные на этапе изготовления ИС, тестовые площадки.  Для обеспечения доступа к нижним слоям ИС, при подготовке образца к ЭЛТ в целях анализа отказов, в настоящее время повсеместно применяются технологии FIB (ФИП).

Принцип работы ЭЛТ

При нагреве до 1800К в сильном электрическом поле игла термополевого катода (TFE) начинает испускать электроны. Напряжение на катоде составляет -1 кВ относительно столика с исследуемым устройством, потенциал которого принят за ноль. При ударе электронного пучка о поверхность исследуемого устройства, он проникает на глубину порядка 3 нм, и выбивает вторичные электроны, обладающие энергией от 0 до 50 эВ. Электрические и магнитные поля внутри объектива направляют вторичные электроны к сцинтиллятору, который преобразует их энергию. Затем с помощью ФЭУ получается видеосигнал (с частотами порядка 5 МГц), который идет на дисплей. 

Принцип работы ЭЛТ_электронная колонна.png

Энергетический фильтр расположен внутри объектива между исследуемым образцом и детектором вторичных электронов. При подаче на фильтр напряжения в нем образуется тормозящее поле, которое действует на вторичные электроны. Таким образом, для поступающих на детектор электронов возникает небольшой энергетический барьер. Если предположить, что работа выхода электронов с поверхности исследуемого образца не меняется со временем, то число вторичных электронов, обладающих достаточной энергией, чтобы преодолеть потенциальный барьер, будет определяться только потенциалом поверхности образца.

Принцип работы ЭЛТ_энергетический анализатор.png

Измерение сигналов и анализ отказов с IDS 10000 Plus

Для получения изображения в установке IDS 10000 Plus используется низкоэнергетический сфокусированный электронный луч, который сканирует поверхность исследуемой микросхемы.  Луч, взаимодействуя с поверхностью образца, выбивает из него вторичные  электроны,  число которых зависит от ряда факторов: рельефа и материала поверхности, потенциала. Таким образом, сканируя электронным лучом поверхность исследуемой схемы, можно получить её увеличенное изображение.  

Удерживая луч в одной точке на проводнике можно получить зависимость потенциала в этой точке от времени, т.е. электронный луч может являться в некотором роде «пробником» осциллографа, причем, за счет отсутствия механических проводов и сопутствующей им ёмкости данный осциллограф будет широкополосным. 

Состав электронно-лучевого тестера IDS 10000 Plus *

  • Сканирующий электронный микроскоп, оптимизированный для работы с малыми ускоряющими напряжениями;
  • Система бланкирования электронного луча и стробоскопических разверток;
  • Системный контроллер для управления различными блоками системы;
  • Управляющий компьютер с набором программного обеспечения, предназначенного для управления микроскопом и сбора данных.

* установка может быть укомплектована любым подходящим измерительным и аналитическим оборудованием, в соответствии с задачами заказчика


Состав электронно-лучевого тестера.png

Основные преимущества IDS 10000 Plus

  • Методика не ограничена конкретной рассматриваемой технологией, поскольку её принцип основан на измерении потенциала поверхности образца;
  • Уникальная инвертированная конструкция электронной колонны позволяет беспрепятственно подключать аналитическое оборудование к исследуемым образцам;
  • Превосходная чувствительность системы детектирования дает возможность регистрации качественных изображений потенциального контраста и обнаружения дефектов металлических проводников даже под слоем пассивации;
  • Низкая энергия первичного электронного пучка не оказывает разрушающего воздействия на тестируемый образец даже при длительном сборе данных;
  • Сканирующий электронный зонд не дает дополнительной емкостной нагрузки на исследуемую схему;
  • Программное обеспечение с простым и понятным интерфейсом, профессиональные алгоритмы для настройки характеристик отображения диаграмм;
  • Встроенная система самодиагностики позволяет быстро выявить ошибки оператора и показать наилучшие пути их устранения;
  • Возможно получить стробоскопическое изображение. Наблюдение за поведением устройства в определенном месте тестового вектора или же после определенной задержки на запускающий сигнал;
  • Сканирование электронным лучом по оси Y на изображении может отображать как время, так и координату Y. Этот режим позволяет получить кадр карты логических состояний на изображении;
  • Возможно медленное сканирование изображения. Усреднение сигнала может быть выполнено во время одного медленного сканирования вместо нескольких быстрых;
  • Хорошая эргономика, классический  дизайн и компактная конструкция, удобные вакуумные интерфейсы для тестирования исследуемых образцов ИС в различных корпусах.

DSC_7739.png

Технические характеристики IDS 10000 Plus

Ток луча

10 – 15 нА

Диаметр электронного пучка

0.1 мкм

Ускоряющее напряжение

800 – 1200 В (колонна оптимизирована под 1 кВ)

Максимальное поле зрения

1500 мкм (при минимальном увеличении)

Диапазон перемещение столика

2500 мкм (в любую сторону относительно центра)

Минимальное увеличение

х40

Максимальное увеличение

x20000 (электрический параметр линзы, реальное увеличение зависит от свойств исследуемого образца)

Рабочий вакуум в камере

10-4 мм рт. ст.

Рабочий вакуум в пушке

10-9 мм рт. ст.

Тип катода

термополевой, Denka 174 (возможна замена)

Тип детектора электронов

ETD с внутрилинзовым энергетическим анализатором

Вакуумная система двухступенчатая

масляный форвакуумный насос +

турбомолекулярный насос

Тип бланкера

эллиптический, с двумя отклоняющими стержнями

Диапазон длительностей бланкера

80 пс – 10 мкс

Предельная частота следования бланкирующих импульсов

2 МГц

Число точек осциллограммы в стробоскопическом режиме

1000

Разрешающая способность по напряжению в

стробоскопическом режиме

100 мВ (при длительности строб-импульса 500 пс)

Максимальная задержка запуска осциллогра- фа в стробоскопическом режиме

2мс (со встроенным генератором задержки)

Предельная частота запускающих импульсов

300 МГц для входа TTL, 1 ГГЦ для входа ECL

Допустимый уровень запускающих импульсов

-10…10 В. Амплитуда не менее 2.5 В

Входное сопротивление входа TRIGGER

1 Мом

50 Ом (выбирается программно)

Разрешение видеоизображения

512х512 точек

Ток луча: 10-15 нА
Диаметр электронного пучка: 0,1 мкм
Увеличение min: x40
Увеличение max: x20000