flexPROBER- зондовая установка на базе СЭМ

Зондовая установка flexProber Thermo Fisher Scientific

Это новейшая нанозондовая платформа на базе сканирующего электронного микроскопа. Обеспечивает измерение электрических характеристик и локализацию сбойных узлов в ходе разработки устройств, отладки проектов и анализа отказов.

Платформа основана на совместном применении наноманипуляторов SteadFast™, сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) и колонны высокого разрешения LEEN™. Управление, снятие результатов и анализ осуществляется посредством управляющего программного обеспечения (ПО) NM™ и ПО автоматизации eFast™. Данный инструментарий обеспечивает интеграцию зондов, СЭМ и параметрического анализатора для повышения эффективности работы, а также дает точное, повторяемое и стабильное размещение зондов в критических узлах. 

Состав flexProber Thermo Fisher Scientific

Платформа основана на применении в едином комплексе:

Платформа Thermo Scientific™  flexProber™ содержит восемь (8) SteadFast позиционеров зондов и высокоточный столик для образцов. На столике можно разместить 1 образец с размерами до 50 мм или несколько образцов размерами, суммарно не превышающих 50 мм. Наноманипуляторы SteadFast обладают высокой повторяемостью перемещений, что позволяет пользователям эффективно проводить прецизионное электрическое тестирование отдельных транзисторов. 

Колонна СЭМ LEEN специально разработана для решения задач нанотестирования. Данная колонна обеспечивает высокое разрешение при энергиях пучка вплоть до 200 эВ с полем обзора (FOV) ±100 мкм, что позволяет уменьшить негативное воздействие луча на чувствительные образцы.

Совместимое управляющее ПО NM содержит настройки ключевых параметров СЭМ и опцию создания планов измерений в единой оболочке, что повышает эффективность эксплуатации и снижает сложность системы. 
ПО автоматизации eFast поддерживает направленный рабочий процесс, который пошагово ведет пользователя от одной типичной задачи нанотестирования к другой.

Платформа flexProber имеет небольшой загрузочный шлюз для быстрой смены образцов. Усовершенствованная система защиты от загрязнений Optimizer® (патент США 5,510,624), встроенная в загрузочный шлюз, предназначена для удаления загрязнений с поверхности образца. Платформа flexProber может быть дополнена опциональным in situ инструментом для финальной подготовки образца, что позволит сократить количество этапов пробоподготовки.

Основные преимущества flexProber Thermo Fisher Scientific

• Стабильность, высокая скорость, хорошая повторяемость перемещения зондов и их низкий дрейф позволяют выполнять стабильные электрические измерения;
• Встроенная система контроля, направляемая последовательность рабочих операций, программное управление измерениями и настройками СЭМ увеличивают эффективность работы;
• Колонна СЭМ, специально предназначенная для нанотестирования. Высокое разрешение при низких значениях ускоряющего напряжения, большое поле обзора.

Область применения flexProber Thermo Fisher Scientific   

• Измерение постоянного тока
  

  ПО DC Measurement (DCM) позволяет пользователям легко создавать, сохранять и запускать электрические тесты через главный пользовательский интерфейс платформы flexProber . Система измерения постоянного тока включает промышленный девяти- (9) канальный параметрический анализатор с низким уровнем шума. Результаты измерений (таблицы и графики), автоматически вычисляемые параметры тестируемого устройства, тестовые настройки и изображения автоматически записываются в ходе теста, сохраняются вместе и доступны для последующего использования через ПО DataViewer. Также ПО DataViewer может быть установлено на нескольких пользовательских компьютерах для оффлайн-анализа, обработки и извлечения данных для создания отчета.

• Измерения импульсных вольтамперных I-V характеристик
  

  В ходе импульсных I-V измерений строятся графики зависимостей тока от напряжения, которые формируются при подаче на затвор транзистора высокоскоростных сигналов. Этот метод используется для локализации дефектов типа «резистивная перемычка», которые могут быть пропущены после I-V измерений постоянного тока. ПО Test and Measurement (TAM) объединяет управление параметрическим анализатором с высокоскоростным импульсным генератором и осциллографом, в результате чего осуществляется создание, сохранение тестовых настроек и запуск импульсных I-V измерений через управляющее ПО flexProber.

• Измерение вольт-фарадных C-V характеристик
  

  Приложение для измерения C-V характеристик в ПО Test and Measurement (TAM) обеспечивает управление измерителем параметров LCR, что позволяет пользователю легко создавать, сохранять тестовые настройки и проводить процедуру измерения емкости затвора тестируемого устройства через пользовательский интерфейс платформы flexProber.

• Электронно-лучевые методы (EBC)
  

  EBC расширяет возможности платформы flexProber по локализации высокоомных дефектов в слоях металлизации тестируемого устройства с помощью методов электронно-лучевой адсорбции тока (EBAC) и электронно-лучевого наведения тока (EBIC). Методы EBAC и EBIC основаны на сканировании образца электронным лучом с повышенной энергией, что приводит к возникновению тока в металлических структурах на глубине нескольких слоев и позволяет локализовать высокоомные дефекты. Пакет EBC включает в себя ПО для создания и управления сигналом EBC, который затем может быть наложен на СЭМ-изображение образца с целью определения местоположения сбойного узла.

•  Измерение сопротивления, вызванное воздействием электронного луча (EBIRCH)
  

  Запатентованный метод EBIRCH™ позволяет локализовать низкоомные участки в металлических и транзисторных структурах тестируемого устройства путем выявления изменений электрических свойств сбойного участка в процессе его сканирования высокоэнергетическим электронным лучом. Управление операциями EBIRCH осуществляется с помощью приложения EBIRCH в ПО Test and Measurement (TAM). Сигнал EBIRCH в цифровой форме накладывается на полученное одновременно с ним СЭМ-изображение для визуального наблюдения сбойного участка.