Meridian-IV (Emiscope DCG Systems)-система для анализа отказов

Meridian IV (Emiscope DCG Systems*) - комбинированная система для анализа отказов

Meridian-IV (Emiscope*) предназначен для решения задач анализа и локализации динамических и параметрических отказов, связанных с целым комплексом процессов или граничными режимами работы устройства, которые проявляются при определенных уровнях напряжения и частоты.

Особенности и преимущества:

• Система предполагает анализ на топологических нормах от 45 нм и выше.
• Одна из лучших в своем классе система эмиссионного детектирования на основе InGaAs камеры, имеющей очень низкий уровень шума и максимальную чувствительность.
• Объединяет простоту использования и удобство с самым высоким в отрасли уровнем обнаружения и локализации неисправностей.
• Инвертированная платформа позволяет проводить динамический анализ кристалла с обратной стороны.
• Универсальная конфигурация системы позволяет легко работать как с образцами в корпусе, так и с обратной стороной образцов.
• Опция “Point & Click” SIL обеспечивает отличное разрешение с помощью простого интерфейса.
• Опция Laser Scanning Microscope позволяет реализовать дополнительные статические и динамические методы анализа.
• Имеет программное обеспечение для анализа отказов NEXS методом эмиссионного анализа и с возможностью интерпретации результатов.

Отладка устройства и анализ отказов

Отладка устройства традиционно ориентирована на внесение изменений, связанных с выявлением проблем в проектировании, в то время как анализ отказов традиционно ориентирован на повышение качества процесса изготовления.Разделение между отладкой устройства и анализом отказов стало невнятным с появлением того, что обычно называют «плавающий дефектом». Плавающие дефекты являются параметрическими и часто не могут быть сопоставлены с определенными физическими дефектами, которые можно определить, как причину отказа.
Существует множество причин появления плавающих дефектов. Среди них проблемы литографии, неравномерность поверхности, флуктуация (случайные отклонения в следствии чего-либо) легирующей примеси и вопросы к обработке материалов. Анализ устройства должен быть связан с влиянием синхронизации по времени, потребляемой мощностью, рассеиваемой мощностью и шумом. Проведение анализа устройства уже не вопрос, он заключается в поиске мест фотонного излучения: эмиссия испускается от работающих и не работающих транзисторов, поэтому становится сложно отследить разницу характеристик между исправными и неисправными устройствами.

Meridian-IV  (Emiscope*) оптимизирован для параметрического анализа

Meridian-IV обеспечивает высокое разрешение высокую чувствительность, является гибким инструментом для решения задач,  связанных с параметрическим анализом плавающих дефектов.
Основанный на проверенной платформе, Meridian, Meridian-IV включает в себя улучшенную оптику, улучшенное единообразие изображения и повышенную невосприимчивость к вибрации. Инвертированная конструкция микроскопа Meridian-IV позволяет легко взаимодействовать с любыми тестовыми сигналами: одним из важнейших требований для динамического параметрического анализа основанного на излучении эмиссии является наличие исправного и неисправного устройства. Meridian-IV может также использоваться для выполнения традиционного статического анализа отказов.

Техническая спецификация

Камера L1K InGaAs высокого качества

• Специализированная SWIR камера с низким шумом и высокой чувствительностью
• LN2 внешнее охлаждение
• 1000 x 1000 формат 18 um шаг пикселя 16-бит
• Спектральная чувствительность (0.9 – 1.6) мкм Mean QE >70%
• Очень низкий шум, возможность его считывания < 10 e-
• Неразрушительное сканирование
• Очень низкий темновой ток < 1e-/сек

• “Up-looking” позиционирование микроскопа
• Перемещение (x, y, z) >(75, 75, 95) мм
• Разрешение 50 нм
• Стабильность (более 10 mm) <= 1 мкм

• Время захвата пикселя 1.7мкс - 3600 мс
• Высокое качество конфокальной лазерной сканирующей микроскопии
• SLS/DLS

• Тепловая лазерная стимуляция (TLS) 1340 нм, 500 мВт
• Фотоэлектрическая лазерная стимуляция (PLS)    1064 нм, 500 мВт

• Лазерная модуляция    (1 – 100) кГц
• LSM возможности
• Статическая лазерная стимуляция (SLS)
• Тепловая лазерная стимуляция OBIRCH, SEI
• Фотоэлектрическая лазерная стимуляция CV-OBIC, NB-OBIC
• Динамическая лазерная стимуляция (DLS)
• Локализация плавающих дефектов (SDL)
• Изменение состояния устройства с помощью лазера (LADA)

• Увеличение     1x, 2x, 4x, 8x
• Разрешение изображения    256 x 256; 512 x 512; 1024 x 1024
• Точность наложения 1 пиксель
• Режим сканирования
• Область интереса (произвольная область сканирования устройства)
• Обычный или инвертированный режим сканирования по осям X/Y 

• Каналы высокого и низкого тока
• Патентованная технология OBIRCH для анализа по переменному току 1064 nm, 500 мВт
• Двойное независимое управление питанием
• Активная фильтрация шума для работы с внешними источниками питания
• Внешний режим IV для анализа характеристик
• IDDQ FA SLS

• Верхняя граница частоты (2 – 200) кГц
• Нижняя граница частоты (1 – 30) кГц
• Настройки усиления 1, 2, 5, 10, 20, 50
• Максимальное усиление 225 нA/В
• Разрешение <10 нA

• DUT ограничение тока 5 А
• Максимальное напряжение 5 В
• Оптимизация для низкого импеданса DUT Z <10

• DUT ограничение тока 20 мА
• Максимальное напряжение 20 В
• Оптимизация для низкого импеданса DUT Z >10

Компания DCG Systems оставляет за собой право изменять технические характеристики в связи с непрерывным усовершенствованием продукции.

* Ранее -  Emiscope DCG Systems. С 2016 года DCG Systems входит в состав FEI (Thermo Fisher Scientific).