пн-пт  10:00 - 19:00

CABL-9000C Crestec (50 кВ) - установка электронной литографии

Является лучшей моделью для производства DFD лазерных диодов для оптических устройств связи.
Все характеристики
Производитель: CRESTEC Flag
Цена по запросу
Отправить запрос на КП
Задать вопрос
Доставка
Бесплатно по всей России
Подробнее
Является лучшей моделью для производства DFD лазерных диодов для оптических устройств связи.
Описание
Характеристики
Документы
Оплата и доставка
Описание

Электронно-лучевой литограф CABL-9000C Crestec

Является лучшей моделью для производства DFD лазерных диодов для оптических устройств связи. Совмещает в себе высокое разрешение и высокую пропускную способность при 50 kV.

Основные технические характеристики электронно-лучевого литографа

  • Диаметр электронного пучка: <2 нм
  • Минимальная ширина линии: 10 нм
  • Ускоряющее напряжение: 50 kV, 30 kV
  • Размер стола: для 8”, 6”, 4” пластин

Особенности электронно-лучевого литографа

  • TFE источник 50kV
  • Высокое разрешение как при 100kV
  • Высокая точность сшивки в течении длительного времени благодаря специальным лазерным интерферометрам

  • Многопользовательская среда (PC controlled EOC = Recipe)
  • Саморегулируемая среда – термически стабильная и шумозащищенная
  • Гибкие методы литографии (вектор, вектор R-theta, растр, точка, осевая симметрия, модуляция по размеру поля, многорежимность, 3D)
  • CE маркировка

Спецификация на электронно-лучевой литограф

Источник электронов/ускоряющее напряжение

TFE(ZrO/W)/5~50kV

Мин. диаметр электронного пучка/ мин. ширина линии

2 нм/ 10 нм гарантированно

Метод сканирования

Векторное сканирование(x,y),Векторное сканирование(r,θ)- в базовой комплектации

Растровое сканирование, Точечное сканирование - опционально

Расширенные литографические функции (опционально)

Модуляционная литография по размеру поля, литография с осевой симметрией

Размер поля

30 мкм2,60 мкм2,120 мкм2,300 мкм2,600 мкм2- в базовой комплектации
1200 мкм2,2400 мкм2 - опционально

Количество пикселей

20,000×20,000 точек,60,000×60,000 точек - в базовой комплектации

240,000×240,000 точек (Векторное сканирование) - опционально
4,000×4,000 точек, 10,000×10,000 точек (Растровое сканирование) - опционально

Минимальный адресный размер

10 нм@600 мкм2,2 нм@120 мкм2 - в базовой комплектации
0.0012 нм@600 мкм2 – опционально (FSM)

Размер подложки

4”, 6”, 8” диаметром

Точность сшивки

50 нм(3σ)- 600 мкм2,20 нм(2σ) - 60 мкм2

Точность перекрытия

50 нм(3σ) - 600 мкм2

CAD ПО

Выделенный CAD в базовой комплектации,GDSконвертер - опционально,
DXF конвертер - опционально

Операционная система

Windows

Характеристики
Диаметр пучка: <2 нм
Минимальная ширина линии: 10 нм
Ускоряющее напряжение: 50 кВ, 30 кВ
Документы
Оплата и доставка
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.