Электронно-лучевой литограф CABL-9000C Crestec
Является лучшей моделью для производства DFD лазерных диодов для оптических устройств связи. Совмещает в себе высокое разрешение и высокую пропускную способность при 50 kV.
Основные технические характеристики электронно-лучевого литографа
- Диаметр электронного пучка: <2 нм
- Минимальная ширина линии: 10 нм
- Ускоряющее напряжение: 50 kV, 30 kV
- Размер стола: для 8”, 6”, 4” пластин
Особенности электронно-лучевого литографа
- TFE источник 50kV
- Высокое разрешение как при 100kV
-
Высокая точность сшивки в течении длительного времени благодаря специальным лазерным интерферометрам
- Многопользовательская среда (PC controlled EOC = Recipe)
- Саморегулируемая среда – термически стабильная и шумозащищенная
- Гибкие методы литографии (вектор, вектор R-theta, растр, точка, осевая симметрия, модуляция по размеру поля, многорежимность, 3D)
- CE маркировка
Спецификация на электронно-лучевой литограф
|
Источник электронов/ускоряющее напряжение |
TFE（ZrO／W）／5～50kV |
|
Мин. диаметр электронного пучка/ мин. ширина линии |
2 нм／ 10 нм гарантированно |
|
Метод сканирования |
Векторное сканирование（x，y），Векторное сканирование（r，θ）- в базовой комплектации Растровое сканирование, Точечное сканирование - опционально |
|
Расширенные литографические функции (опционально) |
Модуляционная литография по размеру поля, литография с осевой симметрией |
|
Размер поля |
30 мкм2，60 мкм2，120 мкм2，300 мкм2，600 мкм2- в базовой комплектации |
|
Количество пикселей |
20,000×20,000 точек，60,000×60,000 точек - в базовой комплектации
240,000×240,000 точек (Векторное сканирование) - опционально |
|
Минимальный адресный размер |
10 нм＠600 мкм2，2 нм＠120 мкм2 - в базовой комплектации |
|
Размер подложки |
4”, 6”, 8” диаметром |
|
Точность сшивки |
50 нм（3σ）- 600 мкм2，20 нм（2σ） - 60 мкм2 |
|
Точность перекрытия |
50 нм（3σ） - 600 мкм2 |
|
CAD ПО |
Выделенный CAD в базовой комплектации，GDSконвертер - опционально， |
|
Операционная система |
Windows |
| Диаметр пучка: | <2 нм |
| Минимальная ширина линии: | 10 нм |
| Ускоряющее напряжение: | 50 кВ, 30 кВ |
- Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса
- Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.